【定　義】　流体の流量を測定するセンサ。

【解　説】　気体や流体の微小流量を測定するデバイスがマイクロマシニングによって実現されている。 気体用では流量の変化による、放熱条件の変化に基づくヒータの温度変化を利用して流量を計測するタイプが実用化されている。 液体用では差圧式を用い、微小オリフィスの圧力変化をマイクロマシニングによって作製したシリコンダイヤフラム上のピエゾ型圧力センサ等で検出している。

【参考資料】 (4)

【関連用語】 マイクロセンサ､ ダイアフラム構造