【定　義】　加速度を測定するセンサ。

【解　説】　シリコン微細加工技術によって軟らかいバネとマスを作製し、加速度が加わるマスの慣性力によるバネの変位を検出したり、その変位を相殺する力を測定して、加速度を検出するセンサである。 これらシリコンで作られたセンサのうち、加速度センサは次世代の商品として期待されており、多くの研究、開発が行われている。 半導体ひずみゲージ方式、静電容量検出方式、電磁サーボ方式、静電サーボ方式等の組み合わせで多くの事例がある。 さらに共振周波数の変化を検出する振動検出方式センサや圧電効果を利用した圧電効果型加速度センサもある。 自動車、ロボット、宇宙産業等の幅広い応用を目指して、開発が進められている。

【参考資料】 (2)

【関連用語】 圧力センサ､ 容量型変位計､ 集積化ひずみセンサ