| 目 次 |
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| 序 |
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| はじめに |
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| 第１章 本調査研究の目的と実施方法 |
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| １－１ 調査研究の目的 |
1 |
| １－２ 調査研究の実施方法 |
2 |
| １－２－１ アプローチ |
2 |
| １－２－２ 調査研究の内容・範囲 |
2 |
| １－２－２ 実施体制 |
3 |
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| 第２章 第3世代MEMS技術開発への取り組みの必要性 |
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| ２－１ MEMS技術の産業化への取り組み状況 |
14 |
| ２－１－１ 国内MEMS産業の現状 |
14 |
| ２－１－２ MEMS市場の推移 |
15 |
| ２－１－３ MEMS産業化に対する研究開発プロジェクトの関わり |
17 |
| ２－１－４ 技術戦略マップによる研究開発プログラムの推進 |
18 |
| ２－１－５ 海外における次世代マイクロ・ナノシステム研究への取り組み |
21 |
| ２－２ ナノ・バイオプロセスとの融合によるマイクロナノ統合製造技術開発の必要性 |
28 |
| ２－２－１ fine MEMSによるナノ・バイオ機能のMEMSとの結合 |
28 |
| ２－２－２ マイクロナノ統合製造技術の確立への課題 |
31 |
| ２－３ 20年後の社会トレンドとライフスタイル |
34 |
| ２－３－１ 環境・エネルギー |
34 |
| ２－３－２ 健康・医療 |
36 |
| ２－３－３ 快適・安心・安全 |
37 |
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| 第３章 BEANS（Bio Electro-mechanical Autonomous Nano
Systems）の概念 |
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| ３－１ BEANSのコンセプト |
40 |
| ３－２ BEANSにより実現できるデバイス群 |
40 |
| ３－３ BEANSを支えるマイクロナノ統合製造技術 |
42 |
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| 第４章 BEANS開発への取り組み |
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| ４－１ BEANSの研究開発アプローチ |
45 |
| ４－２ BEANSを実現する重要技術の選定 |
47 |
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| 第５章 マイクロナノ統合製造技術 |
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| ５－１ 3次元ナノ構造形成技術 |
51 |
| ５－１－１ エッチング |
51 |
| ５－１－２ 成膜 |
58 |
| ５－１－３ 成形 |
61 |
| ５－１－４ ナノトランスファー |
64 |
| ５－１－５ 自己組織 |
66 |
| ５－１－６ 異種材料レイアバイレイヤ |
69 |
| ５－２ 界面制御技術 |
72 |
| ５－２－１ 自己組織分子膜 |
72 |
| ５－２－２ 高度生体親和界面 |
77 |
| ５－２－３ 有機分子配向制御 |
80 |
| ５－３ 連続化・大面積化プロセス技術 |
83 |
| ５－３－１ マイクロ・ナノ印刷 |
83 |
| ５－３－２ 転写技術 |
85 |
| ５－３－３ ナノインプリント |
88 |
| ５－４ 検査・評価・シミュレーション技術 |
92 |
| ５－４－１ ナノトライボロジー |
92 |
| ５－４－２ マルチスケールモデリング |
95 |
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| 第６章 環境・エネルギー分野への応用 |
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| ６－１ エネルギーハーベスティング |
98 |
| ６－１－１ 光 |
98 |
| ６－１－２ 熱 |
103 |
| ６－１－３ 振動 |
107 |
| ６－１－４ バイオ |
112 |
| ６－１－５ 蓄電 |
114 |
| ６－２ オンサイト環境浄化デバイス |
117 |
| ６－２－１ CO2固定 |
117 |
| ６－３ 超高感度環境物質検出デバイス |
120 |
| ６－３－１ SERS応用センサ |
120 |
| ６－３－２ 自己組織化膜応用センサ |
123 |
| ６－３－３ テラヘルツ光源応用センサ |
125 |
| ６－３－４ マイクロ環境物質検出装置 |
128 |
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| 第７章 健康・医療分野への応用 |
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| ７－１ シート型健康管理デバイス |
132 |
| ７－１－１ シート型体内観察技術 |
132 |
| ７－１－２ 情報分析技術 |
137 |
| ７－２ 超小型体内埋め込みデバイス |
140 |
| ７－２－１ 次世代体内観察・治療デバイス |
140 |
| ７－２－２ 体内留置型BEANSセンサ |
144 |
| ７－２－３ 体内留置型BEANSセンサ～門脈等への留置型～ |
149 |
| ７－２－４ 体内自走式マイクロデバイス |
151 |
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| ７－３ 生体機械ハイブリッドデバイス |
153 |
| ７－３－１ 分子・細胞ハイブリッドデバイス |
153 |
| ７－３－２ 臓器ハイブリッドデバイス |
157 |
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| 第８章 快適・安心・安全分野への応用 |
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| ８－１ 雰囲気検知・伝送・再生デバイス |
163 |
| ８－１－１ 臭覚 |
163 |
| ８－１－２ 触覚 |
168 |
| ８－１－３ 赤外線 |
172 |
| ８－１－４ スマートIDセンサ |
176 |
| ８－２ 壁紙型アンビエントインテリジェンスデバイス |
179 |
| ８－３ 万能携帯 |
181 |
| ８－３－１ サイボーグによる超人能力デバイス「万能携帯」 |
181 |
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| 第９章 BENS実現に向けた方策提案 |
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| ９－１ イノベーションスーパーハイウェイ構想実現のための方策提言 |
185 |
| ９－２ BEANS研究体 |
188 |
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| 第１０章 調査研究の成果（まとめ） |
199 |
| １０－１ 環境・エネルギー分野のデバイス |
199 |
| １０－２ 健康・医療分野のデバイス |
200 |
| １０－３ 快適・安心・安全分野のデバイス |
200 |
| １０－４ マイクロ・ナノ統合製造技術 |
201 |
| １０－５ ＢＥＡＮＳ実現のための方策提言 |
202 |
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| 第１１章 調査研究の今後の課題及び展開 |
205 |
