【定　義】　反応性の薬液を用いた、液相でのエッチング加工技術。

【解　説】　ウェットエッチングでは、被加工材の加工を施す部分を露出させ、そうでない部分をマスクで覆ってから、反応液に浸して加工を行う。 被加工材の結晶構造に依存しない等方性エッチングと、これに依存する異方性エッチングに大別できる。 等方性エッチングではマスクのない部分から全ての方位に等速度で浸食が進むため断面が半円状になりやすい。 一方、異方性エッチングでは被加工材の結晶方位ごとにエッチング速度が異なるため、エッチング速度の遅い面が最終的に残り、最終形状を決める。

【参考資料】

【関連用語】 ドライエッチング