【定　義】　無水ピロメリト酸と芳香性ジアミンの反応によりつくられる高分子材料。　

【解　説】　ポリイミドは、　1)スピンコートにより簡単に膜がつくれる、　2)耐熱性がプラスチックとしては高い、　3)弾性定数が小さい、　4)絶縁性である、などの特徴があり、マイクロ構造用の材料として用いられている。試作例として、平板状のポリイミドの４隅を細い梁で支持させて、その上部と下部にストライプ状の電極を配置した静電リニアアクチュエータや、ポリイミドと金属のマイクロヒータと組み合わせた、熱膨張形のカンチレバーアクチュエータなどがある。

【参考資料】 (1)(2)(3)(6)(16)

【関連用語】 静電リニアアクチュエータ