【定 義】 共振をひき起こす固有振動数の近傍において動作し、目的の機能を実現するデバイス。
【解 説】 シリコン微細加工技術によって振動子を形成し、静電力や電磁力で駆動し共振させるデバイスである。周囲環境（温度、圧力、濃度など）のわずかな変動で、振動子の物理的特性（応力など）が変化し、共振周波数が変わる。 共振周波数検出方式であるため、高感度であり、各種の振動型センサに応用されている。 赤外線の吸収、熱膨張により振動子の応力が緩和され共振周波数が変化することを利用した赤外線センサや、圧力により振動子がひずんで共振周波数が変化することを利用した圧力センサなどがある。
【参考資料】 (2)(4)(47)