【定 義】 機械的応力を受けて歪みを生ずると誘電分極により電界を発生する効果。
【解 説】 圧電効果は1880年に水晶等の結晶において発見され、その後、LiNbO3、PZT、PVDF、PT、PLZT等、種々の材料開発が行われている。 これらの材料には逆向きの効果も観察される。また、これら材料を用いて各種センサやアクチュエータが製作されている。 センサとしてはひずみセンサ、圧力センサ等に適用されている。 アクチュエータとしては、積層型圧電素子を組み合わせたインチワーム、走査トンネル顕微鏡(STM)のプローブ操作用のアクチュエータ等がある。 電磁式のセンサやアクチュエータに比べエネルギー変換効率が高く小型化も容易なためマイクロマシン関連分野でも多く用いられている。
【参考資料】 (3)(6)(39)