【定　義】　原子レベルの大きさの先端を持つプローブを試料に近接させた状態で、試料の表面との間で発生する物理量を計測しながらプローブをラスタ走査することで画像情報を得る顕微鏡。

【解　説】　プローブ（探触子）の先端を原子の大きさまで尖らせ、物体の表面に近接させると、原子レベルの分解能で物体とプローブとの間に働く種々の物理量を計測することができる。　一般に計測した物理量が一定となるよう物体表面に沿ってプローブをラスタ走査し、それに伴うプローブの変位を画像化することで、その物理量に基づく物体の微細な画像を構成することができる。　これが、走査トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡、静電力顕微鏡、走査イオン顕微鏡、走査磁場顕微鏡、走査温度顕微鏡、走査摩擦力顕微鏡などの、種々の走査プローブ顕微鏡の共通原理である。

【参考資料】

【関連用語】 静電力顕微鏡