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本プロジェクトを実施するにあたり、当該分野で用語の標準化をする必要を感じＭＥＭＳ 関連専門用語集がまとめられた。これをベースに各種の規格案をＩ
Ｅ Ｃ (International Electrotechnical Commission)に提案し、国際規格として発行している。
2002年にマイクロマシン・ＭＥＭＳ分野では国際的に初めての規格となる「ＭＥＭＳ専門用語」に関する規格案、2003年には「ＭＥＭＳ用薄膜材料の引張試験法」、「ＭＥＭＳ用薄膜材料の引張試験用標準試験片」の試験法に関する２件の規格案をＩＥＣに提案した。以降、順調な規格案審議を経て「ＭＥＭＳ専門用語」については2005年9月に国際規格(International
Standard)発刊、また「ＭＥＭＳ薄膜材料の引張試験法」、「ＭＥＭＳ用薄膜材料の引張試験用標準試験片」の２件についても2006年8月に国際規格発刊に至っている。
更に、薄膜材料の標準化ロードマップに基づき、2006年5月、新たに「ＭＥＭＳ用薄膜材料の疲労試験法」に関する新規格案の提出を行っている。今後はマイクロマシン・ＭＥＭＳにとってニーズの高い規格とは何かについて調査することにより新しい規格案創出の検討を進めている。これらは(財)マイクロマシンセンターが中心となって推進している。
また、⑤センサ評価技術の標準化があるが、これは(独)産総研・計測標準研究部門が中心となって推進している。
①ＭＥＭＳ専門用語
2002 年7 月 ＮＰ(New Proposal)提出
2003 年4 月 ＣＤ(Committee Draft)提出
2004 年4 月 ＣＤＶ(Committee Draft for Vote)提出
2005 年4 月 英語版ＦＤＩＳ(Final Draft International Standard)提出
2005 年9 月 国際規格(International Standard)発刊 【IEC62047-1】
2006 年4 月 ＪＩＳ化取り組み開始
②ＭＥＭＳ用薄膜材料の引張試験法 及び③引張試験用標準試験片
2003 年7 月 ＮＰ提出
2004 年4 月 ＣＤ提出
2005 年3 月 英語版ＣＶＤ提出
2005 年9 月 投票締切。承認後ＦＤＩＳ化
2006 年8 月 国際規格(International Standard)発刊
【IEC62047-2】 【IEC62047-3】
④ＭＥＭＳ用薄膜材料の疲労試験法
2006 年5 月 ＮＰ提出
2006 年9 月 ＮＰ投票、承認された。
⑤半導体加速度センサ
センサ評価技術の開発がプロジェクト後も継続され、半導体加速度センサに
関する規格案をＩＥＣに提案。ＣＤＶ(Committee Draft for Vote)の段階。 |
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| （マイクロマシン技術に係るアウトカム調査報告書（2007年3月、NEDO調査）より） |
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