【定　義】　マイクロマシニングによって作製された物理量や化学量を検出する微小な素子の総称。

【解　説】　マイクロマシンの中で最も早期に開発され、実用化されているのがこのマイクロセンサの分野である。 機械量センサ（圧力、加速度、触覚、変位等）、化学量センサ（イオン、酸素、温度、湿度等）、電気量センサ（磁気、電流等）、バイオセンサ、光学センサ等、様々なマイクロセンサが開発されている。 機構部を含む検出部と集積回路を一体化した例が多い。 センサをマイクロ化する利点は、 1)環境を乱さない、 2)局所的な状態が計測できる、 3)回路と一体化できる、 4)省電力等の利点が挙げられる。

【参考資料】 (4)(5)(6)

【関連用語】 スマートセンサ