【定 義】 静電容量の変化で変位を計測する測定装置。
【解 説】 静電容量型変位計は、変位を高分解能でしかも非接触で測定できるという特長を生かして、いろいろな場面で多数利用されている。 マイクロマシンの分野では、各種アクチュエータの微小な変位を計測評価したり、各種試作品の形状測定等に利用される。
【参考資料】 (2)
【関連用語】 圧力センサ､ マイクロ機械加工