【定　義】　振動を利用して種々の物理量や化学量を検出するセンサ。

【解　説】　シリコンの微細加工技術、犠牲層エッチング技術等によってカンチレバー（振動子）を多数並べた構造体が作製される。 このカンチレバーは、それぞれ共振周波数が異なる様に設計される。 外部からの振動に応じて共鳴するカンチレバーを圧電抵抗効果や圧電電気効果によって検出し、直接的に周波数スペクトルを出力する。 従って、通常の加速度センサからの出力をフーリエ変換することなくスペクトル分析が行える。

【参考資料】 (1)(12)

【関連用語】