【定　義】　従来の機械加工技術を応用した微細部品の加工技術。

【解　説】　マイクロ機械加工には、マイクロ切削研削加工、マイクロ塑性加工、マイクロ鍛造、マイクロ放電加工等がある。 工具や工作機械を高精度・微細化することによって鏡面加工などの超精密加工や回折格子のような微細形状をつくることができる。 この場合、工具としては微細かつ鋭利な形状を製作し易い単結晶ダイヤモンドが多用される。

【参考資料】 (6)

【関連用語】 マイクロ切削研削加工､ マイクロ塑性加工､ マイクロ鍛造､ マイクロ放電加工