【定　義】　信号処理回路を基板上に集積化したひずみセンサ。

【解　説】　集積化ひずみセンサは、機械的に変形する部分とひずみを検出する部分とを集積化したものを呼称してきた。 しかし、近年では、さらに信号処理回路も一体化して、基板上に作成されるようになっている。

【参考資料】 (1)

【関連用語】