原子層堆積プロセス、ALD 【げんしそうたいせきぷろせす:atomic layer deposition】 

【定 義】 導波路を通して,試料に極めて近接したところから電磁波及び超音波の放射強度を計測し,この導波路先端をラスタ走査することで分解能の高い画像情報を得る顕微鏡。(JIS/2016)

【解 説】 走査近接場顕微鏡とも呼ばれる。通常の顕微鏡では,観測に用いる電磁波及び音波の波長の長さの1/2の長さが分解能の限界となる。しかし,開口角を大きくとることで分解能を向上できる。すなわち,試料に極めて近接したところから導波路を通して電磁波及び音波を計測しながら,この導波路先端を走査することで画像を得た場合,その分解能は波長に関係なく,先端の寸法だけに依存するようになる。この原理を利用して画像を得ようとするのが近視野形の顕微鏡である。しかし,先端を小さくするほど受信できる信号は弱くなるため,高感度の受信器が必要となる。具体的には近視野超音波顕微鏡,レーザ走査顕微鏡,蛍光顕微鏡などがある。(JIS/2016)

【参考資料】

【関連用語】 近視野超音波顕微鏡走査プローブ顕微鏡(SPM