 
１ DTIP／Nano Trends2005の報告
「Design, Test and Package Integration of MEMS and MOEMS(DTIP)」（6月1日から3日まで、スイス モントルー）と「Nanotrends
2005」（6月6日から7日、ドイツ ミュンヘン）が連続して欧州で開催されたので、MEMS-ONEプロジェクトとの関連で海外での設計・解析ソフトの開発動向の調査および次世代プロジェクト構想づくりや今後のMEMS／マイクロマシンの調査研究の方向付けの参考にするために出席しました。
DTIPでは国際会議とはいえ欧州中心の小さな（参加者は約１２０名）会議で、transducers’○○ や MEMS’○○のような大きな国際会議では見過ごす物がかえって見えるというメリットがありました。MEMSを欧州ではMST(Micro
System Technology)として、半導体のような大型投資は要らない、またいろいろの産業分野に使用される（広範囲の産業に波及効果がある）マイクロな機械というイメージがあるため、どの国でも国家からの支援で研究開発が行われている（UK,
Italy, Canada, Hungary, ・・・）。注目された発表としては、解析・設計ソフトベンチャーがMEMS産業ビジネスの中でどのように設計ツールの市場開拓をしていくかを、べンチャー企業としての意気込みとその反面の不安とを会い混ぜながら縷々述べたことと、数多くある設計ツールの中でMEMSとICの統合ソフトやファンドリーキット等の位置づけを明確に持っていてビジネスモデルを考えている。またナノインプリントの解析ソフトをドイツとカナダでそれぞれの強みを発揮しながら共同研究開発している等の情報が入手できました。MEMS－ONEの知識DB作成に活用すると共に、市場投入に対しても有益な情報を得られたと考えています。
「Nanotrends 2005」Congressも100名強のこじんまりした会合で欧州からの出席者が多い中、台湾からの出席者が10～20名いたことから、彼らのアグレッシブさを感じ取ることができました。発表で注目されたものは、米国VCからのプレゼンで「ナノテクノロジーは市場を持っている訳ではない。有るのはValue
Chainの中で商品価値を高める手段としての価値だ」という点が、BASF(化学)、BMW（自動車）、Siemens（電機）からナノテクノロジーへの取り組みについての発表でそれぞれの企業の商品の付加価値を高める手段としての材料／加工技術開発を推進していることが、良く符合していることであった。米国ならばStart-Up企業、ベンチャー企業の誕生・育成の華やかな話題に彩られるところであるが、欧州では地味で、地に足をつけた産業化活動が前面に出てくるという対照的な世界を感じました。
アジアのナノテクノロジーの紹介では日本のこの分野の取り組みを第３次科学技術基本計画やNEDO公開資料が詳細に延々と提示報告され、日本の動向をきっちりとフォローしていることを示すものであった。日本のナノテクノロジーへの取り組みは高く評価されており、その要因としては1980年代から取り組んでいること、政府の支援が継続的であること、ターゲットを絞っていること等を挙げていたことである。一方中国ではNCNST内に極めて贅沢なナノテクセンターを建設したことを挙げており、本格的な取り組みに入っていることを紹介していました。
今回の欧州での先端技術の学会に参加したことと、ミュンヘンの自然科学博物館の展示の圧倒的規模と、民間～産業への科学技術の実用化進展の執拗なフォローを見学したことで、ドイツの科学技術への取り組みは極めて地道であるという印象を強く感じました。日本には、これほどの規模と多面的な分野をカバーした科学博物館は無く、また技術の流れの解る民族博物館も無い。機械は見て原理や構造が分かり易いという特徴があるだけに、団塊世代の技術の伝承、今問題になっている若者の職業教育、学校理科教育の問題等への対応のひとつとして、日本にも散在する古来からの優れた道具や機械の系統的な収集と児童の理科・総合教育、更にはニートなどへの職業教育等のための施設を構築して今日的課題への対応をしてはどうかと思いついた調査でした。一部の人材は形而上学的・概念的な仕事に従事できるが圧倒的多くの人は手に職（スキル、技能）を持っての現場業務に就くのであるから。
２ Transducers’05報告
Transducers ‘05（international Conference on Solid-State Sensors , Actuators
and Microsystems）が、6月6日（月）から6月9日（木）まで、韓国・ソウルのCOEXコンベンションホールにて行われました。 会議参加者は約800名（5月31日現在）と、一昨年の前回会議Transducers’03の約1100名に比べて参加人数は減っていましたが、最近のMEMSに対する注目を反映して大変活気のある会議でした。
発表件数は、基調講演3件、招待講演15件、口頭発表199件、ポスター発表315件、の計532件で、投稿論文数は1035件で採択率は50%でした。前回会議の発表件数が486件、投稿論文数が960件、採択率が48％でしたので、投稿論文数、採択率ともに増加した分、発表件数が増えたものと思われます。 投稿論文数は過去 2001年854件、2003年960件と増加の一途をたどっており、さらに今回1,000件を超えていることからしてもMEMS分野の研究開発がますます活発になっているものと言えます。
会議は前回同様に初日の基調講演を除きパラレルセッション（4セッション同時進行）で行われましたが、いずれのセッションでも活発な議論がされ、特にバイオ系のセッションでは立ち見が出るほどの盛況ぶりでした。国別発表件数では、日本が132件と最も多く、次いで米国119件、韓国79件でした。韓国・ソウルというアジア近隣国で開催されたこともありますが、このデータからも日本のMEMSに対する関心の高さを伺わせます。また開催国の韓国をはじめ、中国、台湾などアジア諸国からの発表も大変多くなっていることも特徴でした。
会議初日に行われました基調講演では米国SiTimes社の Kurt E.Petersen氏が「A NEW AGE FOR MEMS」と題してMEMSの歴史と現状、および将来について講演されて、半導体の技術進化の指標となる「Mooreの法則」がMEMS技術にも適応されるとの報告があり、今後のMEMS技術/産業のますますの発展を予感させる、とても印象的な講演でした。
３ 新聞記事クリッピング情報（センター作成）
４ ナノテク海外情報（NEDO情報・システム部）
 
１ 「MEMS協議会」設置のための検討開始
5月17日（火）に開催された運営政策小委員会及び運営委員会で、MEMS産業の一層の発展を支援し、わが国産業の国際競争力強化に貢献するため、MEMS協議会（仮称）設置について議論された。結論として平成18年4月を目標に、MEMS関連企業を構成メンバーとするMEMS協議会（仮称）設置に向けて検討するため、今年度新たに産業小委員会を設けることが承認された。5月26日（木）の通常理事会及び評議員会に諮り、MEMS協議会（仮称）設置のための検討開始が承認された。
早速、6月10日（金）にMEMS関連企業16社からなる委員により「第１回産業小委員会」を開催（於：MMC会議室）し、MEMS協議会設置に関する検討、交流化事業の具体的内容の検討や懇談会（MEMS産業研究会）の準備を開始した。なお、第1回目の懇談会（MEMS産業研究会）については、6月30日（木）8時よりパレスホテルで朝食会形式で行われることが決まった。
２ 平成17年度第1回運営政策小委員会、運営委員会、理事会、評議員会の開催
5月17日（火）に平成17年度第1回運営政策小委員会と運営委員会が開催されました。理事会、評議員会の審議案件の審議と、平成17年度委員会構成でMEMS産業交流、活性化の検討のための産業小委員会の設置が了承されました。
5月26日（木）に平成17年度第1回通常理事会、平成17年度第1回評議員会が東京国際フォーラムの会議室において開催されました。
主な審議事項は①平成16年度事業報告、②平成16年度収支決算、③平成16年度収支差額の処分、④平成17年度小型自動車等機械工業振興事業等の事業計画決定、⑤賛助会員の新規入会（株式会社北川鉄工所）、⑥理事の一部変更（株式会社安川電機が濱田兼幸理事から宮原範男理事へ、株式会社日立製作所が大田黒俊夫理事から福本英士理事へ、三洋電機株式会社が吉年慶一理事から小野寛理事へ、沖電気工業株式会社が伊野昌義理事から北明夫理事へ）⑦MEMS協議会の設置について（運営委員会で承認された産業小委員会のMEMS協議会（仮称）設置にむけての活動内容と日程）で、審議案件は全て原案通り承認されました。
なお、これらの事項は⑦を除き当センターホームページ（<http://www.mmc.or.jp>）にて公開しております。
３ 平成17年度第1回国内外技術動向調査委員会の開催
平成17年度第１回国内外技術動向調査委員会（委員長：早稲田大学 庄子習一教授）が5月16日（月）に開催されました。この委員会は研究に加え技術についても国内外の最新かつ詳細な情報を収集・分析し、その技術動向を把握することを目的としています。
昨年と同様に、収集・分析した情報は年度末に報告書としてまとめるとともに、ＭＭＣデータベースに掲載して関係の方々に提供していきます。今回の委員会では、今年度事業の進め方について討議を行いました。動向調査として、上期に
Transducers’05 の調査を、下期にMEMS2006の調査を行うことを決定しました。また、マイクロマシンインデックス対象雑誌において、MMC未購読雑誌に関する情報提供も本委員会委員の方々にお願いしました。
４ 平成17年度第1回普及広報事業委員会の開催
平成17年度第１回普及広報事業委員会（委員長：オリンパス(株)舘岡斉氏）が5月30日（月）に開催されました。
平成17年度事業内容の審議結果は以下のとおりです。
1)広報誌の編集・出版
・和文広報誌：基準頁数8頁、モノクロで4回／年（51号～54号）出版およびホーページへ記載・
公開。
・英文広報誌：4回／年（和文広報誌の英訳版）ホームページのみ記載・公開。
・今年度の広報誌編集計画概略（第51号～第54号）について検討・承認。
2)ホームページの維持・管理
・ホームページ記載内容の決定は当委員会で従来どおり行います。
3)第16回マイクロマシン展の開催
・11月9日～11日に科学技術館（東京・北の丸公園）で開催する。併催の第11回国際マイクロマシ
ン・ナノテクシンポジウムは11月10日に開催。
4)MEMStation について
・ファンドリーサービス産業委員会によるファンドリーサービスの共通依頼窓口として、ホームページ
上に“MEMStation”を７月１日より試行・開設予定。
4)メディア取材対応、学会誌・技術雑誌への寄稿、講演
・従来どおり、可能な限り積極的に対応する。
次回、第２回普及広報事業委員会は10月3日（月）15:00～17:00に開催する予定です。
５ 第11回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムプログラム委員会の開催
国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムプログラム委員会（委員長：東京大学 藤田博之教授）が5月25日（水）に開催されました。今年11月10日（木）に科学技術館サイエンスホールで開催される第１１回国際マイクロマシン・ナノテクシンポシウムのプログラムについて審議しました。今回のプログラムは本シンポジウムの参加者が応用研究、ナノテク／材料、トレンド／戦等に特に関心が深いことを念頭に置き、ナノテクの先端にも触れながら技術のニーズを中心に展開し、学会とは一味違ったプログラム作りを目指しました。プログラムは次のように3つのセッションからなる講演とパネルディスカッションから構成されており、現在、講演者やパネラーの方々を依頼している最中であり、決まり次第お知らせします。
＊プログラム＊
セッション1「マイクロマシンビジネスの最前線」：携帯電話、プリンター、自動車用センサーに的を絞り産業界のホットな話題とサクセスストーリーを紹介します。
セッション2「開花が期待されるマイクロマシン応用」：バイオ／医療、光、パワー／燃料 電池、宇宙・航空等のあらゆる分野で立ち上がりつつある応用を紹介します。
セッション3：「マイクロマシン技術の最先端」：材料、加工、計測、信頼性に関する基盤技術をオーソドックスなものから飛んだものまでを紹介します
パネルディスカッション「MEMS産業の発展を目指して」：当センターではMEMS協議会（仮称）の設置を検討しており、この活動の一環として産学官の代表者に集まって頂き、MEMS産業の活性化のための戦略について討論して頂きます。
シンポジウムプログラム委員会のメンバーは以下のとおりです。
委員長：藤田 博之 東京大学 生産技術研究所 ﾏｲｸﾛﾒｶﾄﾛﾆｸｽ国際研究ｾﾝﾀｰ
委 員：田畑 修 京都大学 大学院 工学研究科
〃 馬場 嘉信 名古屋大学 大学院 工学研究科
〃 羽根 一博 東北大学 大学院 工学研究科
〃 前田 龍太郎 独立行政法人産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
〃 臼田 孝 独立行政法人産業技術総合研究所 計測標準研究部門音響振動科
〃 古田 一吉 セイコーインスツル株式会社 技術本部 技術管理グループ
〃 太田 亮 オリンパス株式会社 研究開発センター MEMS開発本部
〃 川原 伸章 株式会社デンソー 基礎研究所 第5研究室
〃 武田 宗久 三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
〃 竹井 裕 株式会社ソニー 仙台テクノロジーセンター
〃 平野 隆之 有限責任中間法人カメラ映像機器工業会
〃 青柳 桂一 財団法人マイクロマシンセンター
６ 第33回標準化事業委員会の開催
第33回標準化事業委員会が6月9日（木）に開催されました。今回は専門用語、引張試験、疲労試験の各委員会の進捗報告、日本機械工業連合会からの委託事業「MEMSの信頼性評価技術に関する調査研究」の平成16年度成果および平成17年度計画とMEMS-ONEプロジェクトの概況、経済産業省平成18年度基準認証研究開発事業候補提案等について審議しました。
また、各委員会のIEC規格提案は順調に推移しており、MEMS専門用語集は、FDIS(Final draft international standard)文書が作成され、現在、IEC中央事務局編集委員会にて最終チェック中で、6月中旬に回付される予定です。引張試験法は、CDV(Committee
draft for vote)文書が作成され、3月18日に回付され、現在投票期間中で投票の締切日が９月２日になっております。疲労試験法は、基準認証研究開発事業として3ヶ年計画の最終年度に入り、来年5月中に国際標準案をIECに提出する予定になっています。
また、新しい規格創出のために様々な検討が行われ、高いニーズと優れたシーズを有する新しい規格案の探索が地道に続けられています。平成17年度の日本機械工業連合会からの委託事業で｢MEMSにおける規格化戦略に関する調査研究｣を行うことでMEMSにとってニーズの高い規格とは何かを見極めていく予定です。平成18年度の基準認証研究開発事業として大学から二つの提案がなされています。さらに、MEMS-ONEプロジェクトは3ヶ年計画の2年目に入り、新しい規格創出の可能性に注目していきます。
次回は10月13日（木）に開催する予定です。
なお、委員会構成は以下のようになっております。
委員長 大山 尚武 社団法人機械技術協会
委 員 土屋 智由 京都大学大学院工学研究科機械工学専攻
〃 三井 公之 慶應義塾大学 理工学部 機械工学科
〃 小林 敏雄 財団法人日本自動車研究所
〃 諸貫 信行 東京都立大学大学院 工学研究科 機械工学専攻
〃 壁井 信之 埼玉県立循環器・呼吸器病センター 総合研究施設
〃 大和田 邦樹 国際標準化工学研究所
〃 石川 雄一 独立行政法人産業技術総合研究所 臨界副都心センター
〃 小川 治男 オリンパス光学工業株式会社 研究開発センター
〃 古田 一吉 セイコーインスツルメンツ株式会社 技術本部
〃 本間 敏男 長野計器株式会社 総合研究所 センサ開発課
〃 長岡 嘉浩 株式会社日立製作所 機械技術研究所 第１部
〃 武田 宗久 三菱電機株式会社 先端技術総合研究所 センシング技術部
オブザーバ 吉田 誠 経済産業省産業技術環境局 情報電気標準課化推進室
７ 第1回産業小委員会の開催
MEMS協議会設置に向けた第1回産業小委員会が下記のとおり開催されました。産業小委員会は、MEMSの一般会員および特別会員企業の部長クラスの方々を委員に推薦いただき、三菱電機（株）開発業務部担当部長の阿出川俊一氏が委員長となり議事が進められた。16名の委員のうち14名の委員が出席されて、MEMS協議会設置に関するさまざまな意見交換により検討されました。検討結果については、産業小委員会へ参加されている企業の役員クラスで構成される、第1回懇談会「MEMS産業研究会」〔6月30日（木）開催予定、於：パレスホテル〕にて報告される予定。
ーーーー記ーーーー
第1回産業小委員会
○開催日時 平成17年6月10日（金）14：00～16：00
○開催場所 マイクロマシンセンター会議室
○議 題 （１）MEMS協議会設置に関する検討、交流・活性化事業の具体的内 容の検討
（２）第1回懇談会（MEMS産業研究会）の開催について
８ MEMS-0NE関係委員会（NEDO委託研究）の動き
(1)第10回ソフトウェア委員会の開催
第10回ソフトウェア委員会（委員長：オリンパス 三原孝士氏）が5月11日（水）に開催されました。
今回の主な議題および検討内容は以下の通りです。
①機能仕様の未決部又は開発上の課題等に関する検討
フレームワークソフト及びプロセス逆問題解析ソフトの機能仕様におけるユーザ要求仕様の未確認事項について議論されました。本委員会の役割の一つは、ユーザの視点に立った要求仕様を洗い出し、この要求をソフト開発機能により多く反映させることです。この成果によって、より機能の充実や使い勝手の向上が図られてきています。
また、解析結果を検証するための、検証用デバイスの測定条件等についても議論がされました。
②機能検証を目的とする機能別デモ計画に関する検討
今年度はソフトの製造が主体となるため、製造ソフトのデモによる機能検証を本委員会で行うことが、前回の委員会で決まりました。これを受け、開発各社からデモ計画を提出してもらい、この計画を基に今後の委員会開催計画が立てられました。なお、普及活動の一環とする成果発表会を11月に計画しており、開発各社のデモ計画はこの成果発表会にターゲットを当てた計画になっています。
次回は機能検証を目的とするデモが中心で8月23日(火)に開催する予定です。
(2)第7回材料・プロセスDB委員会の開催
第7回材料・プロセスDB委員会（委員長：産総研 前田龍太郎氏）が5月27日（金）に開催されました。前回までは、知識DB委員会の検討課題と関連が深いことから合同で開催してきましたが、関連ある検討課題が収束したことから、今回は単独開催となりました。
今回の議題として、下記2点が議論されました。
①材料特性データの整理状況および材料-解析データマップについて
材料特性データベース構築に際し、取得すべき材料特性データと取得方法を明確にする必要があり、材料-解析データマップの作成を進めてきました。材料-解析データマップは、各種解析シミュレータが必要とする材料特性データ（パラメータ）とMEMS材料種の関連をマップ化し、データ取得方法（データ計測、先生方より入手、文献データ収集、材料メーカデータ入手等）を明確にした取得すべき材料特性データの全体像が俯瞰できるものです。今回は、本格的なデータ取得に向けたデータの整理状況報告および材料-解析データマップに関する説明や議論が行われました。今回の検討で、材料-解析データマップも概ね完成し、データ取得が本格的に進められます。
また、上記の材料-解析データマップ（MEMS-ONEが扱う材料特性）に対し、市販ソフトが持つ材料特性DBとの対比についても報告がされました。
②今後のデータ蓄積における進め方について
上記で決定した材料-解析データマップに従い、データの取得作業を分担することになり、担当が決まりました。なお、材料メーカより入手するデータについては、データシートを作成して、統一した形式で依頼することになりました。
なお、次回は6月30日（木）に開催するの予定です。
 
１ 月例経済報告 （平成１７年５月）
総 論
（我が国経済の基調判断）
景気は、一部に弱い動きが続くものの、緩やかに回復している。
・企業収益は改善し、設備投資は緩やかに増加している。
・個人消費は、持ち直しの動きがみられる。
・雇用情勢は、厳しさが残るものの、改善している。
・輸出、生産は横ばいとなっている。
先行きについては、企業部門の好調さが持続しており、世界経済の着実な回復に伴っ て、景気回復は底堅く推移すると見込まれる。一方、情報化関連分野でみられる在庫調 整の動きや原油価格の動向等には留意する必要がある。
（政策の基本的態度）
政府は、「経済財政運営と構造改革に関する基本方針2004」の早期具体化により、構造改革の取組を加速・拡大する。
政府は、日本銀行と一体となって、重点強化期間におけるデフレからの脱却を確実なものとするため、政策努力を更に強化する。
情報入手： <http://www5.cao.go.jp/keizai3/2005/0519getsurei/main.html>
２ 第３期科学技術基本計画策定を巡る動き
総合科学技術会議は、第3期科学技術基本計画の策定に資するため、基本政策専門調査会を設置して昨年10月来、調査・検討を行ってきていますが、このたび「科学技術基本政策策定の基本方針（会長試案）」を公表しました。
<http://www8.cao.go.jp/cstp/jyokyo/index.html>
同レポートでは、第3期科学技術基本計画の理念と政策目標を次のように提示。
＜理念1 人類の英知を生む＞
～知の創造と活用により世界に貢献できる国の実現に向けて～
目標1 飛躍知の発見・発明 － 未来を切り拓く多様な知識の創造
1 新しい原理・現象の発見・解明
2 非連続な技術革新の源泉となる知識の創造
目標2 科学技術の限界突破 － 人類の夢への挑戦と実現
3 世界最高水準のプロジェクトによる科学技術の牽引
＜理念2 国力の源泉を創る＞
～国際競争力があり持続的発展ができる国の実現に向けて～
目標3 環境と経済の両立 － 環境と経済を両立し持続可能な発展を実現
4 地球温暖化・エネルギー問題の克服
5 環境と調和する循環型社会の実現
目標4 イノベーター日本 － 革新を続ける強靱な経済・産業を実現
6 世界を魅了するユビキタスネット社会の実現
7 ものづくりナンバーワン国家の実現
8 科学技術により世界を勝ち抜く産業競争力の強化
＜理念3 健康と安全を守る＞
～安心・安全で質の高い生活のできる国の実現に向けて～
目標5 生涯はつらつ生活 － 子供から高齢者まで健康な日本を実現
9 国民を悩ます病の克服
10 誰もが元気に暮らせる社会の実現
目標6 安全が誇りとなる国 － 世界一安全な国・日本を実現
11 国土と社会の安全確保
12 暮らしの安全確保
さらに、従来の重点４分野（ライフサイエンス、情報通信、環境、ナノテク・材料）についておおむね妥当な設定と評価しつつも、新たな政策ニーズへの対応として「安全・安心」と「国家重要基幹技術（クリティカル・テクノロジー）」についての検討が必要と指摘。
３ MMC関係の経産省人事異動
（平成17年5月19日付）
（氏名） （新） （旧）
土屋博史 製造産業局 秘書課付
産業機械課長補佐（技術担当） （米国ｶｰﾈｷﾞｰﾒﾛﾝ大学）
（平成17年6月 1日付）
（氏名） （新） （旧）
辻本崇紀 原子力安全保安院 製造産業局
電力安全課長補佐 産業機械課長補佐（技術担当）
平林純一 製造産業局産業機械課 中小企業庁
重電機器係長 経営支援部経営支援課係長
 
１ 第２０回マイクロマシン連合運営協議会の開催
第20回マイクロマシン連合運営協議会（代表幹事：佐藤一雄 名古屋大学大学院教授）が5月13日(金)に開催されました。マイクロマシン連合の昨年度の活動報告および今年度の活動計画が討議されました。マイクロマシン連合の活性化に関し、産学連携を強化するために昨年度に引き続き第16回マイクロマシン展において、連合所属の３団体のマイクロマシン関連最新技術情報（各団体の活動状況PRを含む）を発表することが決定しました。プレゼンテーションはマイクロマシン展初日11月9日（水）15:00～16:00に科学技術館会議室にて行う予定です。また、次回のマイクロマシン連合運営協議会は、11月9日(水)科学技術館会議室で開催する予定です。
 
１ 当センター主催のイベント
・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
(1) 第5回講習会「ＭＥＭＳの設計・加工技術と応用例
開 催 日： ２００５年７月２６日（火）13:00～17:50～19:00
開催場所： アルカディア市ヶ谷（私学会館）６階
(2) 第１６回マイクロマシン展
開 催 日： ２００５年１１月９日（水）～１１日（金）
開催場所： 科学技術館・東京北の丸公園
(3) 第１１回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催
開 催 日： ２００５年１１月１０日（木）
開催場所： 科学技術館（東京都千代田区北の丸公園２番1号）
２ その他のイベントのお知らせ
・ 詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
・ 番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。
(1) International Conference on Multi-Material Micro Manufacture (4M)
開 催 日： 2005年06月29日(水) ～ 07月01日(金)
開催場所： Karslruhe, Germany
主 催： EC
情報入手： http://www.4m-net.org/4M_Conference
(2) 第６回インテリジェント材料国際会議 The 6th International Conference on Intelligent Materials
and Systems (ICIM ’05)
開 催 日： 2005年07月04日(月) ～ 06日(水)
開催場所： アルカディア市ヶ谷
主 催： （社）未踏科学技術協会 ｲﾝﾃﾘｼﾞｪﾝﾄ材料ｼｽﾃﾑﾌｫｰﾗﾑ
情報入手： http://www.sntt.or.jp/imf/ICIM'05/ICIM'05_Top.htm
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(3) IEEE-NANO2005 (5th IEEE Conference on Nanotechnology) (第５回IEEEナノテクノロジーに関する国際会議)
開 催 日： 2005年07月11日(月) ～ 15日(金)
開催場所： Nagoya Congress Center
主 催： IEEE 他
情報入手： http://www.mein.nagoya-u.ac.jp/IEEE-NANO/
(財)マイクロマシンセンター 協賛
New
(4) SEMICON West 2005
開 催 日： 2005年07月11日(月) ～ 月日(水)
開催場所： San Francisco, CA-USA
主 催： semi
情報入手： http://wps2a.semi.org/wps/portal/_pagr/123/_pa.123/302
New
(5) IEEE IEMT 2005 (IEEE International Electoronics Manufacturing Technollogy
Symposium)
開 催 日： 2005年07月11日(月) ～ 月日(火)
開催場所： San Francisco, CA USA
主 催： IEEE, semi, etc.,
情報入手： http://www.cpmt.org/iemt/
New
(6) インターオプト'05 (interOptro'05)
開 催 日： 2005年07月13日(水) ～ 月日(金)
開催場所： 幕張メッセ、国際展示場
主 催： （財）光産業技術振興協会
情報入手： http://www.oitda.or.jp/main/io/io05home-j.html
(7) Optical MEMS 2005 (IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMs
and Their Applications)
開 催 日： 2005年08月01日(月) ～ 04日(木)
開催場所： Holiday Club Eden, Oulu, Finland
主 催： IEEE, VTT, etc.
情報入手： http://www.vtt.fi/ele/new/omems2005/
(8) COMS2005
開 催 日： 2005年08月21日(日) ～ 25日(木)
開催場所： Baden, Baden, Germany
主 催： Forschungszentrum Karlsruhe and MANCEF
情報入手： http://www.mancef-coms2005.org/
New
(9) シンポジウム「マイクロ化学チップ研究開発の全容－インテグレーテッドケミストリーからマイクロ・ナノ化学システム」
開 催 日： 2005年08月23日(火)
開催場所： 神奈川サイエンスパーク
主 催： （財）神奈川科学技術アカデミー
情報入手： http://www.chem.t.u-tokyo.ac.jp/appchem/labs/kitamori/symp2005/
(財)マイクロマシンセンター 協賛
New
(10) ESSDERC-ESSCIRC 2005
開 催 日： 2005年09月12日(月) ～ 月日(金)
開催場所： Grenoble, France
主 催： TIMA Labs, LETI, and IMEP
情報入手： http://www.essderc2005.com/
(11) 第２３回日本ロボット学会 学術講演会
開 催 日： 2005年09月15日(木) ～ 17日(土)
開催場所： 慶應義塾大学日吉キャンパス
主 催： （社）日本ロボット学会
情報入手： http://rsj2005.sd.keio.ac.jp/
(財)マイクロマシンセンター 後援
(12) MNE 2005 (Micro- and Nano-Engineering 2005)
開 催 日： 2005年09月19日(月) ～ 22日(木)
開催場所： Hofburg Conference Center, Vienna, Austria
主 催： MNE 2005 Organising Committee
情報入手： http://www.mne05.org/
(13) MICRO SYSTEM Technologies 2005
開 催 日： 2005年10月05日(水) ～ 06日(木)
開催場所： Munich, Germany
主 催： Mesago Messe Frankfurt, Fraunhofer IZM,
情報入手： http://www.mesago.de/
(14) μTAS2005(The 9th International Conference on Miniaturized Systems
for Chemistry and Life Sciences)
開 催 日： 2005年10月09日(日) ～ 13日(木)
開催場所： Boston Marriott Copley PlaceBoston, Massachusetts, USA
主 催： microTAS2005 conference
情報入手： http://www.microtas2005.org/
(15) メカトロテック・ジャパン2005
開 催 日： 2005年10月19日(水) ～ 22日(土)
開催場所： ポートメッセ名古屋
主 催： 名古屋国際見本市委員会
情報入手： http://www.mect2005.com/
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(16) IEEE Sensors 2005
開 催 日： 2005年10月31日(月) ～ 11月03日(木)
開催場所： Irvine, California, USA
情報入手： http://ewh.ieee.org/tc/sensors/sensors2005/
New
(17) European Nano Systems 2005 (ENS 2005)
開 催 日： 2005年11月14日(月) ～ 月日(水)
開催場所： Paris, France
主 催： TIMA Labs.
情報入手： http://tima.imag.fr/conferences/ENS
New
(18) 2005国際ロボット展
開 催 日： 2005年11月30日(水) ～ 月日(土)
開催場所： 東京国際展示場（東京ビッグサイト）
主 催： (社)日本ロボット工業会、日刊工業新聞社
情報入手： http://www.nikkan.co.jp/eve/05ROBOT/index4.html
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(19) SPIE International Symposium Smart Materials, Nano-, and Micro-Smart
Systems
開 催 日： 2005年12月12日(月) ～ 15日(木)
開催場所： Sydney, Australia
主 催： SPIE
情報入手： http://spie.org/conferences/calls/04/au/
(20) MEMS 2006 (the 19th IEEE International Conference on Micro Electro
Mechanical Systems)
開 催 日： 2006年01月22日(日) ～ 26日(木)
開催場所： Lutfi Kirdar Convention and Exhibition Centre, Istanbul, Turkey
主 催： IEEE, IMTEK
情報入手： http://www.imtek.de/anwendungen/mems2006/
 
１ 第５回MEMS講習会「MEMS設計・加工技術と応用例」のご案内
当センターファンドリーサービス産業委員会では、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために初心者・中級者を対象に、下記のとおり第５回MEMS講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」を開催いたします。積極的なご参加をお願い致します。なお、賛助会員企業の連絡窓口担当者には既に別途ご案内を差し上げてあります。
第５回MEMS講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」
◇日 時：2005年7月26日（火）13:00～17:50～19:00
◇場 所：アルカディア市ヶ谷（東京・私学会館）６階霧島及び６階伊吹
〒102-0073 東京都千代田区九段北4丁目2番25号
TEL：03-3261-9921（代表）
地図URL: <http://www.arcadia-jp.org/acsses/top.htm>
◇参加費：8，000円 参加費には講習会資料と懇談会費が含まれます。
参加費は当日、受付でお支払い下さい。（領収書をご用意します。）
◇定 員：100名 （定員になり次第、締切りさせて頂きます。）
◇参加申込：最終部分の申込欄に必要事項をご記入の上、メール又はFAXにて
ご送信ください。
◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇ プログラム ◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇
第5回講習会「ＭＥＭＳの設計・加工技術と応用例」
13:00 主催者挨拶
青柳 桂一 （財団法人マイクロマシンセンター 専務理事）
13:10 新産業創出のキーとなるＭＥＭＳテクノロジー
杉山 進 （立命館大学理工学部 教授）
14:00 ＭＥＭＳセンサー設計技術
宮島 久和 （松下電工(株) 高度ＭＥＭＳ開発センター 技師）
14:35 ＭＥＭＳ加工・製造プロセスと集積化
小澤 信男 （沖電気工業(株) ＳｉＭＣ ＭＥＭＳ事業推進チーム 課長）
15:10 ＭＥＭＳ実装技術
末益 龍夫 （(株)フジクラ 電子デバイス研究所 グループ長）
15:45～16:15 ---- 技術相談会（各社パネル展示説明）及び休憩 ----
16:15 ＭＥＭＳ応用例(1) センサーシステムにおけるＭＥＭＳ応用の可能性
武田 宗久 （三菱電機(株) 先端技術総合研究所 センシング技術部
部長）
16:50 ＭＥＭＳ応用例(2) ロボット分野におけるＭＥＭＳの可能性
田中 秀治 （東北大学大学院 工学研究科 ナノメカニクス専攻 助教授）
17:30 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
毛野 拓治 （松下電工(株)生産技術研究所 高度ＭＥＭＳ開発センター
グループ長）
17:50～18:00 ---- 休憩 ----
18:00～19:00 懇談会 （６階伊吹）
◆ 参加申込
下記に必要事項をご記入の上、E-メール又はFAXにてご送付ください。
E-mail: [email protected] / FAX: 03-5835-1873
<http://fsic.mmc.or.jp/mems-koshu/koshu-5/koshu-5.html>
====== お申込は下記の申込欄のみをご返信下さい。========
◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇ 参加申込み欄 ◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇
第5回講習会「ＭＥＭＳの設計・加工技術と応用例」参加申込
申込者氏名：
氏名フリガナ：
会社・団体名：
所属部署：
役職：
勤務先〒番号：
勤務先住所：
TEL：
FAX：
E-mail：
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