【定　義】　シリコンを材料として使用する超精密加工技術の総称。

【解　説】　表面微細加工とバルク微細加工に大別されるが、それらの工程はほぼ共通であり、薄膜積層工程、パターン作成工程、微細組立、アニール、および被覆といった流れになる。 加工技術として蒸着、拡散、化学腐食、リソグラフィ等の多くの技術を複合させて用いる。 大きなウェハ上にバッチ処理で大量に部品を作ることができるのが特徴である。

【参考資料】 (5)(6)

【関連用語】 表面微細加工､ バルク微細加工