【定　義】　変位を検出するためのセンサ。

【解　説】　従来、静電容量式や差動トランス式の変位計が一般的であり、0.01μｍ程度の分解能が得られている。 原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）などでは変位を光学的に拡大して、測定している。 マイクロマシン関連では対象寸法が小さいこともあり、空間分解能の不足、測定荷重の過大等の問題があるため、従来のものが使えない場合がある。 レーザ光を用いた方式のもので測定スポットが数μｍの領域のものもある。

【参考資料】 (2)

【関連用語】 マイクロセンサ