【定 義】 固体表面上に種々の皮膜を形成する技術。
【解 説】 コーティングとは金属、半導体、プラスチックなどの固体表面に、金属、化合物膜、機能性膜、有機膜などを、単層、積層あるいは複合膜といった形で皮膜を堆積させる技術であり、その手法は、湿式および乾式などがある。 イオンプレーティングは代表的な乾式の薄膜形成技術であり、緻密で密着性のよい皮膜を得ることができる。
【参考資料】 (4)
【関連用語】 イオンプレーティング