 
１ 第５回ＭＥＭＳの信頼性評価技術に関する調査研究委員会の開催
第５回MEMSの信頼性評価技術に関する調査研究委員会（委員長：独立行政法人産業技術総合研究所 石川 雄一氏）が２月８日（火）に開催されました。今回の委員会では、今年度の活動成果報告書の構成、内容（調査結果、課題と提言）等について、各分科会（可動デバイス、センサーデバイス、実装・トライボロジー、材料特性・計測法、および総説の５分科会）の中での討議と全体の集約とを図りました。検索して抽出した文献は約５００件、その中から最終的には７５件の論文について査読・調査し、個票にまとめ上げられました。この活動で信頼性評価技術の現状と課題、及び今後の戦略に向けた提言等について整理できたので、２月中を目標に各委員の分担で原稿執筆することとなりました。
尚、MEMS信頼性評価技術の調査研究は次年度も継続していくので企業からの参画を委員長より期待を込めて要請されました。
２ 第５回次世代プロジェクト委員会の開催
前回の委員会の議論を踏まえ、MEMSの取り巻く環境（MEMS産業の発展、ナノなどの先端技術、社会的ニーズ）の調査結果をベースに小委員会で集中検討し、第一ステージ（現在）の既存部品の単機能小型化置き換えから、第二ステージとして高集積・異種複合による多機能デバイスによる不可欠部品の創出へ、さらに第三ステージでは部品を超えそのものが製品となるMEMS機器による新たなマーケット、ライフスタイルの創出、という三段階の産業・技術ロードマップを策定、第二ステージへジャンプする「高集積・複合MEMS製造技術開発－MEMSファイン集積化－」をナショナルプロジェクト案としました。
２月２２日（火）に開催された第５回委員会（委員長：東京大学 下山 勲教授）において、活発な議論の末、これを正式なプロジェクト提案とすることに決定しました。今後、経済産業省の正式提案として、さらに必要な部分の補強など連携して進めて行きます。
併せて、本事業は財団法人機械システム協会からの調査研究委託事業として調査報告書についても、上記趣旨を反映してまとめることができました。
３ 第５回ＭＥＭＳ産業化共同調査研究委員会の開催
第５回ＭＥＭＳ産業化共同調査委員会（委員長：オリンパス（株） 太田 亮氏）が２月１８日（金）に開催されました。今回の委員会では、ファンドリーサービス産業の一層の活性化の手段・仕組みとして、MEMS専門用語見直し、当センター（ＭＭＣ）のファンドリーユーザへの対応手順に関してファンドリーサービス産業委員会に提案したものを再度見直し、突っ込んだ議論がされました。
専門用語に関しては、ファンドリーサービス産業委員会において共同調査委員会が提案した主旨が了承され、「MEMS-ONEプロジェクト」のソフトウエア委員会で来年度事業としてシソーラスづくりを行うよう提案する」との結論がなされことを了承されました。また、MMCのファンドリーユーザへの対応手順については、ファンドリーサービス産業委員会での討議をベースに当委員会で再度資料の事項を見直し、修正・作成しました。
次回のファンドリーサービス産業委員会に提案することとなりました。
４ 第３回疲労試験調査研究委員会の開催
第３回の疲労試験調査研究委員会（委員長：国際標準化工学研究所 大和田 邦樹氏）が２月２４日（木）に開催されました。薄膜の疲労試験に関する国際規格提案を行うため昨年度より３年計画で検討が進められています。東京工業大、群馬大、名古屋大、京都大の４大学にて疲労試験のラウンドロビン試験が実施されており、進捗状況の報告がされました。現状では試験結果にバラツキが大きく、実験条件のつめが必要であることが判明しました。残り１年となり、タイトなスケジュールとなりますが、平成１７年度末までに規格提案を目指して引続き試験を続けていきます。
５ 第3回国際交流事業委員会の開催
第３回国際交流事業委員会（委員長：東京大学 下山 勲教授）が３月２日（水）に開催されました。今年度事業の結果報告および平成１７年度事業計画について審議しました。
平成１６年度の国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムは参加者数が昨年度の２０％増になり、参加者のアンケート結果も好評であり、マスコミにおいても好意的に取上げられるなど成功を収めました。また、５月にフランスのグルノーブルにて開催されたサミットも２３の国/地域が参画し盛大に行われました。
平成１７年度も国際交流委員会は今年度のメンバーの方々に引続きお願いすることになりました。平成１７年度シンポジウムに関しては組織委員会とプログラム委員会の委員長として東京大学下山教授と藤田教授にそれぞれお願いすることになり、さらに魅力的な国際シンポジウムを開催していきます。マイクロマシンサミットは今年５月に米国ダラスで開催され、日本からは下山勲東京大学教授、下山敏郎オリンパス(株)最高顧問(MMC名誉理事長)、尾形仁士三菱電機(株)上席常務執行役(MMC理事)、青柳桂一MMC専務理事、平野隆之技術顧問の５名の代表団で臨む予定ですが、現在、マイクロマシンセンターの賛助会員の皆様にもオブザーバーとしてご参加を呼びかけています。サミットから得られた情報はWebを利用して賛助会員企業の方々に発信していきます。
６ 第32回標準化事業委員会
第３２回標準化事業委員会（委員長：社団法人 機械技術協会 大山 尚武氏）が３月３日（木）に開催されました。平成１６年度標準化事業活動状況および平成１７年度活動計画について審議しました。
専門用語委員会ではMEMS専門用語集に対して最終段階FDIS(Final draft international standard)化が決定しました。
材料特性標準化委員会では引張試験法とその標準試験片の国際標準化規格提案のCDV(Committee draft for vote)化が決定しました。
さらに疲労試験調査研究委員会にて疲労試験の規格化を目指しラウンドロビン試験を実施しています。
このようなマイクロマシンセンターの標準化事業が経済産業省や日本規格協会にて高く評価されており、さらなる展開が期待されています。MEMS－ONEプロジェクトや信頼性評価技術調査研究委員会の活動の中で標準化のメリットを明らかにして、新しい標準化提案が生み出されるよう検討を進めています。
IEC委員会においては、昨年度提案された韓国MEMS通則に対する投票の結果、賛成多数で標準化が進められることが決まりました。日本の専門用語集での分類がアカデミックなものであるのに対し、韓国の分類はアプリケーション中心で実用サイドから作られており、韓国の提案が標準化された場合に日本にとってどのような不利益が生じるかどうかを検討し、韓国MEMS通則に日本側の要望を盛込む必要性があります。当面、MEMS通則の対応は専門用語委員会にて進めていきますが、現在、専門用語委員会には企業の方々が参画していないので、賛助会員企業から本問題に関心のある方々を募集いたします。
７ 第3回調査研究事業委員会の開催
平成１６年度第３回調査研究委員会（委員長：東京大学 藤田 博之教授）が３月３日（木）に開催されました。
今回は、現在調査研究中の「次世代プロジェクト関連事業（次世代プロジェクト懇談会とマイクロ・ナノシステムデバイスに係る加工組立・計測評価・ハンドリング技術に関する調査研究事業）」と「MEMSの信頼性評価技術に関する調査研究事業」についての本年度の進捗状況が報告されました。それぞれ、調査研究がまとめの段階にあり、調査結果全般の確認と次年度への展開について、議論されました。
８ 第3回国内外技術動向調査委員会の開催
第３回国内外技術動向調査委員会（委員長：早稲田大学 庄子 習一教授）が３月７日（月）に開催されました。本委員会は、マイクロマシンに関する国内外の最新かつ詳細な情報を収集・分析し、その技術動向を把握することを目的としています。
今回は、下期の技術動向調査として、"MEMS 2005" の全発表内容の分類集計結果、及び各委員から全発表論文の動向調査を行った結果が報告されました。
MEMS2005は今回１8回目にあたり、２００５年１月３０日(日)～２月３日(木)の日程で米国、マイアミビーチ市で開催され、当日受付も含めると７０２名で、昨年の６５０名を大きく上回った。発表件数は、招待講演３件、口頭発表４１件、ポスター発表１７５件の計２１９件でした。内容の詳細は年度末に発行する報告書に纏めると共に、当センターホームページの賛助会員のページ：分野別研究開発動向に掲載される予定です。
なお、次回の平成１７年度第１回国内外技術動向調査委員会は５月末に開催予定です。
９ 第３回普及広報事業委員会の開催
平成１６年度第３回普及広報事業委員会（委員長：オリンパス(株) 舘岡 斉氏）が２月２１日（月）に開催されました。
平成１６年度委員会の活動結果及び平成１７年度事業内容の審議結果は以下のとおりです。
（1)広報誌の編集・出版
・和文広報誌：第４７号～第５０号発行済み（Ａ４版、８頁モノクロ）およびホーページへ記 載
・公開済み。
・英文広報誌：No.47～No.50（和文広報誌の英訳版）ホームページのみ記載・公開済み 。
＊コラム随想の掲載について、前向きに検討してもらいたい。
（2)ホームページの維持・管理
・記載内容の充実を図っている。
＊調査報告書は現在、賛助会員のページで閲覧できるが、一般向けのページでも概要 が分かるようにしてはどうか。
（3)第１５回マイクロマシン展の開催結果
１１月１０日（水）～１２日（金）に科学技術館（東京・北の丸公園）で開催。第１０回国際マ イクロマシン・ナノテクシンポジウムは１１月１１日（木）に併催。
・総入場者数：8,213名、出展者数：247団体（352小間）
今回は科学技術館の２階フロアーの１部も使用し、大学関連の出展ブースとした。
（4)マイクロマシンをデザインした記念切手発行
マイクロマシン（(株)デンソー製マイクロカー）をデザインした記念切手が日本郵政公社か ら発行される。
名称：「科学技術とアニメ・ヒーロー・ヒロインシリーズ第７集」郵便切手
発行予定日：３月２３日（水）
料額等：８０円（２種シート／各シート１０枚／各８００円）
発売場所：全国の郵便局等
（5)平成１７年度の主な事業予定
・広報誌発行予定：第５１号～５４号
・第１６回マイクロマシン展
開催日：平成１７年１１月９日（水）～１１日（金）
開催場所：科学技術館（東京・北の丸公園）
（6)その他
平成１７年度第１回普及広報事業委員会開催予定：平成１７年５月３０日（月）
10 第３回マイクロ・ナノ先端技術交流会の開催
第３回マイクロ・ナノ先端技術交流会が２月１８日（金）に当センター会議室に於いて開催されました。今回の講師である、産業技術総合研究所生命情報科学研究センターの秋山 泰センター長より「バイオインフォマティックス研究の最前線」～生命現象のシステム的理解から創薬へ～という演題で講義いただきました。講義後、活発な質疑応答があり、有意義な第３回交流会として終了いたしました。
参加者はMMCの賛助会員および一般からの参加で、総勢２４名でした。参加者からは、「MEMS関係の話は学会でも聴けるが、バイオの話でしかも最先端の話を聴けてたいへん参考になった。これからも機会があれば異分野の講演も是非やってほしい。」というご意見もいただきました。
第４回目の企画をしましたら、ご案内いたしますのでご参加方よろしくお願いいたします。
11 第3回運営政策小委員会、第4回運営委員会の開催
第３回運営政策小委員会および第４回運営委員会を３月４日（金）に開催しました。
運営政策小委員会では、今後のセンターの研究活動の展開について、特にMEMS-ONEプロジェクト、ファンドリーサービス事業についての説明を行いました。又、次世代プロジェクトについても説明を行い、その後、闊達なご意見等を頂きました。
運営委員会に於いては、平成１７年度事業計画、平成１７年度収支予算、理事の一部変更及び平成１７年度委員会構成等について事務局から説明をさせていただき、了承をいただきました。
了承された議案は、３月２９日（火）に開催されます第３回評議員会および第２回通常理事会において審議いただく予定です。
12 ＭＥＭＳ－ＯＮＥ関係委員会（ＮＥＤＯ委託研究）の動き
（１）第５回・知識ＤＢ／材料・プロセスＤＢ合同委員会の開催
第５回知識DB委員会（委員長：京都大学 小寺 秀俊教授）と第５回材料・プロセスDB委員会（委員長：産総研 前田 龍太郎氏）の合同委員会が２月２４日（木）に開催されました。
知識ＤＢ委員会としての議事内容は、前回に引続きデータベース画面イメージに関するアンケート結果の検討がなされ、この結果をもってデータベース設計係わる主な検討は終了しました。また、知識データ蓄積のための、データ入力ソフト仕様についても議論され、先生方にはこの知識データ入力ソフトを用いてデータ作成いただくことになりました。
一方、材料・プロセスＤＢ委員会における議事内容としては、前回に引続き材料データリストおよび材料と解析パラメータの関連マップ作成に関する検討が行われました。これらのリストやマップ作成には、関連企業との調整・情報収集等が必要で、暫く時間が掛かりそうです。
次回の検討課題も相互関係が深いことから、４月２１日（木）に合同で行うことが決まりました。
(2) 第８回ソフトウェア委員会の開催
第８回ソフトウェア委員会（委員長：オリンパス㈱ 三原 孝士氏）が３月２日（水）に開催されました。本委員会は月１回のペースで開催されて来ましたが、今回が平成１６年度最後の委員会となりました。
今回の議事内容は、本プロジェクトの目玉機能の一つであるプロセス逆問題解析ソフトの実行イメージに関する検討ならびに、ユーザとの係わりが大きく利用面で重要なフレームワークソフトの機能仕様に関する検討を重点に行いましたが、時間切れで一部次回持ち越しとなりました。本委員会の活発な活動実績により、開発は概ね計画通り進行しております。
次回は４月８日（金）に予定され、プロセス逆問題解析ソフトのプロトタイプを用いた検証結果の報告および検討が主な議題とになります。
 
１ 月例経済報告（平成17年2月）
総論
（我が国経済の基調判断）
景気は、一部に弱い動きが続いており、回復が緩やかになっている。
・企業収益は大幅に改善し、設備投資は増加している。
・個人消費は、おおむね横ばいとなっている。
・雇用情勢は、厳しさが残るものの、改善している。
・輸出、生産は弱含んでいる。
先行きについては、企業部門の好調さが持続しており、世界経済の着実な回復に伴って、景気回復は底堅く推移すると見込まれる。一方、情報化関連分野でみられる在庫調整の動きや原油価格の動向等には留意する必要がある。
情報入手： <http://www5.cao.go.jp/keizai3/2005/0119getsurei/main.html>
２ その他情報
産総研のホームページに、産総研とNEDOで共同開発した「恐竜型ロボット」を 愛・地球博で１８５日間運用展示するという、３月４日（金）プレス発表記事が掲載されています。興味のある方はご覧ください。
情報入手： <http://www.aist.go.jp/>
 
１ 当センター主催のイベント
・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
(1) 第１６回マイクロマシン展
開 催 日： ２００５年１１月９日（水）～１１日（金）
開催場所： 科学技術館・東京北の丸公園
(2) 第１１回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催
開 催 日： ２００５年１１月１０日（木）
開催場所： 科学技術館（東京都千代田区北の丸公園２番1号）
２ その他のイベントのお知らせ
・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
・番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。
(1) Sensor Expo Japan 2005 (センサ総合展2005)
開 催 日：2005年04月06日(水) ～ 08日(金)
開催場所：東京ビッグサイト
主 催：ﾌｼﾞｻﾝｹｲﾋﾞｼﾞﾈｽｱｲ
情報入手：<http://www.business-i.jp/event/sensor/index2.htm>
(財)マイクロマシンセンター 後援
(2) センサ・アクチュエータ・マイクロマシン／ウィーク 2005 総合シンポジウム
開 催 日：2005年04月06日(水) ～08日(金)
開催場所：東京ビッグサイト
主 催：次世代センサ協議会
情報入手：<http://www.cnt-inc.co.jp/jisedai/2005week.htm>
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(3) HANNOVER MESSE ハノーバー・メッセ2005 『マイクロテクノロジー』
マイクロシステムズ及びナノ応用技術専門見本市
開 催 日：2005年04月11日(月) ～ 15日(金)
開催場所：Hannover Messe(ハノーバ国際見本市会場), Germany
主 催：Deutsche Messe AG
情報入手：<http://www.hannovermesse.co.jp/>
New
(4) TECHNO-FRONTIER 2005
開 催 日：2005年04月20日(水) ～ 月日(金)
開催場所：日本コンベンションセンター (幕張メッセ)
主 催：(社)日本能率協会
情報入手：<http://www.jma.or.jp/TF/>
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(5) DTIP 2005 (Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of
MEMS/MOEMS)
開 催 日：2005年06月01日(水) ～ 03日(金)
開催場所：Montreux, Switzerland
主 催：Tima, IEEE, etc.
情報入手：<http://tima.imag.fr/conferences/Dtip/Dtip2005/>
(6) JPCA SHOW 2005
開 催 日：2005年06月02日(木) ～ 04日(土)
開催場所：東京ビッグサイト
主 催：社団法人日本プリント回路工業会
情報入手：<http://www.jpcashow.com/>
(財)マイクロマシンセンター 後援
(7) Transducers’05 - the 13th International Conference on Solid-State Sensors,
Actuators and Microsystems
開 催 日：2005年06月05日(日) ～ 09日(木)
開催場所：Seoul, Korea
主 催：Korean Sensors Society
情報入手：<http://www.transducers05.org>
(8) ロボティクス・メカトロニクス講演会2005
開 催 日：2005年06月09日(木) ～ 11日(土)
開催場所：神戸国際展示場
主 催：（社）日本機会学会
情報入手：<http://www.rescuesystem.org/robomec2005/>
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(9) 第６回インテリジェント材料国際会議 The 6th International Conference on
Intelligent Materials and Systems (ICIM ’05)
開 催 日：2005年07月04日(月) ～ 06日(水)
開催場所：アルカディア市ヶ谷
主 催：（社）未踏科学技術協会 ｲﾝﾃﾘｼﾞｪﾝﾄ材料ｼｽﾃﾑﾌｫｰﾗﾑ
情報入手：<http://www.sntt.or.jp/imf/ICIM'05/ICIM'05_Top.htm>
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(10) IEEE-NANO2005 (5th IEEE Conference on Nanotechnology) (第５回IEEEナノテク ノロジーに関する国際会議)
開 催 日：2005年07月11日(月) ～ 15日(金)
開催場所：Nagoya Congress Center
主 催：IEEE 他
情報入手：<http://www.mein.nagoya-u.ac.jp/IEEE-NANO/>
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(11) 第２３回日本ロボット学会 学術講演会
開 催 日：2005年09月15日(木) ～ 17日(土)
開催場所：慶應義塾大学日吉キャンパス
主 催：（社）日本ロボット学会
情報入手：<http://rsj2005.sd.keio.ac.jp/>
(財)マイクロマシンセンター 後援
(12) MICRO SYSTEM Technologies 2005
開 催 日：2005年10月05日(水) ～ 月日(木)
開催場所：Munich, Germany
主 催： Mesago Messe Frankfurt, Fraunhofer IZM,
情報入手：<http://www.mesago.de/>
New
(13) μTAS2005
(The 9th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry
and Life
Sciences)
開 催 日：2005年10月09日(日) ～ 月日(木)
開催場所：Boston Marriott Copley PlaceBoston, Massachusetts, USA
主 催：microTAS2005 conference
情報入手：<http://www.microtas2005.org/>
(14) メカトロテック・ジャパン2005
開 催 日：2005年10月19日(水) ～ 22日(土)
開催場所：ポートメッセ名古屋
主 催：名古屋国際見本市委員会
情報入手：<http://www.mect2005.com/>
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(15) 2nd International Symposium on Nanomanufacturing
開 催 日：2005年11月03日(木) ～ 05日(土)
開催場所：Daejeon, Korea
主 催：Nano Research Institute, Korea Institute of Machinery & Materials,
BK 21
Institute of Mechanical Engineering
情報入手：<http://isnm2004.kaist.ac.kr/>
(16) SPIE International Symposium Smart Materials, Nano-, and Micro-Smart
Systems
開 催 日：2005年12月12日(月) ～ 15日(木)
開催場所：Sydney, Australia
主 催：SPIE
情報入手：<http://spie.org/conferences/calls/04/au/>
New
(17) MEMS 2006 (the 19th IEEE International Conference on Micro Electro
Mechanical Systems)
開 催 日：2006年01月22日(日) ～26日(木)
開催場所：Lutfi Kirdar Convention and Exhibition Centre, Istanbul, Turkey
主 催：IEEE, IMTEK
情報入手：<http://www.imtek.de/anwendungen/mems2006/>
 
１ 平成16年度・第３回評議員会、第2回通常理事会の開催のお知らせ
開催日時 平成１７年３月２９日（火）
14：00～評議員会
15：00～通常理事会
開催場所 東京都千代田区霞ヶ関３－４－２
財団法人 商工会館７階会議室
議 題 １、平成１７年度事業計画について
２、平成１７年度収支予算について
３、平成１７年度委員会構成等について他
２ ホームページ・賛助会員ページのパスワード変更のお知らせ
当センターのホームページ（http://www.mmc.or.jp）の賛助会員ページのパスワードを新年度４月１日（金）より変更を致します。新しいパスワードは賛助会員の連絡窓口担当者にE_Mailにて３月末日までにお知らせする予定です。
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