2023（令和5）年度事業

• 2023年度　産業動向調査報告書「我が国MEMS 事業者の動向に関する調査」（産業動向調査委員会）
• 2023年度　分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査部会）

　　2022（令和4）年度事業

• 2022年度　産業動向調査報告書「グリーントランスフォーメーション（GX）を支えるMEMS」（産業動向調査委員会）
• 2022年度　分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査部会）

　　2021（令和3）年度事業

• 2021年度　分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査部会）
• 2021年度　産業動向調査報告書「MEMS の過去30 年と今後20 年の技術展望」（産業動向調査委員会）

　　2020（令和2）年度事業

• 2020年度　分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査部会）

• 2019年度　産業動向調査報告書「MEMSトップ企業の事業戦略とSDGsへの対応に関する調査」（産業動向調査委員会）
• 2019年度　分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査部会）

平成30年度事業

• 平成30年度　産業動向調査報告書「 Connected Industries時代に向けたMEMS センサ＆ネットワークシステムの将来像とその課題」（産業動向調査委員会）
• 平成30年度　分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査委員会)

平成29年度事業

• 平成29年度　産業動向調査報告書「Connected Industriesに向けたMEMSの挑戦と課題」（産業動向調査委員会）
• 平成29年度　分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査委員会)

平成28年度事業

• 平成28年度　分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査委員会)
• 平成28年度　産業動向調査報告書 MEMS 関連デバイス市場予測（産業動向調査委員会)

平成27年度事業

• 平成27年度　分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査委員会）
• 平成27年度　産業動向調査報告書 「スマートセンシング&ネットワークの産業動向調査」(産業動向調査委員会)

平成26年度事業

• 平成26年度　分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査委員会）
• 平成26年度　産業動向調査報告書　「日本のMEMS産業への提言」－MEMS産業の俯瞰と今後の打ち手を考える－

平成25年度事業

• 平成25年度　分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査委員会）
• 平成25年度　産業動向調査報告書 環境センサネットワークの産業動向と今後の展望(産業動向調査委員会)

平成24年度事業

• 平成24年度　分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査委員会）
• 平成24年度 産業動向調査報告書 マイクロナノ革新デバイス産業動向調査（産業動向調査委員会）

平成23年度事業

• 平成23年度　産業動向調査報告書 MEMS 関連デバイス市場予測（産業動向調査委員会）
• 平成23年度　分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査委員会）
  

平成22年度事業

• 平成22年度　分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査委員会）
• 平成22年度　産業動向調査報告書（産業動向調査委員会）

平成21年度事業

• 平成21年度　経済産業省基準認証研究開発委託費　小型ジャイロMEMSデバイスの性能評価方法に関する標準化　
• 平成21年度　経済産業省基準認証研究開発委託費　MEMSにおける形状計測法に関する標準化　　　
• 平成21年度　産業動向調査報告書（産業動向調査委員会）
• 平成21年度　分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査部会)

平成20年度事業

• 平成20年度　産業動向調査報告書（産業動向調査委員会）
• 平成20年度経済産業省委託事業成果　産業技術研究開発委託費（MEMSデバイス機構材料の特性計測評価方法に関する標準化）成果報告書
• 平成20年度経済産業省委託事業成果　産業技術研究開発委託費（小型ジャイロMEMSデバイスの性能評価方法に関する標準化）成果報告書
• 平成20年度　分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査委員会）

平成19年度事業

• 平成19年度分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査委員会）
• 平成19年度経済産業省委託事業成果　産業技術研究開発委託費（MEMSデバイス機構材料の特性計測評価方法に関する標準化）成果報告書　第1分冊
• 平成19年度経済産業省委託事業成果　産業技術研究開発委託費（MEMSデバイス機構材料の特性計測評価方法に関する標準化）成果報告書　第2分冊（先行研究開発）

平成18年度事業

• MEMSフロンティアとしてのナノ・バイオ融合による未来デバイス技術に関する
  調査研究報告書
• 平成18年度分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査委員会）
• 平成18年度経済産業省委託事業成果　産業技術研究開発委託費（MEMSデバイス機構材料の特性計測評価方法に関する標準化）成果報告書

平成17年度事業

• 平成17年度MEMSにおける規格化戦略に関する調査研究報告書
• 平成17年度分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査委員会）

平成16年度事業

• マイクロ・ナノシステムデバイスに係る加工組立・計測評価・ハンドリング技術に関する調査研究報告書
• 平成16年度MEMSの信頼性評価技術に関する調査研究報告書
• 平成16年度分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査委員会）
• 平成16年度エネルギー使用合理化システム標準化調査
  -　マイクロ･ナノ材料の疲労試験に関する調査研究　成果報告書
• 革新的部材産業創出プログラム　マイクロ分析･生産システムプロジェクト(平成15～16年度成果報告書）成果報告書･和文要約書･英文要約書

平成15年度事業

• ＭＥＭＳ関連市場の現状と日本の競争力分析に関する調査研究
• 平成15年度新機能性材料のNEMSへの展開報告書
• 平成15年度分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査部会）
• 第9回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム予稿集（英文）（2003/11/13 開催）
• 第9回マイクロマシン技術に関する研究助成報告書（目次のみ）
• 平成15年度エネルギー使用合理化システム標準化調査（マイクロ・ナノ材料の疲労試験に関する標準化調査研究）成果報告書

平成14年度事業

• MEMS設計・解析支援シミュレーションシステムに関する調査研究報告書
• 平成14年度スケールインターフェースに関する調査研究事業報告書
• 平成14年度分野別動向調査報告書（国内外技術動向調査部会）
• 第8回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム予稿集（英文）（2002/11/14 開催）
• 「マイクロマシン技術の市場調査法に関する調査研究」報告書　-2001年のマイクロマシン技術の国内市場規模-
• 平成14年度「MEMS産業の技術開発戦略に関する調査」報告書

平成13年度事業

• 第8回マイクロマシン技術に関する研究助成報告書
• 平成13年度分野別動向調査報告書（マイクロマシン技術国内外研究開発動向調査分科会）
• 平成13年度マイクロ・ナノ製造技術ファンドリーネットワークシステム概念に関する調査研究報告書
• 第7回国際マイクロマシンシンポジウム予稿集（英文）（2001/10/31～11/1 開催）
• 平成13年度「マイクロ・ナノ融合領域における機能発現及びプロセス技術に関する調査研究」

平成12年度事業

• 第7回マイクロマシン技術に関する研究助成報告書
• 平成12年度次世代マイクロマシン技術応用システムの創出に関する調査研究報告書
• 平成12年度次世代マイクロマシン技術応用システムの創出に関する調査研究報告書(要旨）
• 平成12年度マイクロマシン技術への多分野萌芽技術の適用に関する研究報告書
• 平成12年度マイクロマシンベースドシステムの産業化の応用展開に関する調査研究事業報告書
• 平成12年度分野別動向調査報告書（マイクロマシン技術国内外研究開発動向調査分科会）
• マイクロアクチュエータに関する国内外動向調査報告書（MMCテクニカルレポート）
• マイクロマシンの微細組立技術調査報告書（MMCテクニカルレポート）
• マイクロマシンの設計ツールに関する調査研究報告書（MMCテクニカルレポート）
• マイクロマシンの加工技術およびエネルギーに関する調査研究報告書（MMCテクニカルレポート）
• 平成11,12年度マイクロマシン用材料に関する共同研究報告書
• 第6回国際マイクロマシンシンポジウム予稿集（英文）（2000/11/9～10 開催）
• 平成12年度新規産業支援型国際標準開発事業（マイクロマシン用材料の特性計測評価方法の標準化）
• 平成12年度　マイクロマシン技術の研究開発（発電施設用高機能メンテナンス技術開発）委託研究成果報告書

平成11年度事業

• 第6回マイクロマシン技術に関する研究助成報告書(PDF17MB)　
• 海外におけるマイクロマシン技術の応用状況に関する調査研究事業報告書
• 平成11年度分野別動向調査報告書（マイクロマシン技術国内外研究開発動向調査分科会）　
• 平成9、10年度分野別動向調査報告書（マイクロマシン技術国内外研究開発動向調査分科会）　
• 新事業創出を目指した「マイクロ流体システム等」に関する技術動向調査（本編）
• マイクロマシンの計測評価法（MMCテクニカルレポート）
• 21世紀の健康・医療におけるマイクロマシンシステムの応用可能性に関する調査研究報告書
• 21世紀の健康・医療におけるマイクロマシンシステムの応用可能性に関する調査研究報告書(要旨)
• マイクロマシンシステムの将来型要素技術に関する調査研究報告書
• 第５回国際マイクロマシンシンポジウム予稿集（1999/10/28～29開催）
• 第5回マイクロマシンサミット・ 英国ミッション調査報告書
• 平成11年度新規産業支援型国際標準開発事業（マイクロマシン用材料の特性計測評価方法の標準化）
• 平成11年度マイクロマシン技術への他分野萌芽技術の適用に関する研究～本編～
• 平成11年度マイクロマシン技術への他分野萌芽技術の適用に関する研究～概要編～
• 平成11年度　マイクロマシン技術の研究開発（発電施設用高機能メンテナンス技術開発）委託研究成果報告書

平成10年度事業

• 第4回国際マイクロマシンシンポジウム予稿集（1998/10/29～30開催）
• 平成10年度マイクロマシン基礎技術の研究(本編）
• 平成10年度マイクロマシン基礎技術の研究(概要編）
• 平成10年度マイクロマシン技術による新産業創出に関する調査研究報告書
• 21世紀の生活環境におけるマイクロマシンの応用可能性に関する調査研究報告書
• 21世紀の生活環境におけるマイクロマシンの応用可能性に関する調査研究報告書(要旨）
• 98マイクロマシン豪州・ニュージーランド調査ミッション調査報告書
• 98マイクロマシン訪米調査団　調査報告書
• 平成10年度マイクロマシン技術の標準化に関する調査研究報告書
• マイクロファクトリ共同研究会　調査研究報告書（調査期間平成7年4月～平成10年3月）
• マイクロマシン技術に関する研究助成　第5回研究成果報告書
• 平成10年度マイクロマシン用材料に関する共同研究報告書
• 平成10年度　マイクロマシン技術の研究開発（発電施設用高機能メンテナンス技術開発）委託研究成果報告書

平成9年度事業

• マイクロマシン技術に関する研究助成 第4回 研究成果報告書
• 平成9年度マイクロマシン基礎技術の研究(本編)
• 平成9年度マイクロマシン基礎技術の研究(概要編)
• 平成9年度マイクロマシン技術の標準化に関する調査研究報告書
• 平成9年度マイクロマシン技術による新産業創出に関する調査研究報告書
• 21世紀の生活様式におけるマイクロマシンの応用可能性に関する調査研究報告書
• 第3回国際マイクロマシンシンポジウム予稿集（1997/10/30～31開催）
• 97マイクロマシン北米調査ミッション調査報告書
• '97マイクロマシン訪欧調査団調査報告書
• 平成09年度　マイクロマシン技術の研究開発（発電施設用高機能メンテナンス技術開発）委託研究成果報告書

平成8年度事業

• 平成8年度マイクロマシン技術の導入に伴う産業社会構造への影響に関する調査研究報告書
• マイクロマシン技術のアプリケ－ションに関する調査研究報告書
• マイクロマシン技術に関する研究助成　第３回研究成果報告書
• 平成8年度　マイクロマシン技術の標準化に関する調査研究報告書
• '96春マイクロマシン訪欧調査ミッション調査報告書
• 平成8年度マイクロマシン技術国内外研究開発動向調査報告書
• 平成8年度マイクロマシンの基礎技術の研究(本編)
• 平成8年度マイクロマシンの基礎技術の研究(概要編)
• 平成08年度　マイクロマシン技術の研究開発（発電施設用高機能メンテナンス技術開発）委託研究成果報告書

平成7年度事業

• '95マイクロマシン訪欧調査ミッション調査報告書
• 平成7年度マイクロマシン技術の標準化に関する調査研究報告書
• 平成7年度マイクロマシン技術の導入に伴う産業社会構造への影響に関する調査研究報告書
• '95マイクロマシン訪米調査ミッション調査報告書
• ロボットアプリケーションに関する調査研究報告書
• マイクロマシンの基礎技術の研究 （その1）
• マイクロマシンの基礎技術の研究 （その2）
• 平成07年度　マイクロマシン技術の研究開発（発電施設用高機能メンテナンス技術開発）委託研究成果報告書

平成6年度事業

• '94春マイクロマシン訪欧調査ミッション調査報告書
• 平成6年度マイクロマシン用材料に関する共同研究報告書
• 平成6年度マイクロマシン技術の標準化に関する調査研究報告書
• 平成6年度マイクロマシン技術国内外研究開発動向調査報告書
• 平成6年度マイクロマシン技術の経済効果（技術予測）に関する調査研究報告書
• '94第2回マイクロマシン訪欧調査ミッション調査報告書
• マイクロマシン技術に関する研究助成　研究成果報告書
  （研究期間平成6年4月－平成7年3月）
• マイクロマシンの基礎技術の研究 　その1
• マイクロマシンの基礎技術の研究 　その2
• マイクロマシン技術に関する研究助成　研究成果報告書
  （研究期間平成6年4月－平成8年3月）
• 平成06年度　マイクロマシン技術の研究開発（発電施設用高機能メンテナンス技術開発）委託研究成果報告書

平成5年度事業

• 平成5年度　マイクロマシン技術の標準化に関する調査研究報告書
• 平成5年度マイクロマシン技術の経済効果（技術予測）に関する調査研究報告書
• 平成5年度マイクロマシン技術国内外研究開発動向調査報告書
• 平成5年度マイクロマシン用材料に関する共同研究報告書
• データベース構築促進及び技術開発に関する報告書
  マイクロマシン技術情報データーベースの構築調査
• マイクロマシンの基礎技術の研究 　その1
• マイクロマシンの基礎技術の研究 　その2
• 平成05年度　マイクロマシン技術の研究開発（発電施設用高機能メンテナンス技術開発）委託研究成果報告書

平成4年度事業

• マイクロマシンシステムに関する基礎技術の調査研究
• 平成4年度マイクロマシン用材料に関する共同研究報告書
• マイクロマシン技術の研究開発成果概要（発電施設用高機能メンテナンス技術開発）
• マイクロマシン技術の研究開発成果報告書
• '92秋ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ訪欧調査ﾐｯｼｮﾝ調査報告書
• '93春マイクロマシン訪米調査ミッション調査報告書
• 平成04年度　マイクロマシン技術の研究開発（発電施設用高機能メンテナンス技術開発）委託研究成果報告書

平成3年度事業

• マイクロマシン海外技術調査報告書