【定　義】　加工法の中で、被加工物の厚さ方向だけでなく、加工面内での横寸法にも細かく精密なものの総称。

【解　説】　一般的な機械加工では工具を用いて材料の破壊などを行うが、微細な形状の加工では工具の変形や強度不足のため、高いエネルギーの集中に困難がある。 そこでエネルギービームや化学的なプロセスを用いると、より微細な加工を行うことができる。 リソグラフィ等の特殊技術とエッチングを組合せた加工技術が多い。 具体例として、シリコンウェハにリソグラフィで微細パターンを作成し、エッチングにより三次元形状をつくる手法などがある。

【参考資料】

【関連用語】 マイクロ機械加工