【定　義】　プローブと試料の間のトンネル電流を一定に保ちながらプローブをラスタ走査して、試料表面の微細形状を測定する顕微鏡。

【解　説】　極端に尖らせたプローブを固体表面１～２ｎｍまで近づけて電圧をかけるとトンネル電流が流れる。　これを一定に保つようにプローブ位置を制御し、さらに水平方向への走査を行うと、原子スケールで表面形状を求めることができる。　この顕微鏡は、固体表面の分子を切り離したりするマイクロマニピュレーションにも応用されている。

【参考資料】 (1)(4)

【関連用語】