【定　義】　微小工具電極と加工対象の間の放電を利用した微細加工技術。

【解　説】　従来の放電加工と原理は同様であるが、微小エネルギー放電技術と微小工具電極の作成が異なる。 すなわち電極と加工対象との間の浮遊容量を小さくする必要があり、工具もワイヤ放電研削加工（ＷＥＤＧ）等の方法で微細にする必要がある。 ＷＥＤＧ法では直径２．５μｍの電極も成形可能であり、微細穴の加工が可能となる。

【参考資料】 (4)

【関連用語】