【定 義】 情報処理回路を集積化したセンサ。
【解 説】 スマートセンサは、センサ構造と信号処理回路(インピーダンス変換や温度補償等)を同一チップ上に作製したものである。 集積化の主な目的は、信号伝達中のノイズやドリフトを抑えることである。 さらに、高度な情報処理も期待できる。種々のスマートセンサが開発されて、加速度センサや圧力センサ等実用化されたものがある。
【参考資料】 (2)(5)(6)
【関連用語】 スマートアクチュエータ、 集積化ひずみセンサ