【定　義】　静電力を利用したアクチュエータ。

【解　説】　静電アクチュエータは構造が簡単で、小型化するほど重量当たりの出力向上が期待できるため、マイクロマシン用のアクチュエータとして多くの研究がなされている。 ワブルモータ、フィルム型静電アクチュエータ等の試作例がある

【参考資料】 (4)

【関連用語】 フィルム型静電アクチュエータ､ ワブルモータ