【定　義】　多数の化学センサとバルブやポンプ等の機構部を集積した微小な流体分析デバイス。

【解　説】　シリコンプロセスにより、半導体イオンセンサやpHセンサ、PCO2センサ等を集積した集積化化学分析システム用のマイクロデバイスが研究されている。 微量の検体（例えば血液）を採取し、流体の分析を行うデバイスである。 ポンプやバルブ等の機構部とセンサ部、回路部を集積した例が研究開発されている。 生体との適合性、インターフェース、微量の検体の採取、血球等の分離の前処理等多くの課題が残されている。

【参考資料】 (1)

【関連用語】 ＩＳＦＥＴ