【定 義】 静電力を利用して直線運動を発生するアクチュエータ。
【解 説】 回転駆動力を発生する静電モータの開発に引き続き、直線駆動力を発生する静電リニアアクチュエータの開発も多く行われている。 試作例としては、短冊状電極を有する平板とその上に置かれた円筒電極からなり、可動部に転がり運動をさせる可変ギャップ型リニアアクチュエータ等がある。 また、高抵抗体上の誘導電荷による静電反発力を利用し、移動子を順次シフトさせるフィルム型リニアアクチュエータも試作されている。 このアクチュエータは大面積化が容易であり、異なった方向の複数の組の電極を用いることにより、3自由度駆動(2軸の並進と回転運動)も可能となる。
【参考資料】 (4)(6)
【関連用語】 アクチュエータ、 静電モータ、 リニアアクチュエータ