【定　義】　気体または液体の微小な流路における流れを制御する機械要素。

【解　説】　マイクロバルブは、アクチュエータおよびシリコン等で作製されたダイアフラム等により構成され、微小な流路（数ミクロン以下）の流れを制御する。 気体流量制御用バルブは、積層型圧電アクチュエータとダイアフラムにより構成される。 また、血液等の粘度の高い液体を制御するためには、流路を広げてバルブ駆動部分のストロークを大きくする必要がある。 このために、形状記憶合金コイルとバイアスバネを用いる機構、および静電・電磁あるいは圧電アクチュエータにより流路を変化させる機構が試作されている。

【参考資料】 (1)

【関連用語】 ダイアフラム構造､ 圧電アクチュエータ､ 形状記憶合金アクチュエータ