【定　義】　いくつかの単純な機能を持つモジュールを集積化したモジュール。

【解　説】　半導体作製プロセスを応用して、いくつかの機能モジュール、すなわち、化学的センサや機械的センサ、電子回路、信号処理回路、機構部等を同一基板上に集積したモジュールをさす。 マイクロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）やマイクロマシンの実現の理想的な例の一つとして研究開発が続けられている。 例として、ピンセットを櫛歯型のアクチュエータで動かし細胞を把持するためにシリコンチップ上に集積化されたモジュールがある。　

【参考資料】 (3)

【関連用語】 ＭＥＭＳ