【定　義】　試料上に電子線の焦点をあわせ、透過した電子線の幾何光学的結像によって試料の像を得る顕微鏡。

【解　説】　電子波の波長は一般に短いため光学顕微鏡では不可能な高倍率、高分解能の像が得られる。　像のコントラストは試料各部での散乱の強弱によって得られる。　現在、分解能として理論分解能に近い0.2～0.3nmの値が得られている。

【参考資料】

【関連用語】 走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）