【定　義】　マイクロプローブと信号処理回路を統合化し、一体化したプローブ。

【解　説】　センサはその感応部分の大きさが小さいほど、被測定系を乱さない、Ｓ／Ｎ比の良い計測ができる、局所の情報を得ることができる、といった特長がある。 集積化マイクロプローブは、シリコンをマイクロマシニングによって極微細な針状に加工したマイクロプローブと信号処理回路を統合・一体化したデバイスである。 シリコン針を数ナノメータから数ミクロンに加工したプローブとインピーダンス変換回路等が一体化されている。 生体用の微小電極や、走査トンネル顕微鏡（ＳＴＭ)や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ)に利用されている。

【参考資料】 (1)(4)

【関連用語】 走査トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）