１ ヨーロッパのMEMS事情
わが国のファンドリーサービスネットワーク発展、及びMEMS産業推進に資することを目的に、2005年11月21日から25日にかけてＭＥＭＳの産業化推進で先行する欧州のファンドリー、研究機関、またMEMSの事業立ち上げに成功している企業を訪問しました。
調査は企業・研究機関を訪問し、わが国のMEMS産業化推進状況の紹介、及び訪問先の活動状況の紹介を受けた後、産業化推進の課題、その解決についてディスカッションする形で進め、現場の生きた情報を収集してきました。
訪問先は、以下に示すようMEMSファンドリー、MEMSデバイスメーカー、MEMS／ナノ研究機関、MESM産業化支援機関と産業化推進の全体を広くカバーできるよう選定しました。
＜訪問先＞
◆VTT Technical Research Centre of Finland ［フィンランド］
・フィンランドの国立研究機関で受託研究を実施 ・MEMS，ナノエレクトロニクス研究開発
◆MST.factory Dortmund ［ドイツ］
・マイクロシステム技術のインキュベータ
・事業立上げコストの軽減、製品開発期間の短縮で事業成功確率を高めることを支援
◆IVAM ［ドイツ］
・欧州を中心に165の会員企業・研究機関を有するマイクロテクノロジー関連協会
・企業とユーザーの橋渡しによる産業化支援
◆X-FAB Semiconductor Foundries ［ドイツ］
・欧米を代表する半導体系ファンドリー ・MEMSファンドリー活動も推進
◆Robert Bosch，Automotive Electronics Division ［ドイツ］
・車載用MEMSセンサーの最大手メーカー ・MEMSプロセス開発
◆STMicroelectronics ［イタリア］
・半導体大手、民生用MEMSセンサーメーカー
調査の結果、日欧におけるMEMS関連プロジェクトの推進状況、ファンドリー事業化動向、MEMSデバイス開発動向、及び産業化支援について意見交換し、今後の方向性について情報を得ることができました。なかでも民生用MEMS市場としての日本に対する関心は高く、各訪問先とも参入・協業の可能性について議論が集中しました。
今後は、企業間の交流に加え産業化支援の面でも日欧の交流が盛んになると思われます。
２ MEMS専門用語がIEC国際規格に採択させた
マイクロマシン技術が多様な分野に関連するマルチディシプリナリーな技術であるため、異分野間にまたがる研究を、効率的に進めるためには、まず分野を越えたコミュニケーションの基本となる専門用語の語意を明確にすることが必要です。
平成5年度に、将来的に国際規格化することを視野に入れて、マイクロマシンセンターに専門用語ワーキンググループ（主査：首都大学東京諸貫信行助教授）を設置し、マイクロマシン技術との関連度、要素技術分野、応用分野の観点から、特に重要用語220語を抽出、整理、語意調査を実施し、平成7年度には和文専門用語集を、平成9年度には英語専門用語集を完成させ、平成10年には英文と和文を統合した｢マイクロマシン技術専門用語集｣をテクニカルレポートとして発行しました。さらにIEC国際規格化を行なうために、用語専門委員会（委員長：首都大学東京諸貫信行助教授）を設置し、平成14年に、このテクニカルレポートから約半数の用語を選び、IEC(International
Electrotechnical Commission)に｢MEMS専門用語｣規格として提案しました。4年間の審議を経て、今春に最終段階のFDIS(Final
Draft International Standard)が提出され、投票権を持つオーストリア、中国、チェコ、フランス、ドイツ、イタリー、韓国、オランダ、ポーランド、ルーマニア、ロシア、アメリカ、イギリスおよび日本の14ヵ国による投票の結果、満場一致で承認され、マイクロマシン・MEMS分野では初めての国際規格として採択されました。12年の歳月を経て生み出されたMEMS用語集はIEC国際規格(IEC62047-1
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms
and definitions) として今年の9月27日に刊行されました。
http://domino.iec.ch/webstore/webstore.nsf/artnum/034913
３ 2005国際ロボット展で当センター紹介
（社）日本ロボット工業会並びに日刊工業新聞社主催の2005国際ロボット展が11月30日～12月3日まで東京ビックサイトで開催されました。
当センターは、協賛団体として主催者の特別企画（マイクロファクトリー実証コーナー）に、当センターの概要と現在研究開発中のMEMS－ONEプロジェクトの概要をパネルで紹介いたしました。このコーナーは、「小さな部品は、小さい機械で」というあたらしいモノづくりの考え方「マイクロファクトリー」の概念や歴史を展示・紹介したコーナーで、たくさんの来場者にマイクロマシンについてのＰＲができました。
１ 第2回材料特性標準化委員会（引張試験）の開催
平成17年度第2回材料特性標準化委員会（引張試験）が11月21日(月)に開催されました。
11月9日（水）～11日(金)にJEITA（東京、御茶ノ水）で開催されたIEC東京会議（SC47E/WG1-TC47/WG4合同会議）および11月8日（火）に東京大学秋葉原拠点で開催された日韓中MEMS標準化ワークショップの報告が大和田委員長よりなされました。
日本がIECに提出しました引張試験法の規格案(47/1812/CDV)と引張試験用試験片(47/1813/CDV)のCDVは各国に回付され、投票の結果、賛成多数で了承されましたが、ドイツ、イタリア、米国からコメントがつけられ、前回の委員会にて各コメントに対する回答案を審議しました。今回のIEC東京会議ではコメントに対する回答が審議されました。IEC東京会議にはMEMS関係者として日本から大和田委員長、高島委員、オムロンの佐野氏の３名が出席しました。審議は順調に行なわれ、各国からのコメントに対する日本側の説明は了承され、一部については修正により承認されました。コメントの指摘事項に従って規格案を修正し、来年１月に最終段階のFDIS(Final
Draft International Standard)を提出する予定です。順調に行きますと、各国に配布され、最終投票により来年度中に国際規格化が決定される予定です。
２ 第3回調査研究委員会（疲労試験）の開催
平成17年度第3回調査研究委員会（疲労試験）が11月21日(月)に開催されました。3ヵ年の計画で進められた薄膜材料の疲労試験の標準化事業も残り半年を切り、ラウンドロビンテストはまとめの段階となりました。国際規格案作成も来春の提出に向け、平行して進められています。今回、ラウンドロビンテストの進捗状況や規格案の作成状況の報告が行なわれました。ラウンドロビンテストの結果は規格の妥当性を証明する資料としてIEC規格のAnnexに記述することになりました。また、ラウンドロビンテストに関して、先月に開催された日韓中MEMS標準化ワークショップが契機となって、韓国より疲労試験のラウンドロビンテストに参加したいとの申し出があり、今後、韓国にテストサンプルを送付する等、共同で行う方向で検討を進めることになりました。
３ 第4回MEMSにおける規格化戦略に関する調査研究委員会の開催
第４回MEMSにおける規格化戦略に関する調査研究委員会（委員長：産総研 石川雄一氏）が11月22日（火）に開催されました。当日は分科会構成としてデバイス、材料、パッケージ、微小の計４分科会とすることで合意がなされ、活動内容の詳細について議論がなされました。その結果、先のアンケート結果のニーズ整理、分科会毎の技術興味などを考慮し、以下の調査研究を行うことになりました。
【デバイス】LSIとMEMSの故障メカニズムの比較とともに規格を検討
【材料】薄膜について内部応力計測法、弾性率計測法、密着強度計測法、熱膨張係数計測法
【パッケージ】封止性能評価法、接合部の強度評価法
【微小】微小力測定、微小変位測定
今後は分科会ごとに文献調査を中心とした調査活動を行い、(ⅰ)規格化項目として何を規定すれば役に立つ規格となるか、(ⅱ)現状シーズの有無/技術レベルの把握、(ⅲ)将来の規格化に必要な技術要件、不足している技術の抽出、(ⅳ)今後の調査研究対象の明確化、を目指すことになります。
４ MEMS-ONE関係委員会（NEDO委託研究）の動き
(1) 第11回材料・プロセスDB委員会の開催
平成17年11月25日(金)に第11回材料・プロセスDB委員会（委員長：産総研 前田龍太郎氏）が開催されました。
今回は、下記研究テーマの進捗状況に関する報告および意見交換が行われました。
・ 材料・プロセスデータの取得状況
・ ナノインプリント解析用材料データの取得状況
・ 本プロジェクトで測定しない材料特性データの材料メーカへの依頼手続き状況
・ 文献データからの材料データ収集状況
・ 材料特性データの最新登録フォームについて
また、18日(金)に、検証デバイスに必要な材料特性データの洗い出しと、洗い出したデータの準備担当を決定するための検討ワーキングが開催され、この検討結果についての報告がありました。今後は、この決定事項に基づいて、データ収集を進めて行くことになりました。
なお、次回はデータ取得や文献収集状況および材料メーカ対応状況等のフォローを中心に進めることとし、開催は来年1月16日(月)を予定しています。
１ 第6回マイクロ・ナノ先端技術交流会の開催
第6回マイクロ・ナノ先端技術交流会が下記のとおり開催されます。参加申し込みは、当センターホームページより行っておりますのでよろしく御願いします。
記
開催日時：平成１７年１２月２１日（水）15:00～17:00～18:30
開催場所：（財）マイクロマシンセンター 会議室
〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸６７
MBR99ビル ６階
TEL:03-5835-1870 FAX:03-5834-1873
講 師： 東京大学（院）情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻
下 山 勲 教授
講演題目： 「ＳＡＭ（Self-Assembled Monolayer）機能利用ＭＥＭＳ」
開催案内先 ＭＭＣ賛助会員企業等
参 加 費 賛助会員 １,０００円 / 人
一 般 ５,０００円 / 人
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技術交流会プログラム
15:00～ 主催者挨拶
（財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一
15:10～ ご講演
「ＳＡＭ（Self-Assembled Monolayer）機能利用ＭＥＭＳ」
17:00～18:30 技術相談及び交流会
２ 第6回MEMS講習会の開催
当センターファンドリーサービス産業委員会では、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために初心者・中級者を対象に、下記のとおり第5回MEMS講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」を開催いたします。積極的なご参加をお願い致します。なお、賛助会員企業の連絡窓口担当者には既に別途ご案内を差し上げてあります。
第６回MEMS講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」
◇日 時：2006年1月19日（木）13:00～17:50～19:00
◇場 所：ぱ・る・るプラザ京都（JR京都駅前）６階会議室Ｄ及び会議室５
〒600-8216 京都市下京区東洞院通七条下ル東塩小路町676番13
TEL：075-352-7444（代表）
地図URL: http://fsic.mmc.or.jp/mems-koshu/koshu-6/map_kyt.gif
◇参加費：8，000円 参加費には講習会資料と懇談会費が含まれます。
参加費は当日、受付でお支払い下さい。（領収書をご用意します。）
◇定 員：１００名 （定員になり次第、締切りさせて頂きます。）
◇参加申込：このメール最終部分の申込欄に必要事項をご記入の上、
メール又はFAXにてご送信ください。
◇問合せ先：〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル ６階
財団法人マイクロマシンセンター
ファンドリーサービス産業委員会講習会担当（織田、酒向）
TEL 03-5835-1870, FAX 03-5835-1873
◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇ プログラム ◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇
第６回ＭＥＭＳ講習会「ＭＥＭＳの設計・加工技術と応用例」
13:00 主催者挨拶
青柳 桂一 （財団法人マイクロマシンセンター 専務理事）
13:10 新産業創出のキーとなるＭＥＭＳテクノロジー
杉山 進 （立命館大学理工学部 教授）
14:00 光ＭＥＭＳ（マイクロミラーデバイス）の設計技術
宮島 博志 （オリンパス(株) 研究開発センター ＭＥＭＳ事業推進部
グループリーダー）
14:35 ＭＥＭＳ加工技術（半導体プロセス～機械加工）
高橋 敏幸 （オムロン(株) セミコンダクタ統括事業部
ＭＥＭＳ事業部
グループリーダー）
荒井 剛 （オムロン(株) エンジニアリングセンター グループリーダー）
15:10 ドライエッチングの基礎
林 俊雄 （(株)アルバック 半導体技術研究所 第１研究部 部長）
15:45～16:15
技術相談会（各社パネル展示説明）及び休憩
16:15 ＭＥＭＳ応用例(1) 非シリコンＭＥＭＳとその用途
飛永 芳一 （(株)ナノデバイス・システム研究所 取締役CTO）
16:50 ＭＥＭＳ応用例(2) バイオＭＥＭＳ・ナノテクノロジーの医療応用
馬場 嘉信 （名古屋大学大学院 工学研究科 化学・生物工学専攻 教授）
17:30 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
毛野 拓治 （松下電工(株) 生産技術研究所 高度ＭＥＭＳ開発センター
グループ長）
---- 休憩 17:50～18:00 ----
18:00～19:00 懇談会 （６階会議室５）
◆ 参加申込
下記に必要事項をご記入の上、E-メール又はFAXにてご送付ください。
E-mail: [email protected] / FAX: 03-5835-1873
http://fsic.mmc.or.jp/mems-koshu/koshu-6/koshu-6.html
====== お申込は下記の申込欄のみをご返信下さい。========
◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇ 参加申込み欄 ◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇
第６回ＭＥＭＳ講習会「ＭＥＭＳの設計・加工技術と応用例」参加申込
申込者氏名：
氏名フリガナ：
会社・団体名：
所属部署：
役職：
勤務先〒番号：
勤務先住所：
TEL：
FAX：
E-mail：
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１ 月例経済報告 （平成17年1１月）
内閣府が発表した月例経済報告（平成17年10月）の総論部分は次の通りです。
（我が国経済の基調判断）
景気は、緩やかに回復している。
・企業収益は改善し、設備投資は増加している。
・個人消費は、緩やかに増加している。
・雇用情勢は、厳しさが残るものの、改善に広がりがみられる。
・輸出は持ち直し、生産は横ばいとなっている。
先行きについては、企業部門の好調さが家計部門へ波及しており、国内民間需要に支えられた景気回復が続くと見込まれる。一方、原油価格の動向が内外経済に与える影響等には留意する必要がある。
（政策の基本的態度）
政府は、「経済財政運営と構造改革に関する基本方針2005」に基づき、構造改革を加速・拡大する。
政府は、日本銀行と一体となって、重点強化期間におけるデフレからの脱却を確実なものとするため、政策努力の更なる強化・拡充を図る。
２ 経済産業省の人事異動
平成17年11月21日付けで、高橋泰三氏（大臣官房付）が製造産業局産業機械課長に着任されました。なお、前任の小宮義則（前）産業機械課長は、1０月3１日付けで経済産業大臣の秘書官として異動されておりますことを申し添えます。
1 当センター主催のイベント
詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
(1) 第６回マイクロ・ナノ先端技術交流開催
開 催 日 ： ２００５年１２月２１日（水） 15:00～17:00～18:30
開催場所： （財）マイクロマシンセンター 会議室
講 師： 東京大学（院）情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻
下 山 勲 教授
講演題目： 「ＳＡＭ（Self-Assembled Monolayer）機能利用ＭＥＭＳ」
(2) 第６回MEMS講習会「ＭＥＭＳの設計・加工技術と応用例」
開 催 日： ２００６年１月１９日（木） 13:00～17:50～19:00
開催場所： ぱるるプラザ京都（JR京都駅前）６階
２ その他のイベントのお知らせ
詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。
(1)Microelectronics, MEMS, and Nanotechnology
開 催 日： 2005年12月11日(日) ～ 14日(水)
開催場所： Brisbane, Australia
主 催： SPIE
情報入手： http://spie.org/conferences/calls/05/au/
(2)SPIE International Symposium Smart Materials,
Nano-, and Micro-Smart
Systems
開 催 日： 2005年12月12日(月) ～ 15日(木)
開催場所： Sydney,
Australia
主 催： SPIE
情報入手：
http://spie.org/conferences/calls/04/au/
(3)第53回次世代センサセミナーシリーズ
「バイオセンサにおけるナノテクノロジー」
開 催 日： 2005年12月12日(月)
開催場所： 化学会館 ６階 601号室
主 催： 次世代センサ協議会
情報入手： http://www.cnt-inc.co.jp/jisedai/seminar53.htm
(4)MEMS 2006
(the 19th IEEE International Conference on Micro Electro
Mechanical Systems)
開 催 日： 2006年01月22日(日) ～ 26日(木)
開催場所： Lutfi Kirdar
Convention and Exhibition Centre, Istanbul, Turkey
主 催： IEEE, IMTEK
情報入手：
http://www.mems2006.org/
New
(5)センサエキスポジャパン 2006
(旧名称：センサ総合展)
開 催 日：2006年04月05日(水) ～ 07日(金)
開催場所：有明・東京ビッグサイト
主 催：ﾌｼﾞｻﾝｹｲﾋﾞｼﾞﾈｽｱｲ(日本工業新聞社)
情報入手： http://www.business-i.jp/event/sensor
(財)マイクロマシンセンター 後援
(6)HANNOVER MESSE - MicroTechnology 2006
ハノーバー・メッセ2006 『マイクロテクノロジー』
マイクロシステムズ及びナノ応用技術専門見本市
開 催 日：2006年04月24日(月) ～ 28日(金)
開催場所：Hannover Messe(ハノーバ国際見本市会場）, Germany
主 催：Deutsche Messe AG
情報入手： http://www.hannovermesse.co.jp/
http://www.hannovermesse.de/
New
(7)ロボティクス・メカトロニクス講演会2006 (ROBOMEC 06
早稲田)
開 催 日：2006年05月26日(金) ～ 28日(日)
開催場所：早稲田大学理工学部 大久保キャンパス
主 催：（社）日本機械学会
情報入手： http://www.rt-coe.waseda.ac.jp/robomec2006/
(財)マイクロマシンセンター 後援
New
(8)JPCA SHOW 2006
開 催 日：2006年05月31日(水) ～ 06月02日(金)
開催場所：東京ビッグサイト
主 催：社団法人日本電子回路工業会
情報入手： http://www.jpcashow.com/show2006/index.html
(財)マイクロマシンセンター 後援
New
(9)第24回日本ロボット学会 学術講演会
開 催 日：2006年09月14日(木) ～ 16日(土)
開催場所：岡山大学 津島キャンパス
主 催：（社）日本ロボット学会
情報入手： http://rsj2006.sys.okayama-u.ac.jp/
(財)マイクロマシンセンター 後援
１ ロボット3団体合同賀賀詞交換会のご案内
（社）日本ロボット工業会、（財）製造科学技術センターおよび当センター合同の新年賀交換会が以下のとおり開催されます。
連絡窓口担当者、運営委員会委員の方々には、既に出席予定者の調査依頼をお願いしております。また、賛助会員の代表者、理事の方々には後日、個別にご案内申し上げます。
年初ご多忙のことと存じますが、万障お繰り合わせの上ご来臨賜りますようご案内申し上げます。
日 時 ： 平成１８年1月１８日（水）
１２：００～１３：３０
場 所 ： 虎ノ門パストラル
新館1階 鳳凰の間
Tel：０３－３４３２－７２６１
２ 年末年始休日のお知らせ
当センターの年末年始休日は次のとおりです。
平成１６年１２月２９日（水）～平成１７年１月３日（月）
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