【定　義】　微小な電気機械システムで、半導体プロセスを用いて一つのチップ上にセンサ、アクチュエータ、電子回路などのすべて、又は一部を統合化したもの。

【解　説】　MEMSは、micro electro mechanical systemsの略語であり、主として米国で使われている用語で、いくつかの異なる意味で使われる場合があるが、一般には、シリコンプロセス技術を用いたマイクロな構造体、センサ、およびアクチュエータに関する技術を意味する。

【参考資料】 (2)

【関連用語】 マイクロマシン技術､ ＭＳＴ