【定　義】　電子線で試料上を走査し、試料から放出される量子（二次電子、反射電子等）の強度を測定する顕微鏡。 試料のもつ性質の分布を画像化することができる。

【解　説】　結像系に電子レンズを用いないため、分解能は入射電子線束の直径によって決定される。　検出する量子を変えることにより種々の物性の観察が行える。　例えば二次電子像の観察により試料表面の構造や電位分布等を、反射電子像の観察により試料の組成や結晶状態などを、またＸ線像の観察により元素分布などを調べることができる。

【参考資料】

【関連用語】 透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）