１ MEMS協議会の設置が決まる
今春より産業小委員会・MEMS懇談会にてMEMS協議会の設置について検討を重ねて参りました。そして10月25日(火)の臨時理事会においてMEMS協議会の設置が正式に決定されました。
概要は、MEMS産業の一層の発展を支援し、わが国産業の国際競争力強化に貢献することを目的に、来年4月より当センター内に特別な事業委員会として設置する予定です。
主な活動としては、政策提言事業や産業交流・活性化事業を行うこととしています。なお、MEMS協議会への参加等詳細については、当センターホームページをご覧いただければ幸いです。
２ 第16回マイクロマシン展の開催
第16回マイクロマシン展が、11月9日～11日の３日間、東京・北の丸公園の科学技術館において、第11回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムと併催する形で開催され大盛況で終了いたしました。
今回のテーマは「超精密・微細加工、ＭＥＭＳ、ナノテク、バイオに関する国際展示会」としました。
出展者は、財団法人マイクロマシンセンターの賛助会員企業10社をはじめ、一般企業、大学及び独立行政法人等からの積極的な出展協力を得て、合計259の企業・団体・大学・研究機関が出展（362小間）をしました。海外からは8企業が出展しました。この出展者および出展小間数の増加に伴い、マイクロマシン展の展示会場として昨年と同様に1階の全ホールに加え、2階の一部も使用して開催しました。
来場者は、第11回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム、MEMS-ONE中間成果発表会、ファンドリーサービス産業委員会プレゼンテーションおよびマイクロマシン連合運営協議会プレゼンテーションを同時に開催したこともあって、様々な分野で活躍している第一線の研究者、技術者、管理者など幅広く、他分野での研究情報の集積や情報交換によって新たな技術の可能性の発見、あるいは技術開発上での様々な課題解決の糸口を得るための最適の場となり、3日間で9,098名に上る多数の来場者を得て盛況裡に終了しました。
なお、来年は会場を東京国際フォーラムに移して開催いたします。
○総入場者数及び出展者数の経過
今回 第１６回(H17)：９，０９８名 ２５９企業・団体（３６２小間）
第１５回(H16)：８，２１３名 ２４７企業・団体（３５２小間）
第１４回(H15)：８，７９３名 ２３８企業・団体（３２３小間）
第１３回(H14)：８，４２４名 １８７企業・団体（２５３小間）
第１２回(H13)：７，４６０名 １１２企業・団体（１６４小間）
第１１回(H12)：５，４８５名 ９４企業・団体（１３６小間）
第１０回(H11)：３，６０８名 ８７企業・団体（１３３.５小間）
次回第17回マイクロマシン展の開催予定
会期：2006年11月7日（火）～11月9日（木）
会場：東京国際フォーラム
３ 第11回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催
平成17年11月10日（木）、科学技術館サイエンスホールにおいて、｢新たな産業の創出と発展を牽引するマイクロマシン技術｣をテーマに掲げた第11回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムが開催され、｢マイクロマシンビジネスの最前線｣、｢開花が期待されるマイクロマシン応用｣、｢マイクロマシン技術の最先端｣の3つのセッションにて12の講演と｢MEMS産業の発展を目指して｣の特別セッションにて基調講演とパネル討論が行われました。会場に、エレクトロニクス、機械・装置、自動車、材料・化学等の種々の企業や大学・研究機関等から様々な専門分野の方々が330名もご来場して頂き、大盛況の中に無事終了しました。
今回の特別セッションでは、各界の有識者の方々によって、企業のMEMS製品の研究開発戦略、フィンランドでの研究開発事情、ジャーナリストから見たMEMS産業、機会学会や電気学会から見たMEMS研究の動向、MEMS協議会の役割、経済産業省から見たMEMS産業への期待と施策に関する討論が、1時間半もの長時間にわたって行われ、会場は大いに盛り上がりました。会場の雰囲気からMEMSへの期待が大きく、産業交流と技術開発の推進を担うMEMS協議会への期待も非常に大きいことがよく分りました。
タイムリーな話題を提供して頂いた国内および海外の講演者やパネリストの方々、プログラムを立案して頂いたプログラム委員会の方々の努力のおかげで今回のシンポジウムは大成功となりました。これらの方々および会場へ足を運んで頂き、9時過ぎから18時前までの長時間にわたってシンポジウムに参加して頂いた方々に心よりお礼申し上げます。
４ MEMS-ONE中間成果発表会の開催
平成17年11月11日（金）に、東京・北の丸公園の科学技術館において、マイクロマシン展と併催する形でMEMS-ONEプロジェクト中間成果発表会が開催されました。
本発表会は、主としてプロジェクト終了後のユーザーの発掘・獲得および普及に向けたビジネスモデル策定のための基礎データを得ることを狙いとしています。そのため、プログラムは、MemsONEの機能や特徴の紹介のほか、現在、ＭＥＭＳに携わっている研究者や技術者のみならず、これからＭＥＭＳへの取り組みを意図している技術者に対する、より実践的かつ具体的な活用方法の紹介やデモを中心とした構成で実施されました。
また、マイクロマシン展の財団法人マイクロマシンセンターブースにおいても、ミラーデバイスの実物と解析例とパネルの展示、およびパンフレットと発表会プログラムの配布が行なわれました。
本発表会の参加者は、企業や大学・研究機関等のMEMS関係者215名で、システムの開発途上にあるため、デモの準備には苦労がありましたが、プロジェクト中間期における成果発表会としては、大変な成功裡に終了しました。
本発表会が今後の更なる研究開発の深化に繋がる評価を得ると同時に、プロジェクト終了後におけるMemsONEの大いなる活用への契機となることを願っています。
５ 日韓中MEMS標準化ワークショップの開催
最近、MEMS分野での韓国の国際標準化活動が非常に活発化しています。昨年、MEMS通則の提案がIECになされ、この11月のIEC東京会議ではRF-MEMSスイッチの提案がなされ、さらに、MEMS用薄膜材料の評価方法に関する提案の準備も進められています。
今回、IEC東京会議に出席されるため韓国の標準化関係の方々が来日されるので、この機会を利用して各国のMEMS標準化の取組状況および今後の標準化の考え方に関する意見交換を行うことになりました。韓国の他に中国を加えて日韓中MEMS標準化ワークショップを11月８日(火)に東京大学秋葉原拠点の会議室にて開催することになりました。韓国から慶北大学電気電子学部教授でIECのSC47/WG1のコンビナーのProf.
Sekwamg Park、Samsung Advanced Institute of Technology(SAIT) MEMS LabのDr.
Sung-Hoon Choa、Korea Institute of Machinery and Materials(KIMM)の Dr. Hak-Joo
Lee他3名、中国から河北半導体研究所のDr.Yongjun Yang他1名の計8名が海外から参加し、日本からは(社)機械技術協会大山尚武会長、東京工業大学肥後矢吉教授、熊本大学高島和希教授、京都大学土屋智由助教授、国際標準化工学研究所大和田邦樹所長の方々や、企業、経済産業省、NEDOより計20名が参加しました。
ワークショップは、日本からは大和田所長による｢MEMS standardization activity in Japan｣、肥後教授による｢Thin
Film Durability Fatigue Test Method｣の2件の講演がなされ、韓国からはProf. Sekwang Parkによる｢Current
status of MEMS Standardization in Korea｣、Dr. Sung-Hoon Choaによる｢Requirements
and Necessities of MEMS Standardization and Activities in SAIT｣、Dr. Hak-Joo
Leeによる｢Mechanical Property Measurement of Thin Film by Strip Bending Test｣の3件の講演、中国からはDr.
Yongjun Yangによる｢Recent situation of Chinese MEMS development｣の１件の講演が行われました。特に韓国からの発表は印象深いもので、MEMSの中でもRF-MEMSによるスイッチやフィルターを中心に、半導体やディスプレイに続いて第3のターゲットとしてMEMSに注力している状況がよく分りました。
今回のワークショップは各国のMEMS標準化活動の取組状況をよく理解することが出来、各国にとって本当に有意義なものでした。そこで、今後、ワークショップを各国持ち回りで毎年開催することを約束しました。これからは、相互の国際標準化活動の情報交換のみならず、３ヶ国でMEMSに関して共同で研究開発や標準化提案を行う可能性についても議論を進めることになりました。
６ 第21回マイクロマシン連合運営協議会が開催される
第21回マイクロマシン連合運営協議会（代表幹事：佐藤一雄 名古屋大学大学院教授）が11月9日(水)に開催されました。マイクロマシン連合の今年度の活動報告、および今後の活動計画が討議されました。その中で、マイクロマシン連合のホームページの紹介があり、書籍紹介においては表紙の張り付け、関係イベントの紹介等の意見が出され採択されました。
また、マイクロマシン連合の活性化に関し、産学連携を強化するために昨年度からマイクロマシン展において、連合所属の各団体のマイクロマシン関連最新技術情報（各団体の活動状況ＰＲを含む）を発表することに決定しており、11月9日（水）に開催されるプレゼンテーションのプログラムが紹介され、来年度も継続することが決定しました。
１ 第２回運営委員会、第１回臨時理事会の開催
10月18日（火）平成17年度第2回運営委員会が開催されました。審議、報告事項は、①平成17年度事業計画及び収支予算の一部変更、②理事の一部変更、③評議員の一部変更、④平成18年度委員会構成の想定、⑤平成１６年度事業実施状況、⑥MEMS協議会の設置についてでした。
10月25日（火）には平成17年度第1回臨時理事会が開催され、運営委員会で審議された議題について審議しました。中でも来年度より発足予定の「MEMS協議会の設置について」は、趣旨、活動内容、構成メンバー等詳細な説明がありました。提案された全議題は満場一致で承認されました。
平成17年度第1回臨時理事会に先立ち、平成17年度第2回評議員会を書面により開催し、提案議題が承認されました。
２ 第34回標準化事業委員会の開催
第34回標準化事業委員会（委員長：大山尚武(社)機械技術協会会長）が10月13日(木)に開催され、標準化活動の進捗状況が報告され、問題点等について審議がなされました。MEMS専門用語規格案は最終段階のFDIS(Final
Draft International Standard) がIECにて満場一致で承認され、国際規格として発行されることが決まりました。また、引張試験法および標準試験片規格案はCDV(Committee
Draft for Vote)が承認され、FDISへと進むことになりました。さらに、疲労試験法に関しては、現在、各大学にてラウンドロビンテストが実施されており、来年度に新規提案がなされる準備が進められています。
このように、わが国のMEMS国際標準化活動は順調に進んでいますが、一方、韓国の国際標準化活動が急に活発化しており、海外の動向についても十分にウオッチし、わが国に対する影響や今後の対応について検討しなければならない状況になってきています。そこで、今回、韓国からの提案がなされたRF-MEMSスイッチや、これらの情報を入手するために準備中の日韓中MEMS標準化ワークショップに関する報告がなされ、海外に対して十分なフォローを行う必要性について審議がなされました。
また、将来の標準化・規格作りにとって重要な指針となるロードマップ作成を目的にして進められてい｢MEMSにおける規格化戦略に関する調査研究委員会｣での進捗状況についても報告がなされ、海外での標準化活動が活発化している現状において、非常にタイムリーな調査活動であり、調査結果への期待が大きいことが分りました。
３ 第2回調査研究事業委員会の開催
平成17年10月14日（金）、マイクロマシンセンターにおいて平成17年度第2回「調査研究事業委員会」（委員長、東京大学教授 藤田 博之氏）が開催されました。
本委員会では今年度の調査研究事業として既に推進中の(1)次世代MEMSプロジェクト検討（自主事業）、(2)国内外技術動向調査（自主事業）、(3)MEMSの規格化戦略調査研究（日機連受託事業）、(4)「長期ビジョン懇談会」（自主事業）の本年度４事業に関する進捗等の報告がなされました。各状況に応じて、方向性など進め方に関し議論、検討を行いました。それらの結果は各委員会に反映させていくこととしました。
４ 第3回MEMSにおける規格化戦略に関わる調査研究委員会の開催
第3回MEMSにおける規格化戦略に関する調査研究委員会（委員長：産総研 石川雄一氏）が10月19日（水）に開催されました。当日はMEMSメーカー/ユーザーなどを対象とした規格化に関するニーズアンケートの回答結果の集計・分析をもとに今後の調査研究の方向性について議論がなされ、技術分野毎の分科会形式（大学・研究機関の先生方をリーダー）にて調査研究を行うことで合意がなされました。分科会構成、メンバー等の決定は再度アンケート結果の精査、分類を行ったのち、次回委員会（11月22日）までに随時、決定していくこととなりました。
また当日は国際標準・規格に関する知見を深める目的にて、講演２件が行われました。ひとつは日本規格協会 橋本雅之主任研究員から「産業競争力強化の為の国際標準化戦略策定の手順」とのタイトルにて国際標準化の必要性、企業メリットなど大局的見地に立った幅広い講演を行っていただきました。もうひとつは大和田委員から「規格の種類とMEMS国際標準化」とのタイトルで、具体的な規格の種類、構成などを半導体加速度センサーなどの実例を挙げての説明していただくとともに、IECの概要、国際規格の審議フローなどについて説明され、現在進行中のMEMS国際標準化項目の状況説明がなされました。
５ 第2回国際交流事業委員会の開催
平成17年11月1日（火）、平成17年度第2回国際交流事業委員会（委員長：下山勲東京大学教授）が開催され、第11回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの準備状況、日韓中MEMS標準化ワークショップ開催の背景、マイクロマシンサミットの今後のあり方等について審議しました。
今回、平野顧問より1995年に日本発案で開催された第１回から現在までのマイクロマシンサミットの経緯等の説明がなされ、これを基にサミットの今後のあり方について議論しました。当初、サミットはマネージメントやポリシーについて討議する唯一の特長ある会議でしたが、最近、同テーマを取上げる会議としてMANCEFが主催するCOMSが台頭しており、取り巻く環境に変化しています。COMSはサミットと異なり、オープンな会議である等の違いがあり、今後、両者を対比してサミットのあり方について十分に議論を続ける予定です。
最近、韓国がMEMS関連の国際標準化活動が非常に活発化してきたことを背景に、日韓中MEMS標準化ワークショップを開催するなど、韓国、中国等の東アジアの国々との国際交流活動も重要になってきました。
６ MEMS-ONE関係委員会（NEDO委託研究）の動き
(1) 第12回ソフトウェア委員会
平成17年10月17日（月）に第12回ソフトウェア委員会（委員長：オリンパス 三原孝士氏）が開催されました。
今回も前回に引き続き、次の機能検証デモが実施されました。
・プロセス逆問題解析デモ
・フレームワークソフトの部分機能デモ
・機構解析シミュレータデモ
上記の各機能検証デモにおいて、意見交換が行われ、幾つかの改善点が提起されました。これらの改善点は、システムの品質向上に向けて、今後検討していくこととしました。
その他、11月11日（金）に開催する中間成果発表会でのMemsONE活用方法デモが紹介されました。
次回は12月12日（月）に開催し、議題は３回目の機能検証デモが中心となる予定です。
(2) 第9回知識DB委員会
平成17年10月31日（月）に第9回知識DB委員会（委員長：京都大学 小寺秀俊教授）が開催されました。
委員会としては、データベース仕様およびデータ登録仕様が決定され、データベース構築に必要な条件が揃ったことから、今後は構築状況の把握および課題対応を重点に実施することになっています。
従って、今回はデータベース開発および知識データ登録における状況報告が重点に実施されました。現在までの知識データ登録状況は十分でないため、今後はデータ登録をより活発化していくことになりました。また、利用者の支援となるチュートリアルの形式についても議論されました。
次回の開催は、12月26日（月）を予定しています。
(3) 第7回プロジェクト推進委員会
平成17年10月31日（月）に第７回プロジェクト推進委員会（委員長：東京大学 藤田博之教授）が開催されました。
今回も従来の状況報告形式により、8～9月の実績並びに10月の計画について、月間進捗状況総括表および補足資料を用いて、各機能の開発責任者および各委員会の委員長より報告があり、報告内容に関する質疑応答がありました。また、11月11日（金）に開催する中間成果発表会のプログラムやMemsONE活用方法デモについても報告がありました。この中間成果発表会は、システムの開発途上において実施するもので、MemsONEの普及調査および普及活動を目的とするものです。
本プロジェクトは現在、システムの開発途上にありますが、今年度の目標に向け計画通り進行中です。
次回の開催は、３ヶ月後の平成18年1月16日（月）に予定されています。
1 第６回マイクロ・ナノ先端技術交流会の開催について
標記マイクロ・ナノ先端技術交流会について、下記のとおり開催いたしますのでご案内いたします。
記
開催日時：平成17年12月21日（水）15:00～17:00～18:30
開催場所：（財）マイクロマシンセンター 会議室
〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸６７ MBR99ビル ６階
TEL:03-5835-1870 FAX:03-5834-1873
講 師： 東京大学（院）情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻
下 山 勲 教授
講演題目： 「ＳＡＭ（Self-Assembled Monolayer）機能利用ＭＥＭＳ」
開催案内先 ＭＭＣ賛助会員企業等
参 加 費 賛助会員 １,０００円 / 人
一 般 ５,０００円 / 人
１ 月例経済報告 （平成17年10月）
内閣府が発表した月例経済報告（平成17年10月）の総論部分は次の通りです。
（我が国経済の基調判断）
・景気は、緩やかに回復している。
・企業収益は改善し、設備投資は増加している。
・個人消費は、緩やかに増加している。
・雇用情勢は、厳しさが残るものの、改善に広がりがみられる。
・輸出は持ち直し、生産は横ばいとなっている。
先行きについては、企業部門の好調さが家計部門へ波及しており、国内民間需要に支えられた景気回復が続くと見込まれる。一方、原油価格の動向が内外経済に与える影響等には留意する必要がある。
（政策の基本的態度）
政府は、「経済財政運営と構造改革に関する基本方針2005」に基づき、構造改革を加速・拡大する。
政府は、日本銀行と一体となって、重点強化期間におけるデフレからの脱却を確実なものとするため、政策努力の更なる強化・拡充を図る。
２ 経済産業省の人事異動
平成17年10月31日付で、小宮義則製造産業局産業機械課長が大臣秘書官事務取扱に異動されました。
３ NEDO人事異動
平成17年9月30日付で、高橋 栄理事が退任されました。
1 当センター主催のイベント
詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
(1)第６回マイクロ・ナノ先端技術交流会開
開 催 日 ： ２００５年１２月２１日（水） 15:00～17:00～18:30
開催場所： （財）マイクロマシンセンター 会議室
講 師： 東京大学（院）情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻
下 山 勲 教授
講演題目： 「ＳＡＭ（Self-Assembled Monolayer）機能利用ＭＥＭＳ」
(2)第６回MEMS講習会「ＭＥＭＳの設計・加工技術と応用例」
開 催 日： ２００６年１月１９日（木） 13:00～17:50～19:00
開催場所： ぱるるプラザ京都（JR京都駅前）６階
２ その他のイベントのお知らせ
詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。
(1) PowerMEMS 2005 (15th International Workshop on Micro and Nanotechnology
for Power Generation and Energy Conversion Applications）
開 催 日： 2005年11月28日(月) ～ 30日(水)
開催場所： 東京大学 本郷キャンパス
主 催： 東京大学 21世紀CEOプログラム 機械システム イノベーション
情報入手： http://www.conferences.jp/powermems05/
(2) 2005国際ロボット展
開 催 日： 2005年11月30日(水) ～ 12月03日(土)
開催場所： 東京国際展示場（東京ビッグサイト）
主 催： (社)日本ロボット工業会、日刊工業新聞社
情報入手： http://www.nikkan.co.jp/eve/05ROBOT/index.html
(財)マイクロマシンセンター 協賛
New
(3) 先端加工技術講演会 －精密放電加工の最前線－
開 催 日： 2005年12月02日(金)
開催場所： 日本工業大学 神田キャンパス
主 催： 財団法人 先端加工機械技術振興協会
情報入手： http://www.amtda.or.jp/news.html
(4) Microelectronics, MEMS, and Nanotechnology
開 催 日： 2005年12月11日(日) ～ 14日(水)
開催場所： Brisbane, Australia
主 催： SPIE
情報入手： http://spie.org/conferences/calls/05/au/
(5) SPIE International Symposium Smart Materials, Nano-, and Micro-Smart
Systems
開 催 日： 2005年12月12日(月) ～ 15日(木)
開催場所： Sydney, Australia
主 催： SPIE
情報入手： http://spie.org/conferences/calls/04/au/
New
(6) 第53回次世代センサセミナーシリーズ「バイオセンサにおけるナノテクノロジー」
開 催 日： 2005年12月12日(月)
開催場所： 化学会館 ６階 601号室
主 催： 次世代センサ協議会
情報入手： http://www.cnt-inc.co.jp/jisedai/seminar53.htm
(7) MEMS 2006
(the 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)
開 催 日： 2006年01月22日(日) ～ 26日(木)
開催場所： Lutfi Kirdar Convention and Exhibition Centre, Istanbul, Turkey
主 催： IEEE, IMTEK
情報入手： http://www.mems2006.org/
(8) HANNOVER MESSE ハノーバー・メッセ2006 『マイクロテクノロジー』
マイクロシステムズ及びナノ応用技術専門見本市
開 催 日： 2006年04月24日(月) ～ 28日(金)
開催場所： Hannover Messe(ハノーバ国際見本市会場）, Germany
主 催： Deutsche Messe AG
情報入手： http://www.hannovermesse.co.jp/ http://www.hannovermesse.de/
１ 創立記念日のお知らせ
今年のマイクロマシンセンターの創立記念日は11月18日（金）となります。
当日は休日とするため、事務所は留守になりますのでお知らせ致します。
２ MMCのパンフレット（改訂版）が出来上がる
MMCパンフレットの一部改訂を行って来ましたが、この度完成しました。改訂版パンフレットは委員会構成及び賛助会員の追加・削除等を盛り込み改訂しました。改訂版パンフレットは近々、賛助会員企業に配布する予定です。なお、マイクロマシンの普及・啓発の目的に必要とされる場合には、センターまで必要部数をご請求下さい。
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