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| 目 次 | ||
Ⅰ 国内外トピックス１ μＴＡＳ２００４の報告２ 台湾・シンガポールＭＥＭＳ最新事情 ３ 新聞記事 Ⅱ マイクロマシンセンターの動き１ 第3回運営委員会の開催２ 第2回運営政策小委員会の開催 ３ 第2回国内外技術動向調査委員会の開催 ４ 第1回材料特性標準化委員会の開催 ５ 第2回専門用語委員会（標準化事業委員会）の開催 ６ 第2回ＭＥＭＳ信頼性評価技術に関する調査研究委員会（日機連調査）の開催 ７ 第12回ファンドリーサービス産業委員会の開催 ８ 第3回ＭＥＭＳ産業化共同調査研究委員会の開催 ９ 第2回普及広報事業委員会の開催 10 第10回マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催日せまる 11 第15回マイクロマシン展の開催日せまる 12 ＭＥＭＳ－ＯＮＥ関係委員会（ＮＥＤＯ調査）の動き (1)第4回ソフトウェア委員会の開催 Ⅲ 行政動向１ ２００４経済産業省の「研究開発プログラムの紹介」等情報入手：http://www.meti.go.jp/policy/kenkyu_kaihatu/ Ⅳ イベント案内１ 当センター主催のイベント２ その他のイベントのお知らせ Ⅴ その他会員への情報１ マイクロマシンセンターの人事異動２ ＮＥＤＯ情報・システム部ナノテク海外情報 |
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| 本 文 | ||
Ⅰ 国内外トピックス１ μＴＡＳ２００４の報告 μＴＡＳ２００４（The 8th International Conference on Miniaturized Systems in Chemistry and Life Science）が、９月２６日から３０日まで、スウェーデンのマルメ（Malmo Exhibition and Convention Center）で開催されました。 今回は投稿数：６５５件、採択：４３０件。昨年の投稿数：４６２件、採択：３２５件よりさらに増加し、この分野での研究がますます進展していることが表れていました。投稿数を国別でみると、日本：１７５件、アメリカ：１３２件、スウェーデン：７８件、デンマーク：５７件等で、日本、アメリカ、北欧がこの分野をリードしている国・地域となっています。研究機関では、東京大学：４６件、デンマーク工科大学：２６件、マイクロ化学プロセス技術研究組合：１３件、ルンド大学：１３件などで、東京大学が抜きん出た存在となっています。参加者数は最終的には約７３５名で、アジアからは２００名を超える参加がありました。 会議では、マイクロ流体、マイクロ・ナノテクノロジー、材料の基盤的な技術から、その出口としての化学、バイオ、医薬などを対象として発表があり、この分野における広範囲な情報が集まる場が提供されていると感じました。主催者側のこの意図は、ポスター発表についても現れ、３日間で計３５６件と件数が多い上、アプリケーション・システムやＭＥＭＳテクノロジーなどの応用に近い技術が発表され、研究者間の直接的な交流ができる場となっていました。 発表では、期間の前半はナノテクノロジーを中心に日本勢がリードをし、後半に、細胞組織や分析を中心に欧米がリードした展開のように感じました。また、欧米は日本に比べ、ベンチャー企業の発表が多く、アプリケーションの面で先んじているかという印象を持ちました。日本が強いマイクロ・ナノテクノロジーを化学、バイオといったアプリにしっかりと結び付けていくい事がますます大事となってきています。 ２ 台湾・シンガポールＭＥＭＳ最新事情 マイクロマシンセンターでは、９月６日から９月１０日にかけて海外政策調査を実施いたしました。次世代マイクロマシン、次世代MEMS関連で発展のめざましい、アジアでの研究や政策動向を調査するため、今回は、世界のファンドリーを標榜する台湾と、技術立国を目指すシンガポールに調査団を派遣しました。 台湾では、政策調査的観点でITRI（工業技術研究院電子所）を、またファンドリー調査の視点でAPM(Asia Pacific Microsystems社)、tMt(Touch Microsytem Technology社)、そして半導体Fabで世界的大手のTSMC(Taiwan Semiconductor Manufacturing Company社)を訪問調査してきました。 シンガポールでは、政策的観点でIME(Institute of Microelectronics)SIMTEC(Singapore Institute of Manufacturing Technology)を、学際的観点でNTU(Nanyang Technological大学)を訪問調査してきました。 台湾、シンガポールともに、国策としてマイクロ・ナノテクノロジーに集中的な投資をしており、海外との技術交流も積極的に行われている現状を把握できました。背景として、広大な国土や資源を持たず、限られた予算をハイテクに絞り込んで産学官連携で実行できる体制があることが共通項としてあり、投資額も半導体と比較すると比較的規模が小さい、知恵の国際間勝負であることが見出せました。また、研究者の海外との交流も活発で、研究レベルの差も縮みつつあるため、マイクロ・ナノテクノロジーの世界での半導体業界のような国際間すみ分けには難しさを感じました。 このような状況の中で、わが国のR&Dと製造技術、IPをどのように発展し、差異化できる国際競争力を高めていくか、今後の政策提言に向けて引き続き検討をすすめて参ります。 ３ 新聞記事 ９月１４日 日刊工業新聞 薄膜永久磁石を開発：デバイス微細化に貢献；NEMAX ５年後の実用化目指す NEOMAXは、ネオジム・鉄・ボロン系磁石としては世界最高水準の磁気エネルギー性能を持つ薄膜永久磁石を開発した。厚さ１マイクロメートルで、性能を示す最大磁気エネルギー積（１cc当たりの磁力と保持力の積）45.8メガガウスエルステッドを実現。マイクロマシン技術で製造するデバイスのさらなる微細化につながる。電機メーカーなどとの共同開発で、５年後の実用化を目指す。ガラス基板に加え、単結晶シリコン上でも製膜可能。このため、半導体プロセス応用のマイクロマシン技術でつくる光デバイスや高周波回路スイッチ、ハードディスク用磁気ヘッドなどでの技術展開を目指す。 ９月１４日 日刊工業新聞 人体をケーブル代わりに：惣菜などの商品データ通信；松下電工が計量器開発 松下電工は１３日、寺岡精工と共同で、「人体通信」を使った計量器を開発したと発表した。人体通信は人体をケーブル代わりにしてデータを通信するシステムで、実用化は今回が初めて。寺岡精工は、店員用のリストバンド型の端末と商品棚に取り付ける商品タグ、計量器に設置する読み取り機をセットで販売する。人体通信は、無線と違い混信や傍受の心配がない。松下電工は、入退出管理や電子マネーなどの用途展開も視野に入れている。 ９月１６日 日経産業新聞 直径２.８ミリ、世界最小モーター量産：シコー技研、携帯向けなど シコー技研は世界最小サイズのモーターの量産を始める。回転軸に分銅を付け、主に携帯電話機の振動機能に利用するモーターで電話機メーカーなどにサンプル出荷する。量産する小型モーターは直径が２.８ミリメートル、回転軸の部分を除いた長さが長さが約６ミリメートル。直径０.６ミリメートルの回転軸に半円形状の分銅を取り付けると回転時に振動を起こす。分銅をとれば、回転速度が毎分６千～１万回転程度の普通のモーターとして利用できる。 ９月１６日 日経産業新聞 金属製品に取り付けＯＫ：日立、極薄ＩＣタグ開発 日立製作所は１５日、金属の表面に取り付けて利用できる極薄タイプのＩＣタグを開発したと発表した。１０月中旬からサンプル出荷を始める。金属はＩＣタグの無線通信を妨害するため樹脂で表面を覆うなどの加工が必要で、小型化が難しかった。日立は樹脂を張り合わせるラミネート技術と独自のアンテナ技術で問題を解決した。開発した「金属専用薄型タグ」は薄さ１.３ミリメートル。日立のＩＣタグ用チップ「ミューチップ」に接続するアンテナを二重化したほか、ひょうめんを覆う樹脂フィルムの素材も工夫した。金属に装着した場合で最大２５センチメートルの通信距離を確保した。１個あたり２０円以下を目標にする。 ９月１６日 日刊工業新聞 半導体プラズマエッチング ウエハー上で実時間計測：東北大、歩留まり向上へ 東北大学の寒川誠二教授らは半導体理工学研究センターと共同で、半導体のプラズマエッチング状態をウエハー上で実時間計測できるセンサーを始めて開発した。ウエハー上に４種類のセンサーを集積したチップを敷き詰め、実際のプラズマエッチング状態を把握できる。２、３年後の実用化を目指し、寒川教授らは大学発ベンチャー設立も検討していく。このセンサーはプラズマ状態そのものを測定する代わりに、プラズマによってウエハー上に飛来する荷電粒子や紫外光の動きを直接、実時間測定して、その影響を把握するオンウエハーモニタリングセンサー。集積する４種類のセンサーはエッチング速度やエッチング選択性にかかわるイオンエネルギーアナライザー、プラズマ損傷にかかわるチャージアップモニター、紫外光照射損傷モニター、側壁導電性モニター。 ９月１７日 日本経済新聞 １時間で遺伝子診断：京大とがん向け２年内に製品化；東レが新チップ 東レはがんなど様々な病気を１、２時間で遺伝子診断できる新型チップを開発した。個人差に応じて最適な治療法を選ぶ「テーラーメード医療」に役立つ。製造も容易で、価格も普及品の約１／１０にできる見通し。まず京都大学と共同で、がん診断用チップを２年内に製品化する。現在、京大の辻本豪三教授らががん診断用の遺伝子を絞り込んでおり、その成果を利用して実用化する。約１センチ角の検出部を多数の微小な突起が並ぶ独自の構造で、その突起表面をナノメートルレベルに加工し、たりょうの遺伝子検出用の人工ＤＮＡをくっつける。形状は複雑だが、プレス生計で簡単に作製でき、安価に大量生産が可能という。 ９月２７日 日本経済新聞 カード型カメラ実現へ：昆虫の複眼応用 厚さ２ミリ可能に；阪大・コニカミノルタが薄型レンズ 最新の薄型デジタルカメラよりさらに薄い「カード型カメラ」の実現につながる新型レンズとセンサーを大阪大学情報科学研究科の谷田純教授とコニカミノルタテクノロジーセンターなどが共同で開発した。カメラ本体を２ミリメートル程度まで薄くできるという。新型レンズは昆虫が多数のレンズで画像をとらえる「複眼」の仕組みを応用。直径０.３５ミリの小型レンズを縦横８列ずつ並べ、６４枚の画像を撮影し、１枚の画像に合成する。個々のレンズが小さいため、焦点距離は０.７５ミリを実現。現在、光学系の厚みは通常の半分の３.６ミリだが、改良すればさらに薄くできる。 ９月２１日 日経産業新聞 アレルギー反応 検査チップ小型化：２０分で結果判明；神奈川科学アカデミー 神奈川科学アカデミーの伊藤嘉浩プロジェクトリーダーらは、一度の検査で最大１５０種類のアレルギー反応を調べることができる小型の検査チップを開発した。検査結果も約２０分で分かる。２年後をメドに実用化を目指す。開発したチップは横が約８センチ、縦が約３センチ。スギ花粉やダニアレルギーなどの原因物質である各種の「アレルゲン」がチップ上に固定化されている。採取した血液をチップに入れ、アレルゲンと反応すると発光する。発光した場所によって、どんなアレルギー反応なのか分かる仕組み。 ９月２８日 日刊工業新聞 ミニチュアロボット、数マイクロメートル単位で移動制御：１万分の１度単位で回転；愛工大 愛知工業大学の植田明照教授、鳥井昭宏助教授らは、数マイクロメートル単位で移動を細かく制御できるミニチュアロボットを開発した。電圧をかけると伸び縮みする圧電素子を３つ、正三角形状に並べて用いており、これまで数マイクロメートル単位で前後左右の直進運動を制御できたほか、今回、１万分の１度という細かい刻みで回転させることに成功した。ちゃぶ台のようなカタチをしていて、ロボットの上にモノを載せられる。半導体の製造工程に生かしたいとしているが、ほかにも幅広い用途が期待できそうだ。 ９月２９日 日経産業新聞 細胞表面の膜たんぱく ナノ粒子使い操作：遺伝子治療に応用も；東芝 東芝は細胞の表面にある膜たんぱく質を動かして操作する新手法を考案した。ナノメートルサイズの金の超微粒子を膜たんぱく質にくっつけて超音波を照射すると、ナノ粒子が振動し、膜たんぱく質が移動する。遺伝子治療の効率を高める技術や幹部に薬剤を的確に届ける薬物送達システムに応用できそうだ。膜たんぱく質は細胞表面に浮いたようにくっついており移動できる。たんぱく質や化学物質などを細胞内に取り込んだり、逆に放出したりする役目を担う。 １０月８日 日本経済新聞、日経産業新聞 遺伝子の個人差「SNP」：高速・高精度で解析；オリンパス、東大など オリンパスと東京大学、創薬支援ベンチャーのノバスジーンは７日、高血圧など生活習慣病のなりやすさなどを左右する遺伝子の個人差を高精度で高速に解析する手法を共同開発したと発表した。患者の血液などから、目的とするSNPを含む遺伝子を洗い出し、その型を数百種類まで同時に判別できる手法を開発した。一度の解析で多数のSNPを判別できるので、試薬などの節約につながる。運転コストは従来の約１割に抑えられる見通しという。 Ⅱ マイクロマシンセンターの動き１ 第3回運営委員会の開催 ９月２９日（水）平成１６年度第３回運営委員会が開催されました。審議、報告事は、①平成１６年度事業計画及び収支予算の一部変更、②理事の一部変更、③平成１６年度委員会構成、④平成１６年度事業実施状況でした。 なお、「平成１６年度事業計画及び収支予算の一部変更」、「理事の一部変更」は１０月１４日（木）に開催予定の第３回臨時理事会および第２回評議員会に諮ることになります。 ２ 第2回運営政策小委員会の開催 ９月２９日（水）平成１６年度第２回運営政策小委員会が開催されました。内容はマイクロマシンセンターの現在、今後の研究活動の展開と収支決算・予算の推移についての説明でした。 研究活動の展開については、①MEMS-ONE、②ファンドリーサービス事業の進捗、③次世代プロジェクトを青柳専務理事より実施年度に沿って説明がされました。 ３ 第2回国内外技術動向調査委員会の開催 第２回の国内外技術動向調査委員会（委員長：早稲田大学 庄子習一教授）が９月１３日（月）に開催されました。当委員会は、マイクロマシンに関する国内外の最新かつ詳細な情報を収集・分析し、その技術動向を把握することを目的としています。 今回は、上期の技術動向調査として、"Solid-State Sensor, Actuator and Microsys- tems Workshop 2004" の発表内容を分類し、動向調査を行った結果が報告されました。 "Solid-State Sensor, Actuator and Microsystems Workshop 2004"は、米国で同分野の国際会議であるTransducersの行われない隔年に、米国内を対象に行われているワークショップであり、センサ、アクチュエータ、マイクロシステムに関する最先端の研究開発事例が発表される会議である。今回が１１回目の開催であり、サウスカロライナ州のHilton Head IslandのCrowne Plaza Resortで6月6日～10日に開催されました。口頭発表３７件、ポスター発表７１件の計１０８件の発表がありました。発表内容の詳細は、年度末に発行する報告書にまとめるとともに、当センターホームページのマイクロマシンデータベースの分野別研究開発動向に掲載する予定です。 ４ 第1回材料特性標準化委員会の開催 平成13年度まで3年間NEDO事業として実施いたしました薄膜材料の特性計測評価法の成果を基に、平成14年、IEC (国際電気標準会議)/ TC47(半導体デバイス)に引張試験法とその標準試験片の国際標準化規格提案を行い、平成15年、投票によりCD(Committee Draft)化が決定しました。今年は、各国からのコメントをもとに修正を行い、来年、投票(CDV : Committee Draft Vote)を行い、 更に正式投票が行われて国際標準化規格として出版の段取りとなります。9月21日に平成16年度第1回材料特性標準化委員会を開催し、引張試験法と標準試験片の2つのCDに対してなされた米国とドイツのコメントに対して審議を行いました。この審議に基づき修正されたCDを１０月１３日開催のIECのTC47/WG4ソウル会議にて審議され、順調に進めばCDV化が決定されます。平成１６年度も昨年度に引き続き（財）日本規格協会の支援を得て活動しています。 委員会の委員構成は次の通りです。 委員長：大和田 邦樹 国際標準化工学研究所 委 員：土屋 智由 京都大学 大学院 工学研究科 早乙女 康典 群馬大学 大学院 工学研究科 肥後 矢吉 東京工業大学 精密工学研究所 佐藤 一雄 名古屋大学 大学院 工学研究科 菅野 久勝 日本試験機工業会 北田 浩二 (社)電子情報技術産業協会 標準・技術部 標準化センター 尾崎 浩一 (独)産業技術総合研究所 ものづくり先端技術研究センター 若林 秀一 オムロン㈱ 技術本部 先端デバイス研究所 太田 亮 オリンパス㈱ 研究開発センター ＭＥＭＳ開発本部 古田 一吉 セイコーインスツル㈱ 技術本部 竹井 裕 ソニー㈱ ﾏｲｸﾛｼｯｽﾃﾑｽﾞﾈｯﾄﾜｰｸｶﾝﾊﾟﾆｰ ﾚｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞﾒﾃﾞｨｱｶﾝﾊﾟﾆｰ 吉冨 雄二 ㈱日立製作所 機械研究所 鈴木 良孝 横河電機㈱ マイクロマシン研究部 ５ 第2回専門用語委員会（標準化事業委員会）の開催 第２回専門用語委員会（委員長：諸貫信行 東京都立大学）が９月２８日(火)に開催されました。マイクロマシン専門用語の国際標準化提案がIEC（国際電気標準会議）/ TC47（半導体デバイス）になされており、国際標準化活動は、現在，CDV(Committee Draft Vote)の段階にあり、CDV原案は回付され、投票の結果、承認されましたが、イギリス、ドイツ、デンマークからコメントがあり、今回の委員会にてコメント審議を行いました。この審議に基づき修正されたCDVを１０月１３日開催のIECのTC47/WG4ソウル会議にて審議され、順調に進めばFDIS化が決定され、来年末には国際規格発行の段取りとなります。 ６ 第2回ＭＥＭＳ信頼性評価技術に関する調査研究委員会（日機連調査）の開催 第２回 ＭＥＭＳの信頼性評価技術に関する調査研究委員会（委員長 石川雄一 独立行政法人産業技術総合研究所）が１０月４日（月）に開催されました。今回の委員会では、可動デバイス、センサーデバイス、実装・トライボロジー、材料特性・計測法、及び総説の５分科会で査読した論文の概要の読み合わせ、およびまとめ表の記述表現の修正等について検討されました。信頼性関連文献の調査としては更に範囲の拡大を図って資料を追加し、最終的には総数で５０～７５件を集め、信頼性評価技術の知識データの集約を図ることとなりました。今後の調査活動の中で、特に次回委員会では勉強会として２件の講演を予定することとなりました。 ７ 第12回ファンドリーサービス産業委員会の開催 第12回ファンドリーサービス産業委員会（委員長：オリンパス（株）、三原孝士氏）が１０月６日（水）に開催されました。 ファンドリーサービス産業委員会の今年度の事業内容に関する主な議論の概要はつぎの通りです。 （１）ネットワークシステム構築について ・コンサルテーション機能について：MEMS産業化共同調査委員会（委員長：オリンパス（株）、太田亮 氏）が作製した代表的な問診表（案）について検討し、ユーザーへの対応方法（プロトコル）をMEMS産 業化共同調査委員会で明確にした上で、再度当委員会に提案することに決定した。また、当委員会 でのMEMS用語集の作成に関しては、MEMS産業化共同調査委員会で仕切りなおしすることに決定し た。 ・ネットワーク拡大方法について：各地域の大学の持っているベンチャーラボ的な組織、及び各地域 の工業技術センターを含めたネットワーク構成の構築を検討する。前記各組織の所有している設備 内 容、試作可能プロセス等に関する調査（ヒヤリングを含む）と、調査結果のネットワークでの紹介を 行う。（情報共有の場としてのネットワークの利用） （２）第４回ＭＥＭＳ講習会について 第４回ＭＥＭＳ講習会の開催内容について検討し、内容概略を決定した。 ・第４回講習会開催概要：開催日；2005年1月17日（月）13:00～17:30～19:00 場 所；ぱるるプラザ京都（JR京都駅前） ・MEMSの設計から加工・製造プロセスに関する各専門企業の講演とMEMS応用例の講演の間に、各 企業によるMEMS相談会（パネルデスカッション形式）の時間（３０分間）を設け、参加者が自由に相談 できるようにする。 （３）第１５回マイクロマシン展での出展者プレゼンテーション マイクロマシン展の最終日１１月１２日（金）15:10～16:00に科学技術館６階第１会議室で、当委員会 の活動紹介と委員企業の得意技術紹介を行う。（各委員企業はプレゼン内容データを、１１月５日まで に三原委員長に送付する。） （４）各社の得意技術紹介 オリンパス（株）太田亮委員から自社の技術紹介が行われた。 （５）その他 次回第１３回ファンドリーサービス委員会は１２月２２日（水）14:00～17:30～に開催する。 ８ 第3回ＭＥＭＳ産業化共同調査研究委員会の開催 第２回ＭＥＭＳ産業化共同調査委員会（委員長：オリンパス（株）、太田 亮氏）が１０月７日（木）に開催されました。今回の委員会では、(1)ファンドリーサービス活性化の手段としてのMEMS専門用語見直し、問診表もどきの検討、(2)COMS2004（カナダ）調査報告、(3)台湾・シンガポールMEMS状況調査報告が主な議題でした。 専門用語に関してはその見直しの必要性は了解され、MEMS固有の用語と考えられるものについてメンバー企業がどのような意味合いで使用あるいは表現しているのかを調査することになりました。発展的にはMEMS-ONEの知識データベース構築と連動して用語の統一化を図る方向で合意されました。問診表もどきの検討については、その活用の仕方としてマイクロマシンセンターの役割を顧客・ユーザからの問い合わせの窓口に限定、メンバー企業に情報を流すことと、企業からの受託情報を受けることの2点に絞ることとなりました。これに合わせて問診表の表現を修正することとなりました。更にファンドリーサービス産業化委員会と連携しながら検討を重ね、目標として17年度からウエブサイトへの掲載を含め実施していく予定も申し合わされました。調査研究報告については、COMS2004（カナダ）ではMEMS活性化のための施策、連携、環境作りが真剣に討議されたこと、台湾・シンガポールでMEMS～ナノテクの領域に亘り公的研究機関と企業が半導体技術をベースとして積極的に開発・投資が推進されている状況の報告がなされた。 ９ 第2回普及広報事業委員会の開催 平成１６年度第２回普及広報事業委員会（委員長：オリンパス(株)舘岡斉氏）が１０月４日（月）に開催されました。 平成１６年度委員会活動の進捗状況及び事業内容の審議結果は以下のとおりです。 1)広報誌の編集・出版 ・和文広報誌：第４７号、第４８号出版済み（Ａ４版、８頁モノクロ）およびホーページへ記載・公開済み 。 ・英文広報誌：No.47、No.48（和文広報誌の英訳版）ホームページのみ記載・公開済み。 ・今年度の広報誌編集計画概略（第47号～第50号）について検討・承認。 今年度から新たにコラム随想として、MEMS，マイクロマシンに関する主要大学・機関のＴＬＯ情報等を記載する。 2)ホームページの維持・管理 ・記載内容の充実を図っている。 ＊ホームページ見て、当センターの会員になりたいと考えるような、分かり易く興味あるホームペー ジとするために、コンテンツの内容再検討を行う。特に当センターを理解するために必要な「調査研究 活動」について、当委員会で記載内容の検討を行う。 3)第15回マイクロマシン展の開催 １１月１０日～１２日に科学技術館（東京・北の丸公園）で開催する。併催の第10回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムは１１月１１日に開催する。 現時点（10/4）の出展状況：出展者数；２３１団体（３４７小間） 今回は科学技術館の２階フロアーの１部も使用し、大学関連の出展ブースとする。 次回第３回普及広報事業委員会は平成１7年２月２１日（月）15:00～17:30に開催する予定。 10 第10回マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催日せまる 第１０回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催日、１１月１１日（木）が、いよいよ迫ってまいりました。プログラムには優れた講演がギッシリと詰まっており、内外の第一線の研究者による１５講演により1日にしてMEMSの全貌を知ることができますので是非ご参加下さい。 ・自動車、情報、医療分野でキー技術に成長したMEMS技術の現状と展望 ・ユビキタス環境を作るワイヤレスネットワークシステムの無限の展開 ・内外で活発化する生物医学応用MEMSの開発 ・ナノへの微小化、複合集積化による高機能MEMSの開発 ・高コスト半導体製造技術からの脱却を目指すナノインプリント技術 ・産官学により材料・プロセス・知識のデータベース化に着手 （MEMS-OENプロジェクトの全貌とヨーロッパEU連合による取組み） ・拡大するMEMS市場 特に賛助会員の皆様のご参加をお待ちしております。準備の都合上１０月２９日（金）をもって受け 付けを締め切りますが、まだ席に余裕がある場合には当日の受付も行います。 11 第15回マイクロマシン展の開催日せまる 第１５回マイクロマシン展は１１月１０日（水）～１２日（金）の３日間、科学技術館において開催します。マイクロマシン・ナノテク技術が広く認められるに伴い、毎回出展希望企業・団体が増加し、今回は特に出展希望小間数が３４７小間（昨年度実績：３２３小間）と非常に多くなりました。このため会場の展示ホールを昨年の科学技術館１階全フロアーに加えて、２階の１部を大学関連展示ブースとして使用し開催します。 １０月４日現在の出展申込状況は、次のとおりです。 出展者数 小間数 出展者数 小間数 (財)マイクロマシンセンター １ ５ １ ５ ＭＭＣ賛助会員企業 １１ ３０ １１ ２７ 一般企業 １９１ ２８１ ２０３ ２６６ 一般企業（新聞・雑誌社） １０ １１ ７ ８ 独立行政法人 １ １ １ １ 大学（研究室） １５ １７ １４ １５ その他（団体等） ２ ２ １ １ 総 計 ２３１ ３４７ ２３８ ３２３ これからの活動は、次の通りです。 (1)ガイドブックの作成（10/末） 12 ＭＥＭＳ－ＯＮＥ関係委員会（ＮＥＤＯ調査）の動き (1)第4回ソフトウェア委員会の開催 第４回ソフトウェア委員会（委員長：オリンパス 三原孝士氏）が１０月８日（金）に開催されました。今回は、第２回委員会に引続き、機構解析シミュレータ、プロセス解析ツール、接合実装解析ソフトの機能仕様に関する検討が行われました。これらの機能仕様は、第２回委員会で得られたユーザからの要望と、その後に実施したヒアリング調査の結果を反映した仕様となっているため、概ね合意を得ることが出来ました。 また、本委員会が担当する６つの機能の開発状況が各開発責任者の方から報告され、全体としては実施計画通りに進行していることを確認できました。 次回は、フレームワークソフトと逆問題解析ソフトの機能仕様について、２回目の検討を実施する予定です。 Ⅲ 行政動向１ ２００４経済産業省の「研究開発プログラムの紹介」等 （産業技術環境局研究開発課） 情報入手：<http://www.meti.go.jp/policy/kenkyu_kaihatu/> Ⅳ イベント案内１ 当センター主催のイベント ・ 詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870 (1) 第１５回マイクロマシン展 開 催 日：平成１６年１１月１０日（水）～１２日（金） 開催場所：科学技術館（東京、北の丸公園） (2) 第１０回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催 開 催 日：平成１６年１１月１１日（木） 開催場所：科学技術館、サイエンスホール ２ その他のイベントのお知らせ ・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870 ・番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。 (1) Seeing at the Nanoscale Conference II 開 催 日： 2004年10月13日(水) ～ 15日(金) 開催場所： Grenoble, France 主 催： Minatec 情報入手： http://www.minatec.com/events/index.htm (2) 第21回｢センサ･マイクロマシンと応用システム｣シンポジウム (The 21st Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems) 開 催 日： 2004年10月14日(木) ～ 15日(金) 開催場所： 京都テルサ 主 催： 電気学会 センサ・マイクロマシン準部門 情報入手： http://www.iee.or.jp/smas/ (3) NanoMed 2004 - 4th International Workshop on Biomedical Applications of Nanotechnology 開 催 日： 2004年10月14日(木) ～ 15日(金) 開催場所： Berlin, Germany 主 催： Center for Biomedical Nanotechnology Berlin, etc. 情報入手： http://www.cc-nanochem.de/Aktuell.htm (4) 第１５回プラズマエレクトロニクス講習会 -「プラズマの基礎と応用最前線」 －ULSIからフォトニック，MEMS，ナノチューブ，プラズマイオン注入，環境まで－ 開 催 日： 2004年10月14日(木) ～ 15日(金) 開催場所： 慶応義塾大学 日吉キャンパス 来往舎 主 催： 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 情報入手： http://annex.jsap.or.jp/plasma/koshukai/index.htm (5) Transport Phenomena in Micro and Nanodevices 開 催 日： 2004年10月17日(日) ～ 21日(木) 開催場所： Hawaii, USA 主 催： Engineering Conferences International 情報入手： http://www.engconfintl.org./4at.html (6) European Micro and Nano Systems 2004 (EMN04) Advances & Applications for Micro & Nano Systems 開 催 日： 2004年10月20日(水) ～ 21日(木) 開催場所： ESIEE, Noisy le Grand, Paris, France 主 催： Tima, ASME, and etc. 情報入手： http://tima.imag.fr/conferences/EMN/ (7) EMN04: European Micro and Nano Systems 2004 開 催 日： 2004年10月20日(水) ～ 21日(木) 開催場所： Noisy le Grand, Paris, France 主 催： ASME, ASME Nanotechnology Institute 情報入手： http://www.asme.org/events/nanoeurope/ (8) 1st Conference on Advanced Nanotechnology: Research, Applications, and Policy 開 催 日： 2004年10月21日(木) ～ 24日(日) 開催場所： Washington D.C., USA 主 催： Foresight 情報入手： http://foresight.org/Conferences/AdvNano2004/index.html (9) IEEE SENSORS 2004 開 催 日： 2004年10月24日(日) ～ 27日(水) 開催場所： Vienna, Austria 主 催： IEEE 情報入手： http://www.ewh.ieee.org/tc/sensors/sensors2004/ (10) 第17回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議 (MNC2004) 開 催 日： 2004年10月26日(火) ～ 29日(金) 開催場所： ホテル阪急エキスポパーク, 大阪 主 催： 応用物理学会 情報入手： http://www.nano.ee.es.osaka-u.ac.jp/mnc/ (11) 機能性材料の３次元微細加工技術講演会 開 催 日： 2004年11月01日(月) 開催場所： 三会堂石垣記念ホール（東京都港区） 主 催： （財）先端加工機械技術振興協会 情報入手： http://www.amtda.or.jp/news.html (財)マイクロマシンセンター 協賛 (12) SEMI Nano Forum 2004 開 催 日： 2004年11月14日(日) ～ 17日(水) 開催場所： Austin, Texas, USA 主 催： SEMI 情報入手： http://wps2a.semi.org/wps/portal/_pagr/114/_pa.114/240 (13) International Symposium on Surface Science and Nanotechnology (ISSS-4) (表面科学とナノテクノロジ－に関する国際シンポジウム) 開 催 日： 2004年11月14日(日) ～ 17日(水) 開催場所： 大宮ソニックシティ,埼玉県さいたま市 主 催： 日本表面科学会 情報入手： http://wwwsoc.nii.ac.jp/jps/jps/bbs/isss4.html (14) 2004ナノカーボン国際シンポジウム長野 International Symposium on Nanocarbons 2004, Nagano 開 催 日： 2004年11月15日(月) ～ 19日(金) 開催場所： ホテルメトロポリタン長野（長野，長野市） 主 催： 2004ナノカーボン国際シンポジウム長野実行委員会 情報入手： http://endomoribu.shinshu-u.ac.jp/nanocarbons2004/ New (15) SEMICON Japan 2004 開 催 日： 2004年12月01日(水) ～ 03日(金) 開催場所： 幕張メッセ（千葉，海浜幕張） 主 催： SEMI 情報入手： http://wps2a.semi.org/wps/portal/_pagr/127/_pa.127/418 New (16) NNT'04 Conference: Nanoimprint and Nanoprint Technology 開 催 日： 2004年12月01日(水) ～ 03日(金) 開催場所： Vienna, Austria 主 催： AMO GmbH 情報入手： http://www.nntconf.org/index.php New (17) MEMS2005 - 18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems 開 催 日： 2005年01月30日(日) ～ 02月03日(木) 開催場所： Florida, USA 主 催： IEEE 情報入手： http://mems2005.org/ (18) HANNOVER MESSE ハノーバー・メッセ2005 『マイクロテクノロジー』 マイクロシステムズ及びナノ応用技術専門見本市 開 催 日： 2005年04月11日(月) ～ 15日(金) 開催場所： Hannover Messe(ハノーバ国際見本市会場）, Germany 主 催： Deutsche Messe AG 情報入手： http://www.hannovermesse.co.jp/ New (19) DTIP 2005 (Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS) 開 催 日： 2005年06月01日(水) ～ 03日(金) 開催場所： Montreux, Switzerland 主 催： Tima, IEEE, etc. 情報入手： http://tima.imag.fr/conferences/Dtip/Dtip2005/ New (20) Transducers’05 - the 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 開 催 日： 2005年06月05日(日) ～ 09日(木) 開催場所： Seoul, Korea 主 催： Korean Sensors Society 情報入手： http://www.transducers05.org （21) ロボティクス・メカトロニクス講演会2005 開 催 日： 2005年06月09日(木) ～ 11日(土) 開催場所： 神戸国際展示場 主 催： （社）日本機会学会 情報入手： http://www.rescuesystem.org/robomec2005/ (財)マイクロマシンセンター 協賛 (22) 第６回インテリジェント材料国際会議 The 6th International Conference on Intelligent Materials and Systems (ICIM ’05) 開 催 日： 2005年07月04日(月) ～ 06日(水) 開催場所： アルカディア市ヶ谷 主 催： （社）未踏科学技術協会 ｲﾝﾃﾘｼﾞｪﾝﾄ材料ｼｽﾃﾑﾌｫｰﾗﾑ 情報入手： http://www.sntt.or.jp/imf/ICIM'05/ICIM'05_Top.htm (財)マイクロマシンセンター 協賛 (23) メカトロテック・ジャパン2005 開 催 日： 2005年10月19日(水) ～ 22日(土) 開催場所： ポートメッセ名古屋 主 催： 名古屋国際見本市委員会 情報入手： (財)マイクロマシンセンター 協賛 (24) 2nd International Symposium on Nanomanufacturing 開 催 日： 2005年11月03日(木) ～ 05日(土) 開催場所： Daejeon, Korea 主 催： Nano Research Institute, Korea Institute of Machinery & Materials, BK 21 Institute of Mechanical Engineering 情報入手： http://isnm2004.kaist.ac.kr/ New (25) SPIE International Symposium Smart Materials, Nano-, and Micro-Smart Systems 開 催 日： 2005年12月12日(月) ～ 15日(木) 開催場所： Sydney, Australia 主 催： SPIE 情報入手： http://spie.org/conferences/calls/04/au/ Ⅴ その他会員への情報１ マイクロマシンセンターの人事異動 平成１６年９月３０日付 新 旧 戸口 洋一 退 職 調査研究部 第2研究開発課長 平成１６年１０月１日付 新 旧 小池 智之 調査研究部次長 採 用 調査研究部第2研究開発課長併任 MEMSｼｽﾃﾑ開発ｾﾝﾀｰ主任研究員併任 青柳 桂一 調査研究部長併任解除 専務理事 調査研究部主任研究員併任 （兼）調査研究部長 廣部 嘉道 調査研究部長 調査研究部次長 井上 正巳 調査研究部標準課長併任 国際交流部長 |
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