【定 義】 非点収差をもった光学系で結像した点像のひずみを検出することで光軸方向の変位を非接触で測定する方法。
【解 説】 非点収差とはレンズの焦点距離が光軸を含む直交する二つの断面で異なる値をもつことによる収差である。 非点収差をもった光学系で点像を結合すると、観測面の位置によって像が縦長、円形、横長と変化する。 ４分割光検出器を利用してこの変化を検出すれば光軸方向の変位を測定することができる。 この原理を応用した測定法では、±２μｍの測定範囲で１nm程度の感度が実現されている。
【参考資料】 (56)(57)