【定　義】　静電力を利用したフィルム状のアクチュエータ。

【解　説】　フィルム型静電アクチュエータは、固定子と移動子間に生ずる静電力で駆動される。 高抵抗フィルムに生ずる誘導電荷を利用することにより、移動子に電極がないアクチュエータの設計も可能である。 このタイプのアクチュエータでは、固定子・移動子間の位置・角度の調整が不要で、電極ピッチが微細な場合でも製作・組立が容易である。駆動時には浮上力が生じるので摩擦が小さく、軸受け機構が不要である。 また、静止時には逆に吸引力が働き、大きな保持力が得られる。 薄く柔らかいフィルム状に製作できることが特徴で、移動子の全面で力を発生するため発生力が強く、積層化すれば大出力化も可能である。 さらに、異なった方向の複数組の電極を用いることにより、３自由度駆動も可能である。

【参考資料】 (1)(4)

【関連用語】