【定　義】　微小構造の実現に使用される加工技術。

【解　説】　通常は広く微細加工技術全般の意味で用いられるが，文脈によっては次のような狭義でも用いられる。
1)　半導体製造技術から派生し，マイクロマシン又はMEMSにおける微小構造の実現に使用される加工技術。
2)　切削又は研削などの機械加工技術の応用によって，マイクロマシン又はMEMSにおける微小構造を実現する加工技術。　

【参考資料】

【関連用語】 マイクロマシン､ＭＳＴ､ ＭＥＭＳ