１ 第4回マイクロ・ナノ先端技術交流会が開催される
7月15日（金）15:00～（於：MMC会議室）第4回マイクロ・ナノ先端技術交流会が開催されました。講師は、東京大学生産技術研究所マイクロエレクトロ国際研究センター長の藤田博之教授で、「MEMS/NEMSの製作法と光・バイオ・ナノ技術への応用」について、ご講演いただきました。
参加者は、賛助会員および一般参加者・関係者を含め総勢30名の方々が参加され大盛況のうちに終了いたしました。また、講演後、講演者と参加者との技術交流会が行われ、活発かつ和やかな質疑応答が行われました。
なお、今回多数の参加希望者がありましたが、会議室スペースの都合上先着順とさせていただき、一部お断りさせていただたいたことを深くお詫び申し上げます。
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２ 第5回ＭＥＭＳ講習会「MEMSの設計・加工技術の応用」の開催
ファンドリーサービス産業委員会（委員長：松下電工(株)毛野拓治氏）主催の第5回MEMS講習会「MEMS設計・加工技術と応用例」を、7月26日（火）アルカディア市ヶ谷（東京・私学会館）で開催しました。講習会の内容は下記に示す通りです。
関東で3回目の講習会となりましたが、当日は生憎の大型台風との遭遇にも関わらず、最近のMEMS産業に対する関心の高さから、一般参加者、講習会発表者および事務局担当者を含め、91名と盛況な講習会となりました。
今回の講習会（プログラムは下記参照）では前回に引き続き、MEMS応用例を2例（センサシステム用及びロボット用MEMS）紹介するとともに、講習会の中間に技術相談会（各社パネル展示説明）を設けて、個別の相談が可能としました。また、講習会の終了後、別室においてファンドリーサービス産業委員会委員、講師の方々と参加者との懇談会を開催しましたが、これも大変盛況でした。
◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇ プログラム ◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇
第5回講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」
13:00 主催者挨拶
青柳 桂一 （財団法人マイクロマシンセンター 専務理事）
13:10 新産業創出のキーとなるMEMSテクノロジー
杉山 進 （立命館大学理工学部 教授）
14:00 MEMSセンサー設計技術
宮島 久和 （松下電工(株) 高度MEMS開発センター 技師）
14:35 MEMS加工・製造プロセスと集積化
小澤 信男 （沖電気工業(株) SiMC MEMS事業推進チーム 課長）
15:10 MEMS実装技術
末益 龍夫 （(株)フジクラ 電子デバイス研究所 グループ長）
15:45～16:15 ---- 技術相談会（各社パネル展示説明）及び休憩 ----
16:15 MEMS応用例(1) センサーシステムにおけるMEMS応用の可能性
武田 宗久 （三菱電機(株) 先端技術総合研究所 センシング技術部
部長）
16:50 MEMS応用例(2) ロボット分野におけるMEMSの可能性
田中 秀治 （東北大学大学院 工学研究科 ナノメカニクス専攻 助教授）
17:30 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
毛野 拓治 （松下電工(株) 生産技術研究所 高度MEMS開発センター
グループ長）
17:50～18:00 ---- 休憩 ----
18:00～19:00 懇談会 （６階伊吹）
なお、次回第6回MEMS講習会は来年1月19日（木）に京都（ぱ・る・るプラザ京都）で開催の予定です。ご期待下さい。
１ 第2回産業小委員会の開催について
７月28日（木）15:00～（於：MMC会議室）第2回産業小委員会が開催されました。今回の内容は、MEMS協議会設置案やMEMSフォーラムについての内容検討を行いました。特に、MEMSフォーラムについては、11月10日（木）に開催予定の第11回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム（於：科学技術館サイエンスホール）の特別セッションとして、9:30～11:00の間に基調講演およびパネルディスカッションを以下の内容で行うことが決まりました。
特別セッション MEMS産業の発展を目指して
①MEMS産業の拡大と新規分野展開の方策
東京大学 生産技術研究所 教授 藤田博之
②パネルディスカッション「MEMS産業の発展を目指して」
コーディネータ : 藤田博之（東京大学）
パネリスト: 尾形仁士（三菱電機㈱）、小川治男（オリンパス㈱）、
小宮義則（経済産業省）、田口裕也（日本機械学会）、
三宅常之（日経BP社）、
Harri Kopola(VTT Electronics)
２ 平成17年度・第1回マイクロ・ナノ材料の疲労試験に関する標準化委員会の開催
平成17年8月2日（火）に平成17年度マイクロ・ナノ材料の疲労試験に関する標準化調査研究を推進するための標準化推進委員会（委員長、国際標準化工学研究所、大和田那樹所長）と調査研究員会（委員長、東京工業大学精密工学研究所、肥後矢吉教授）の第1回合同委員会が開催されました。
本事業は経済産業省からの委託事業として平成15年より始まり、最終年度の平成17年度はNEDOからの委託事業となりました。この委託事業では3年間の事業期間内に薄膜材料の疲労試験を実施して、その成果を国際電気標準会議（IEC：International
Electrotechnical Commission）へ国際規格として新規に提案することを目的にしています。マイクロマシンセンターではこれまでMEMS専門用語や薄膜材料の引張試験に関し国際標準化活動を実施しており、IECへ新規提案から規格化されるまで、多くの労力と時間を費やし、ようやく用語はFDIS(Final
Draft International Standard)化がなされ、引張試験はCDV(Committee Draft
for Vote)化がなされ、規格化が目前に迫っています。
今回、これまでの経験を活かし、3年間という短期間のハードスケジュールで薄膜材料の疲労試験に関する国際規格提案を行う事業に取り組んでおり、昨年度までは東京工業大学、群馬大学、名古屋大学、京都大学の4大学にて疲労試験のラウンドロビン試験を実施してきました。今年度より新たに熊本大学、兵庫県立大学、立命館大学が加わり、7大学で疲労試験及び試験機構造の最適化が進められており、今回、これら7大学より疲労試験に関する研究の進捗状況が報告されました。今年度は疲労試験を実施する７大学からなる調査研究委員会を5回開催することにより実験結果の技術的検討を行い、これらの結果を基に熊本大学の高島和希教授を中心に国際規格案の骨子を作成し、標準化推進委員会にて作成された新規提案を揉み、IECへ来年5月中にタイミングよく提案を行う予定です。
１ 第11回国際マイクロマシン・ナノシンポジウム開催の準備状況
11月10日（木）、科学技術館サイエンスホールにて開催される第11回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムのプログラムは次のように決まりました。今回のシンポジウムはサブタイトルとして｢新たな産業の創出と発展を牽引するマイクロマシン技術｣を掲げ、｢マイクロマシンビジネスの最先端｣、｢開花が期待されるマイクロマシン応用｣、｢マイクロマシン技術の最先端｣の3つのセッションを設け、内外の第一人者を招待し、海外4件、国内８件の計12件の講演を行います。さらに、特別セッションを設け、東京大学教授の藤田先生による基調講演「MEMS産業の拡大と新規分野展開の方策」と各界の代表者による「MEMS産業の発展を目指して」をテーマとしてパネルディスカッションを行います。是非、皆様、ご期待下さい。申し込み等の案内は会員企業等へ案内状を送付すると共にホームページでご案内いたしますので、ご参加方よろしくお願いいたします。
第11回マイクロマシン・ナノテクシンポジウムプログラム
｢新たな産業の創出と発展を牽引するマイクロマシン技術｣
オープニング
司会：（財）マイクロマシンセンター 専務理事
青柳桂一
開催挨拶 （財）マイクロマシンセンター 理事長 野間口 有
来賓挨拶 経済産業省 製造産業局 産業機械課 課長 小宮義則
特別セッション MEMS産業の発展を目指して
①MEMS産業の拡大と新規分野展開の方策
東京大学 生産技術研究所
教授 藤田博之
②パネルディスカッション「MEMS産業の発展を目指して」
コーディネータ : 藤田博之（東京大学）
パネリスト : 尾形仁士（三菱電機㈱）、小川治男（オリンパス㈱）、
小宮義則（経済産業省）、田口裕也（日本機械学会）、
三宅常之（日経BP社）、Harri
Kopola(VTT Electronics)
セッション 1 マイクロマシンビジネスの最前線
司会：東京大学 教授
下山 勲
①インクジェットプリンターとその応用
セイコーエプソン株式会社 生産技術開発本部 本部長
跡部光朗
②携帯電話の動向とRF-MEMSの適用展開
松下電器産業株式会社 ネットワーク開発センター
主任技師 中村邦彦
③加速度センサー
Mr. Bob Sulouff, Director,
Business Development,
Micromachined Products
Division, Analog Devices Inc. "
セッション 2 開花が期待されるマイクロマシン応用
司会：東北大学教授
羽根一博
①バイオMEMS･ナノテクノロジーの医療応用
名古屋大学 大学院 工学研究科
教授 馬場嘉信
②ＭEMSの光技術応用
Professor Harri Kopola, Research Director,
VTT Electronics
③小型燃料電池用の集積化した小型改質器の開発
カシオ計算機株式会社 要素技術統轄部 グループリーダ
中村 修
④MEMS・ナノテクノロジーの宇宙応用
Dr. Thomas George, Director of Product Development,
Vialogy Corporation
(前Group Supervisor of
NASA's JPL)
⑤Fine MEMS
東京大学 大学院 情報理工学系研究科 教授
下山 勲
セッション 3 マイクロマシン技術の最先端
司会：産業技術総合研究所 グループ長
前田龍太郎
①MEMS技術とナノ材料
香川大学 工学部 教授 橋口
原
②超精密マイクロ加工とその応用
大阪大学 大学院 工学研究科
教授 竹内芳美
③メトロロジー －AFMによるサブナノメートル精度の寸法計測－
産業技術総合研究所 次世代半導体研究センター
主任研究員 権太 聡
④構造用薄膜とナノ材料の限界の解釈
Prof. Christopher Muhlstein, Assistant Professor of Materials Science and
Engineering, The Pennsylvania State University
クロージング
閉会挨拶 （財）マイクロマシンセンター
専務理事 青柳桂一
２ 第５回マイクロ・ナノ先端技術交流会の開催案内
ご好評いただいておりますマイクロ・ナノ先端技術交流会の第５回開催は下記のとおりです。申し込み等の案内は会員企業等へメールで連絡すると共にホームページでご案内いたしますので、ご参加方よろしくお願いいたします。
記
開催日時 ： 平成１７年９月２１日（水）15：00～17：00～18：30
開催場所 ： ＭＭＣ会議室
講 師 ： 大阪大学（院）工学研究科機械工学専攻
教授 竹 内 芳 美
講演題目 ： 「超精密マイクロ切削加工とナノシステムへの応用」
参加費用 ： 賛助会員 1,000円/人
一 般 5,000円/人
1 月例経済報告 （平成17年8月）
内閣府が発表した月例経済報告(平成17年8月)の総論部分は以下のとおりです。
（我が国経済の基調判断）
景気は、企業部門と家計部門がともに改善し、緩やかに回復している。
・企業収益は改善し、設備投資は緩やかに増加している。
・個人消費は、緩やかに増加している。
・雇用情勢は、厳しさが残るものの、改善に広がりがみられる。
・輸出は持ち直し、生産は横ばいとなっている。
先行きについては、企業部門の好調さが家計部門へ波及しており、国内民間需要に支えられた景
気回復が続くと見込まれる。一方、原油価格の動向が内外経済に与える影響等には留意する必要
がある。
（政策の基本的態度）
政府は、「経済財政運営と構造改革に関する基本方針2005」に基づき、構造改革を加速・拡大す
る。
政府は、日本銀行と一体となって、重点強化期間におけるデフレからの脱却を確実なものとするた
め、政策努力の更なる強化・拡充を図る。
情報入手→http://www5.cao.go.jp/keizai3/getsurei.html
２ 第１回ものづくり日本大賞の決定
第１回ものづくり日本大賞の受賞者が決まり、経済産業省 関係受賞者について８月２日経済産業省から発表されました。
当センターの賛助会員では、
○ファナック株式会社の「知能ロボットによる長時間連続機械加工システム」
○ 株式会社デンソーの「世界初エジェッタサイクルの開発・実用化」および「技術と技能の総智・総力を活かした多世代対応自動化ライン」
が受賞しております。
また、当センターの事業委員会委員等に就任されております独立行政法人産業技術総合研究所の石川雄一氏、前田龍太郎氏が「ディスクトップナノファクトリ（超小型ナノ製造システム）」の研究開発で特別賞を受賞されました。
なお、経済産業大臣賞及び特別賞の表彰式は８月３日（於：東京プリンスホテル）に行われ、内閣総理大臣の表彰式は８月４日に総理官邸で行われました。
「ものづくり日本大賞」とは、我が国産業・文化を支えてきた「ものづくり」を承継・発展させるため、ものづくりを支える人材の意欲を高め、存在を広く社会に知らせるために創設され、ものづくりの中核を担う中堅人材、伝統の技を支える熟練人材、将来を担う若手人材をバランスよく表彰するもので、今後２年毎に表彰の予定ということです。
情報入手： http://www.meti.go.jp/press/20050802003/20050802003.html
1 当センター主催のイベント
・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
(1)マイクロ・ナノ先端技術交流会
開 催 日： ２００５年 ９月２１日（水）15:00～
開催場所： （財）マイクロマシンセンター会議室
(2)第１６回マイクロマシン展
開 催 日： ２００５年１１月９日（水）～１１日（金）
開催場所： 科学技術館・東京北の丸公園
(3)第１１回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催
開 催 日： ２００５年１１月１０日（木）
開催場所： 科学技術館（東京都千代田区北の丸公園２番1号）
２ その他のイベントのお知らせ
・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
・ 番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。
(1) COMS2005
開 催 日： 2005年08月21日(日) ～ 25日(木)
開催場所： Baden, Baden, Germany
主 催： Forschungszentrum Karlsruhe and MANCEF
情報入手： http://www.mancef-coms2005.org/
(2)
シンポジウム「マイクロ化学チップ研究開発の全容－インテグレーテッドケミストリーからマイクロ・ナノ化学システム」
開 催 日： 2005年08月23日(火)
開催場所： 神奈川サイエンスパーク
主 催： （財）神奈川科学技術アカデミー
情報入手： http://www.chem.t.u-tokyo.ac.jp/appchem/labs/kitamori/symp2005/
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(3)
ESSDERC-ESSCIRC 2005
開 催 日： 2005年09月12日(月) ～ 16日(金)
開催場所： Grenoble, France
主 催： TIMA Labs, LETI, and IMEP
情報入手： http://www.essderc2005.com/
(4) 第２３回日本ロボット学会 学術講演会
開 催 日： 2005年09月15日(木) ～ 17日(土)
開催場所： 慶應義塾大学日吉キャンパス
主 催： （社）日本ロボット学会
情報入手： http://rsj2005.sd.keio.ac.jp/
(財)マイクロマシンセンター 後援
(5)
MNE 2005 (Micro- and Nano-Engineering 2005)
開 催 日： 2005年09月19日(月) ～ 22日(木)
開催場所： Hofburg Conference Center, Vienna, Austria
主 催： MNE 2005 Organising Committee
情報入手： http://www.mne05.org/
(6) MICRO SYSTEM Technologies
2005
開 催 日： 2005年10月05日(水) ～ 06日(木)
開催場所： Munich, Germany
主 催： Mesago Messe Frankfurt, Fraunhofer IZM,
情報入手： http://www.mesago.de/
(7) μTAS2005 (The 9th
International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life
Sciences)
開 催 日： 2005年10月09日(日) ～ 13日(木)
開催場所： Boston Marriott Copley PlaceBoston, Massachusetts, USA
主 催： microTAS2005 conference
情報入手： http://www.microtas2005.org/
(8) メカトロテック・ジャパン2005
開 催 日： 2005年10月19日(水) ～ 22日(土)
開催場所： ポートメッセ名古屋
主 催： 名古屋国際見本市委員会
情報入手： http://www.mect2005.com/
(財)マイクロマシンセンター 協賛
New
(9) 第4回ナノインプリント・ナノプリント技術国際会議 - The 4th International
Conference on Nanoimprint and Nonoprint Technology (NNT 2005)
開 催 日： 2005年10月19日(水) ～ 21日(金)
開催場所： 奈良県新公会堂（奈良県奈良市）
主 催： (社)応用物理学会
情報入手： http://secretaryart.co.jp/nnt/
New
(10) MNC2005 - International
Microprocesses and Nanotechnology Conference
開 催 日： 2005年10月25日(火) ～ 28日(金)
開催場所： Hotel Bellclassic, Tokyo, Japan
主 催： (社)応用物理学会, IEEE Electron Devices Society
情報入手： http://mnc.rcem.osaka-u.ac.jp/
(11) IEEE Sensors
2005
開 催 日： 2005年10月31日(月) ～ 11月03日(木)
開催場所： Irvine, California, USA
主 催：
情報入手： http://ewh.ieee.org/tc/sensors/sensors2005/
(12)
European Nano Systems 2005 (ENS 2005)
開 催 日： 2005年11月14日(月) ～ 16日(水)
開催場所： Paris, France
主 催： TIMA Labs.
情報入手： http://tima.imag.fr/conferences/ENS
(13) PowerMEMS 2005
(15th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation
and Energy Conversion Applications）
開 催 日： 2005年11月28日(月) ～ 30日(水)
開催場所： 東京大学 本郷キャンパス
主 催： 東京大学 21世紀CEOプログラム 機械システム イノベーション
情報入手： http://www.conferences.jp/powermems05/
(14)
2005国際ロボット展
開 催 日： 2005年11月30日(水) ～ 12月03日(土)
開催場所： 東京国際展示場（東京ビッグサイト）
主 催： (社)日本ロボット工業会、日刊工業新聞社
情報入手： http://www.nikkan.co.jp/eve/05ROBOT/index4.html
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(15)
Microelectronics, MEMS, and Nanotechnology
開 催 日： 2005年12月11日(日) ～ 14日(水)
開催場所： Brisbane, Australia
主 催： SPIE
情報入手： http://spie.org/conferences/calls/05/au/
(16) SPIE
International Symposium Smart Materials, Nano-, and Micro-Smart Systems
開 催 日： 2005年12月12日(月) ～ 15日(木)
開催場所： Sydney, Australia
主 催： SPIE
情報入手： http://spie.org/conferences/calls/04/au/
(17) MEMS 2006
(the 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical
Systems)
開 催 日： 2006年01月22日(日) ～ 26日(木)
開催場所： Lutfi Kirdar Convention and Exhibition Centre, Istanbul, Turkey
主 催： IEEE, IMTEK
情報入手： http://www.imtek.de/anwendungen/mems2006/
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