【定 義】 蒸気状にした物質を固体表面上に付着堆積させる技術。
【解 説】 通常、真空中において、金属等の物質を加熱や電子線の照射によって蒸気にして、その蒸気を基板にあてて付着させる薄膜形成技術のひとつ。
反応容器内の圧力（真空度）によって膜の純度が影響されることや、単なる付着のため、比較的付着強度が弱く、また、結晶性は良好とはならないことがある。
このため、基板を加熱しておいて、付着後に、化学反応によって付着強度を高めたり、結晶性を改善する等の処理が行われている。
【参考資料】 (4)(6)(7)