【定 義】 Micro System Technologies の略で、マイクロシステムに関する技術の総称。
【解 説】 主として欧州で使われている用語で、いくつかの異なる意味で使われる場合があるが、主にシリコン微細加工技術を用いたマイクロな電気、光学、機械システムとその構成要素に関する技術を意味する。
【参考資料】 (43)
【関連用語】 マイクロマシン技術､ ＭＥＭＳ