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| 目 次 | ||
Ⅰ 国内外トピックス１ ＯＰＴＩＣＡＬ ＭＥＭＳ２００４報告２ ＣＯＭＳ２００４報告 ３ 新聞記事 Ⅱ マイクロマシンセンターの動き１ 第１回ＭＥＭＳの信頼性評価技術に関する調査研究委員会（日機連調査）の開催２ 第１回マイクロ・ナノシステムデバイスに関する委員会（シス協調査）の開催 ３ ＭＥＭＳ－ＯＮＥ関係委員会の動き (1)第１回知的財産権委員会の開催 (2)第１回普及活動検討委員会の開催 (3)第３回ソフトウェア委員会の開催 (4)第２回プロジェクト推進委員会の開催 (5)第２回知識ＤＢおよび第２回材料・プロセスＤＢ合同委員会の開催 Ⅲ 行政動向１ 平成17年度経済産業省の概算要求等についてⅣ 外部団体情報１ ＮＥＤＯロードマップ委員会の発足Ⅴ イベント案内１ 当センター主催のイベント２ その他のイベントのお知らせ Ⅵ その他会員への情報１ ＮＥＤＯ情報・システム部ナノテク海外情報 |
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| 本 文 | ||
Ⅰ 国内外トピックス１ ＯＰＴＩＣＡＬ ＭＥＭＳ２００４報告 OPTICAL MEMSは光マイクロシステムと技術に関するカンファレンスで、光エレクトロニクとMEMSの国際的交流を目的として開催されている学会である。本年はOPTICAL MEMS 2004として、８月２２日から２６日まで、日本の高松（サンポート国際会議ホール）で開催されました。 OPENING REMARKSによれば論文投稿数は９５件であり、採択は９２件。国別でみると内訳は日本４０％、アメリカ１５％、台湾１２％、韓国１１％であった。また内容別でみると、テレコム関係が１５％、ファブリケーションが１４％、センサーが１０％、スキャナーが１０％であった。参加者は事前申し込みだけで１６７名であり、当日登録も含めると約２００名の参加者がありました。 全体に企業研究者からの発表が少なく、光通信などに代表される産業化、応用面での研究開発への発展が若干立ち遅れている傾向を感じました。その反面、質的な研究レベルの向上がみられ、今後の製品化やアプリへの適応のための技術の基盤作り、新たな技術の仕込みがなされていると感じました。MEMSの観点からは、ガラス、ポリマーなどのSi以外の材料が光MEMSだけでなく、化学、流体、バイオMEMSなどにも展開していく様々な要素技術があり、今後も広い視野で注目していきたいと思います。 ２ ＣＯＭＳ２００４報告 MEMS産業化の活性化を狙いにしてその課題を討議する『9th International Conference on the Commercialization of Micro and Nano Systems』が８月２９日から９月２日までMANCEF主催で、カナダ アルバータ州 エドモントン市において開催されました。 このコンファランスでは、産業界全体課題、事業化、ナノテクノロジーへの投資戦略、マーケッテイング戦略、技術動向・トピックス、技術移転、ファンドリー、連携、普及、教育等広範な課題について連日真剣に討議されました。発表件数は約１００件、内訳は行政側から３件、大学・研究機関から３２件、企業から４６件、各種団体から１５件でありました。出席者はおおよそ３００名～４００名で日本からは１０名弱の参加がありました。 全体と通して得た印象は、本コンフェレンスがMEMS／ナノテク産業活性化に向け、技術・資金・教育面での連携や諸制度等ソフトの仕組みづくりの議論の場であり、これはハノーバーメッセのMST／ナノテク技術見本市での個別企業・技術のアッピールの場とは大きく異なるということで、MEMSに取り組んでいる企業の中でTI、Intel、HP等の大企業はこの場にでてきていませんでした。市場、資金にしても自社製品、自社調達できる大企業はVBが連携せざるを得ない状況とは大きく状況が異なることを示している。 注目される発表として、カナダ政府国家科学アドバイザーからのナノテクへの投資、米国DARPA MEMSプログラム責任者からのMEMS技術展開、オランダPhilips社上級副社長からの事業展開、教育関係者からのMEMS技術者育成プログラムが報告された。今回の調査を基にマイクロマシンセンターでの今後の調査研究活動やイベント等の改善工夫に役立てていきたいと考える。 ３ 新聞記事 ８月１６日 日経産業新聞 超早期がん、直径２ミリ検出可能に：オリンパス、内視鏡開発へ オリンパスは直径２ミリメートルの超早期がんの診断も可能な内視鏡の開発に乗り出す。開発するのは、光を当てた後に、コラーゲンなどの生体組織が出すわずかな蛍光でがんを検出する内視鏡。内視鏡のカメラ前部に光フィルターを取り付け、波長ごとに詳しく調べることで、分子レベルで組織の状態を調べられるようにする。食道や大腸、胃のがんを診断するための装置として３年後をメドに開発する。NEDOの助成を受けて実施する。 ８月１８日 日経産業新聞、電波新聞 ３軸センサーモジュール：厚さ１.４ミリ、世界最薄；沖電気 沖電気工業は１０月から世界最薄の小型三軸センサーモジュール「ML8950」のサンプル出荷を始める。携帯電話機や携帯音楽プレーヤーで加速度や傾きを計測するセンサーの需要が高まっていることに対応する。MEMS技術を使って三軸センサーと制御ICを縦横5ミリ、厚さ1.4ミリのチップに収めた。薄いシリコンの梁で支えられたおもりの移動によってシリコンの抵抗値が変化するピエゾ抵抗効果を測定して、三次元空間での加速度や傾き、振動を検出する。 ８月１９日 日経産業新聞、日刊工業新聞 自立飛行型ロボ：世界最小・最軽量で電子部品満載；セイコーエプソン セイコーエプソンは１８日、世界最小・最軽量の自立飛行型ロボット「μFR－Ⅱ」を開発したと発表した。ブルートゥースを使った無線伝送により、上空から撮影した画像を地上に送ることとができるなど、最先端の電子部品を満載した飛行ロボットとなる。大きさは直径13.6センチ、高さ8.5センチ。重さは12.3グラム。ラジコンのように人が沿革操作するだけでなく、あらかじめコンピューターに入力しておいた飛行経路に沿って自立飛行できるのが特徴。飛行時間がまだ３分と短く、今後改良を進める。セイコーエプソンが開発した世界最小のジャイロセンサー（体積：約２０立方ミリメートル）を搭載した。 ８月２０日 日経産業新聞 光スイッチ、超小型で省電力：フォトニック結晶使う；ＮＥＣ ＮＥＣは光信号の進路を切り替える超小型光スイッチを開発した。光を制御できる「フォトニック結晶」という光学材料を使って実現した。光スイッチは市販のシリコン基板上に作成した。シリコンの細線で作った光の通り道を二本置き、それぞれにフォトニック結晶を組み込んだ。片方の結晶だけヒーターで温度差を付けると、フォトニック結晶内の光の屈折率が変化する。この原理を応用して光の進路を切り替える。１個の大きさは縦80マイクロメートル、横50マイクロメートル程度。消費電力は10ミリ～15ミリワットまで下げられる見通しだ。 ８月２３日 日刊工業新聞 マイクロ流体チップ、低コスト・小型化実現：マイクロポンプ内蔵；東大発ＶＢ通じ実用化、新潟大 新潟大学工学部の長谷川富市教授は、小型で低コストなマイクロポンプ内蔵型マイクロ流体チップを開発し、東京大学発ベンチャーのフルイドウェアテクノロジーズを通じて実用化する。価格は３万～５万円になる見通しで、既存製品に比べて大幅な低価格化を実現する。長谷川教授は流路を多孔質膜で仕切り、それを電極で挟むだけの簡単な構造のマイクロポンプを開発し、このポンプを内蔵したマイクロチップを完成させた。NEDOが04年度の大学発事業創出実用化研究開発事業に採択し、300万円を助成することを決定。 ８月２４日 日経産業新聞 電気信号を光信号に：変換素子、１／６に小型化；ＮＥＣ・産総研、基板上に形成 ＮＥＣと産業技術総合研究所は電気信号を光信号に変える光電変換素子を１／６に小型化し、半導体基板上に作り込める新技術を開発した。研究チームは電圧を加えると光の屈折率が変わる強誘電体セラミックス「PZT」を使い、基本素子を試作した。原料のセラミックス粒子を高速で基板にぶつけると、結晶の粒が非常に小さな薄膜ができ、この薄膜で電気を光に変換する。産総研が独自に開発した薄膜形成技術を応用。光信号だけで情報処理する光ICなどをこの素子で結べば、高速の光配線を容易に作れるようになる。 ８月３０日 日経産業新聞 超音波で血管立体解析：体の負担少なく；東芝メディカル、富士写真光機 東芝メディカルシステムズと富士写真光機は共同で、血管の構造を立体的に解析できる装置を開発した。体の外から超音波を当てる体外用プローブと呼ぶ装置と、血管内の形を解析しながら超音波で位置を知らせる細経プローブと呼ぶ装置を組み合わせて、新システムを開発した。超音波を使ったシステムで、血管の曲がり具合や内部構造がわかる。動脈りゅうなどの血管の病気の診断と治療方針の選択に役立つ。 ８月３１日 日経産業新聞 人工筋肉、ＡＴＰ使い伸縮：灯台、ＤＤＳに利用見込む 東京大学の吉田亮助助教授らは、人間の筋肉と同様にアデノシン三リン酸（ATP）などをエネルギー源にして伸縮する人工筋肉を開発した。直径0.2ミリほどの高分子材料で、ゆっくりと膨張と収縮を繰り返した。体内のATPを利用して自動的に動くマイクロマシンなどに応用が期待できる。また、体内で一定時間後に微小容器から薬を押し出す微小ポンプに使えば、必要な時に必要な薬を投与するDDSに利用できる見通しだ。 ９月９日 電波新聞 通信システム向け、マイクロマシン開発へ：軍事・国土保全用に使用；米ルーセントが国防総省と協力 米ルーセント・テクノロジーは７日、米国防総省と協力して通信システム向けのMEMSシステムを開発すると発表した。同MEMSシステムは主に軍事用や国土保全用に使用されるものとみられる。国防総省の高等研究計画局（DARPA）との契約期間は４年、受注額は950万ドル。DARPAは次世代の半導体ICをより高速に、しかも経済的に設計、製造する最先端のMEMSシステムを開発する。ルーセントはマスク不要のオプティカル・リソグラフィーを可能にするMEMS搭載の空間光変調器（SLM）を設計、開発する。 Ⅱ マイクロマシンセンターの動き１ 第１回ＭＥＭＳの信頼性評価技術に関する調査研究委員会（日機連）の開催 第１回 ＭＥＭＳの信頼性評価技術に関する調査研究委員会（委員長 石川雄一 独立行政法人産業技術総合研究所）が８月２５日（水）に開催されました。本委員会は企業10社と大学・研究機関等５機関で構成されています。本委員会は、MEMSが実用化段階に入ったことから、性能や機能の高さのみならず、高い信頼性を伴ってこそ産業競争力の強化や、国内の製造技術の再生につながるものと考えられるので、MEMSの信頼性向上に関する現状と課題、およびMEMS産業化推進のための方策などを調査検討することとしています。 今回は、そのための第１歩として、これまでのMEMS信頼性関連の文献を基に、信頼性評価技術に関するデータベース作りと、標準化に向けたロードマップ作成を目標として取り組むことで合意されました。 ２ 第１回マイクロ・ナノシステムデバイスに関する委員会（シス協調査）の開催 次世代マイクロマシン、次世代MEMSに向けた我が国の研究開発の方向性を見出し、ナショナルプロジェクトへの提言を行うことを目的とした、｢マイクロ・ナノシステムデバイスに係る加工組立・計測評価・ハンドリング技術に関する調査研究委員会｣（委員長：東京大学 下山勲教授）の第１回委員会が9月1日（水）に開催されました。 第１回では、国内のマイクロ・ナノ技術領域で活躍する企業や、大学の研究者のニーズやシーズを基に、有識者のご意見も伺いながら全体の方向性を絞っていく下地となる議論ができました。 今後さらにありたい姿、あるべき姿を産業や技術の側面から調査検討し、日本の強みをさらに発展できる政策提言につなげていきたいと考えています。 ３ ＭＥＭＳ－ＯＮＥ関係委員会の動き (1)第１回知的財産権委員会の開催 第１回知的財産権委員会（委員長：日本ユニシス 前田幸久氏）が８月２３日（月）に開催されました。本委員会は、大学、産業技術総合研究所および参加企業９社より選出された委員１１名とオブザーバ２名で構成されています。 第1回の主な議題は、MEMS-ONEにおける知財権の取り扱い原則の確認と、今後の委員会活動内容および日程についてでした。 議論の結果、参加ソフト会社における知財権の調査、知財権や守秘義務に関する共同覚書の作成が、当面のテーマとなりました。 (2)第１回普及活動検討委員会の開催 第1回普及活動検討委員会（委員長：富士総研 佐藤淳史氏）が８月２３日（月）に、第１回知的財産権委員会に引き続いて開催されました。本委員会は、普及活動ノウハウを有する大学および産業技術総合研究所、参加ソフト会社を主体として選出された委員９名と、オブザーバ５名で構成されています。 第1回の議題は、本委員会の目的と活動内容および今後の概要日程についてでした。議事の１つである委員会の目的については合意され、活動内容については色々な意見が交わされましたが、当面のターゲットとして、マイクロマシン展への展示とアンケートによるニーズ・要望調査を実施し、その準備をすることになりました。 (3)第３回ソフトウェア委員会の開催 第３回ソフトウェア委員会（委員長：オリンパス 三原孝士氏）が8月３０日（月）に開催されました。 本委員会の役割の一つは、機能仕様にユーザの意見を十分に反映して、プロジェクトの目的であるMEMS技術者が容易に利用できるシステムの開発支援をすることです。この目的の第２弾として今回は、フレームワークソフトおよび逆問題解析ソフトの機能仕様に関して、ユーザとの意見交換を行いました。前回同様、今回得られた多くの要望や意見の機能仕様への反映を検討しつつ機能の絞込みを行っていきます。 役割の二つ目は、本委員会が担当する６機能のプロジェクト管理です。プロジェクト推進委員会への報告を睨み、各開発担当者から開発状況について報告がありました。 (4)第２回プロジェクト推進委員会の開催 第２回プロジェクト推進委員会（委員長：東京大学 藤田博之教授）が８月３１日（火）に開催されました。今回は開始２ヶ月目のプロジェクト進捗状況について、報告および質疑応答が行われました。報告はプロジェクト全体が俯瞰できる報告シートを作成し、この報告シートに基づいて、各機能の開発責任者の方から開発状況報告が、また各委員長からは委員会の活動報告がなされました。今年度は設計が主体ですが、プロジェクト全体としては、概ね計画通りに進行しています。 次回の開催は、２ヶ月後の11月1日(月)に予定されています。 (5)第２回知識ＤＢおよび第２回材料・プロセスＤＢ合同委員会の開催 第２回知識DB委員会（委員長：京都大学 小寺秀俊教授）と第２回材料・プロセスDB委員会（委員長：産総研 前田龍太郎氏）の合同委員会が９月１０日（金）に、茨城県つくば市の産業技術総合研究所第一会議室において開催されました。今回は産業技術総合研究所内の研究施設の見学がメニューにあった事もあり、参加者は44名となりました。 議事内容は、知識DBのデータ構造・データ登録に関する検討と、材料・プロセスに関するデータ項目のマップ作成でした。議事の中間部でMEMS材料の試験、データ計測等の設備を見学させていただきました。次回も合同会議を開催することになりました。 Ⅲ 行政動向１ 平成17年度経済産業省の概算要求等について（8/26METI HP発表） 経済産業省は、平成17年度の予算要求・税制改正意見等をまとめ、８月２６日に公表しました。公表された資料には、「平成17年度経済産業政策の重点施策」や「平成17年度産業技術関連予算要求の重点」等が掲載されています。（情報入手：http://www.meti.go.jp/） Ⅳ 外部団体情報１ ＮＥＤＯロードマップ委員会の発足 「MEMS分野の技術戦略マップ作成タスクフォース委員会」（NEDO技術開発機構）の第１回委員会（委員長 前田龍太郎 独立行政法人産業技術総合研究所）が９月13日（水）に開催されました。本委員会は、MEMS分野における日本産業力強化の長期的視点から、応用イメージを想定しながら社会ニーズへの対応、取り組むべき技術課題を明確にして技術マップ、ロードマップを策定することがミッションの委員会です。平成１７年２月策定を目標に進められますが、マイクロマシンセンターも本委員会に参画し、次世代ナショナルプロジェクト提案との連携を図りながら貢献する所存です。 Ⅴ イベント案内１ 当センター主催のイベント ・ 詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870 (1) 第１５回マイクロマシン展 開 催 日：平成１６年１１月１０日（水）～１２日（金） 開催場所：科学技術館（東京、北の丸公園） (2) 第１０回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催 開 催 日：平成１６年１１月１１日（木） 開催場所：科学技術館、サイエンスホール ２ その他のイベントのお知らせ ・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870 ・番号上にNewの表示のあるイベントは、今回新規掲載分。 (1) μTAS2004 (The 8th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences) 開 催 日： 2004年09月26日(日) ～ 30日(木) 開催場所： Malmo, Sweden 情報入手： http://www.microtas2004.lu.se/ (2) 日経ナノテク・ビジネスフェア2004 Nikkei Nanotech Business Fair 2004 開 催 日： 2004年09月29日(水) ～ 10月01日(金) 開催場所： 東京国際展示場「東京ビッグサイト」西2ホール 主 催： 日本経済新聞社 情報入手： http://www.nikkei-nanofair.com/ New (3) 第３回「産総研 生命情報科学人材養成コース」シンポジウム - 未来を拓くバイオインフォマティクス 開催 日： 2004年10月01日(金) 開催場所： みらいＣＡＮホール 主 催： （独）産業技術総合研究所 情報入手： http://www.cbrc.jp/training/ (4) 第4回先端メカトロニクス国際会議（ICAM'04） 開 催 日： 2004年10月03日(日) ～ 05日(火) 開催場所： 旭川グランドホテル（旭川市） 主 催： 日本機械学会 情報入手： http://www.jsme.or.jp/0410030c.htm (5) 第6回国際シンポジウム「ロボットとの共存」 - Living with Robots - Symbiosis of Robots and Human Being - 開 催 日： 2004年10月04日(月) ～ 05日(火) 開催場所： 東京、一橋記念講堂 主 催： （社）日本工学アカデミー 情報入手： http://www.eaj.or.jp (財)マイクロマシンセンター 協賛 (6) ICALEO 2004: International Congress on Applications of Lasers and Electro-Optics 開 催 日： 2004年10月04日(月) ～ 07日(木) 開催場所： San Francisco, CA USA 主 催： Laser Institute of America 情報入手： http://www.icaleo.org/ (7) Photonex 2004 開 催 日： 2004年10月06日(水) ～ 07日(木) 開催場所： Coventry, UK 主 催： SPIE 情報入手： http://www.photonex.org/ (8) Seeing at the Nanoscale Conference II 開 催 日： 2004年10月13日(水) ～ 15日(金) 開催場所： Grenoble, France 主 催： Minatec 情報入手： http://www.minatec.com/events/index.htm (9) 第21回｢センサ･マイクロマシンと応用システム｣シンポジウム (The 21st Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems) 開 催 日： 2004年10月14日(木) ～ 15日(金) 開催場所： 京都テルサ 主 催： 電気学会 センサ・マイクロマシン準部門 情報入手： http://www.iee.or.jp/smas/ (10) NanoMed 2004 - 4th International Workshop on Biomedical Applications of Nanotechnology 開 催 日： 2004年10月14日(木) ～ 15日(金) 開催場所： Berlin, Germany 主 催： Center for Biomedical Nanotechnology Berlin, etc. 情報入手： http://www.cc-nanochem.de/Aktuell.htm New (11) 第１５回プラズマエレクトロニクス講習会 -「プラズマの基礎と応用最前線」 －ULSIからフォトニック，MEMS，ナノチューブ，プラズマイオン注入，環境まで－ 開 催 日： 2004年10月14日(木) ～ 15日(金) 開催場所： 慶応義塾大学 日吉キャンパス 来往舎 主 催： 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 情報入手： http://annex.jsap.or.jp/plasma/koshukai/index.htm (12) Transport Phenomena in Micro and Nanodevices 開 催 日： 2004年10月17日(日) ～ 21日(木) 開催場所： Hawaii, USA 主 催： Engineering Conferences International 情報入手： http://www.engconfintl.org./4at.html (13) European Micro and Nano Systems 2004 (EMN04) Advances & Applications for Micro & Nano Systems 開 催 日： 2004年10月20日(水) ～ 21日(木) 開催場所： ESIEE, Noisy le Grand, Paris, France 主 催： Tima, ASME, and etc. 情報入手： http://tima.imag.fr/conferences/EMN/ (14) EMN04: European Micro and Nano Systems 2004 開 催 日： 2004年10月20日(水) ～ 21日(木) 開催場所： Noisy le Grand, Paris, France 主 催： ASME, ASME Nanotechnology Institute 情報入手： http://www.asme.org/events/nanoeurope/ (15) 1st Conference on Advanced Nanotechnology: Research, Applications, and Policy 開 催 日： 2004年10月21日(木) ～ 24日(日) 開催場所： Washington D.C., USA 主 催： Foresight 情報入手： http://foresight.org/Conferences/AdvNano2004/index.html (16) IEEE SENSORS 2004 開 催 日： 2004年10月24日(日) ～ 27日(水) 開催場所： Vienna, Austria 主 催： IEEE 情報入手： http://www.ewh.ieee.org/tc/sensors/sensors2004/ (17) 第17回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議 (MNC2004) 開 催 日： 2004年10月26日(火) ～ 29日(金) 開催場所： ホテル阪急エキスポパーク, 大阪 主 催： 応用物理学会 情報入手： http://www.nano.ee.es.osaka-u.ac.jp/mnc/ New (18) 機能性材料の３次元微細加工技術講演会 開 催 日： 2004年11月01日(月) 開催場所： 三会堂石垣記念ホール（東京都港区） 主 催： （財）先端加工機械技術振興協会 情報入手： http://www.amtda.or.jp/news.html (財)マイクロマシンセンター 協賛 New (19) International Symposium on Surface Science and Nanotechnology (ISSS-4) (表面科学とナノテクノロジ－に関する国際シンポジウム) 開 催 日： 2004年11月14日(日) ～ 17日(水) 開催場所： 大宮ソニックシティ,埼玉県さいたま市 主 催： 日本表面科学会 情報入手： http://wwwsoc.nii.ac.jp/jps/jps/bbs/isss4.html New (20) SEMI Nano Forum 2004 開 催 日： 2004年11月14日(日) ～ 17日(水) 開催場所： Austin, Texas, USA 主 催： SEMI 情報入手： http://wps2a.semi.org/wps/portal/_pagr/114/_pa.114/240 New (21) 2004ナノカーボン国際シンポジウム長野 International Symposium on Nanocarbons 2004, Nagano 開 催 日： 2004年11月15日(月) ～ 19日(金) 開催場所： ホテルメトロポリタン長野（長野，長野市） 主 催： 2004ナノカーボン国際シンポジウム長野実行委員会 情報入手： http://endomoribu.shinshu-u.ac.jp/nanocarbons2004/ (22) HANNOVER MESSE ハノーバー・メッセ2005 『マイクロテクノロジー』 マイクロシステムズ及びナノ応用技術専門見本市 開 催 日： 2005年04月11日(月) ～ 15日(金) 開催場所： Hannover Messe(ハノーバ国際見本市会場）, Germany 主 催： Deutsche Messe AG 情報入手： http://www.hannovermesse.co.jp/ New (23) ロボティクス・メカトロニクス講演会2005 開 催 日： 2005年06月09日(木) ～ 11日(土) 開催場所： 神戸国際展示場 主 催： （社）日本機会学会 情報入手： http://www.rescuesystem.org/robomec2005/ (財)マイクロマシンセンター 協賛 New (24) 第６回インテリジェント材料国際会議 The 6th International Conference on Intelligent Materials and Systems (ICIM ’05) 開 催 日： 2005年07月04日(月) ～ 06日(水) 開催場所： アルカディア市ヶ谷 主 催： （社）未踏科学技術協会 ｲﾝﾃﾘｼﾞｪﾝﾄ材料ｼｽﾃﾑﾌｫｰﾗﾑ 情報入手： http://www.sntt.or.jp/imf/ICIM'05/ICIM'05_Top.htm (財)マイクロマシンセンター 協賛 New (25) メカトロテック・ジャパン2005 開 催 日： 2005年10月19日(水) ～ 22日(土) 開催場所： ポートメッセ名古屋 主 催： 名古屋国際見本市委員会 (財)マイクロマシンセンター 協賛 New (26) 2nd International Symposium on Nanomanufacturing 開 催 日： 2005年11月03日(木) ～ 05日(土) 開催場所： Daejeon, Korea 主 催： Nano Research Institute, Korea Institute of Machinery & Materials, BK 21 Institute of Mechanical Engineering 情報入手： http://isnm2004.kaist.ac.kr/ Ⅵ その他会員への情報 |
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