【定　義】　流体の圧力を測定するためのセンサ。

【解　説】　一般的に、圧力センサはシリコン微細加工技術、特に異方性エッチングを用いて受圧ダイヤフラムを加工し、さらにひずみゲージを基板上に集積化した構成である。 現在最も商品化が進んだマイクロマシンと言われ、自動車のエンジンの制御に使われている。 今後も大きな市場が期待され、さらに小型化、高精度化、信頼性向上、集積化等の研究開発が進められている。 ひずみゲージ式以外に、静電容量型や振動型のセンサも開発されている。

【参考資料】 (2)(3)

【関連用語】