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| 目 次 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Ⅰ 国内外トピックス１ ２００４ＭＥＭＳ報告２ 新聞記事 Ⅱ マイクロマシンセンターの動き１ 第５回MEMS関連市場の現状と日本の競争力分析に関する委員会の開催２ 第２回標準化調査研究委員会（マイクロ・ナノ材料の疲労試験に関する標準化 調査研究）の開催 ３ 第２回ＭＥＭＳファンドリーサービス講習会の開催 ４ マイクロ化学技術審議委員会の開催 ５ 第４回専門用語部会（標準化委員会）の開催 ６ WITT教授のアンケート調査説明会の開催 ７ 平成１６年度新規プロジェクト「ＭＥＭＳ用設計・解析支援システム開発 プロジェクト」に関する検討状況 ８ 平成１６年ロボット三団体賀詞交歓会の開催 Ⅲ 行政動向１ 平成１６年度政府予算案における科学技術関係予算（分野毎）Ⅳ イベント案内１ 当センター主催のイベント２ その他のイベントのお知らせ |
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| 本 文 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Ⅰ 国内外トピックス１ ＭＥＭＳ２００４報告 MEMS2004（IEEE The 17th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems）が、１月２５日（日）～２９日（木）にオランダ、マーストリヒト市の展示コンファレンスセンター（ＭＥＣＣ）で開催されまし。ここ数年の参加者は、当日受付も含めると６００名以上という活況を呈しており、事前登録者ベースで５４６名と、昨年の５１３名を越えていました。欧州開催ということもあり、そのうち２４７名がヨーロッパ、北米が１１８名、環太平洋が１７８名という内訳であり、国際学会としてバランスの良い参加割合となったように思われました。 発表件数は、招待講演３件（昨年に同じ）、口頭発表４１件（昨年２２件）、ポスター発表１７３件（昨年１５１件）の計２１７件（昨年１７６件）でした。MEMS研究開発の隆盛により年々投稿論文数が増加（昨年の５００件に対して、今回は６２９件で２０%増加）する中、今回も口頭発表はシングルセッション形式であったため、昨年のような午前中のみの発表ではこなしきれず、終日となる日程も盛り込まれました。またポスター発表の件数も増加し、多くなったポスターセッションへの配慮のため、展示レイアウトや、日を分けての口頭での説明を伴う形式に運営上の工夫がみられたものの、様々な興味を持つ参加者に対し、多くのポスターが同時に掲示されているなかで、特定のポスター発表のみをサイクリックに回し、それに注目させていくことはやはり難しく、実際は集客のあるたびに不定期に説明者がＱ＆Ａ的に対応している従来の姿がみられました。 国別の発表件数では、米国の８０件が最も多く、次が日本の４８件であり、今回は欧州開催ということもあり３位はスイスの１４件、続いて韓国１３件、ドイツ、台湾が１１件という状況でした。また、分野別に見ると、流体関係（Bio & Chemical Microsystems）の発表件数が多く、その他は、製造やパッケージング、メカ・フィジカルなどが目立っていました。 開会後の最初の招待講演では、MMC主催のシンポジウムでも講演頂いたニューシャテル大学マイクロテクノロジー研究所のNico de Rooij教授が「MEMS for WATCHES」のタイトルで、Ｓｉ歯車や位置センサの事例で時計に対するＭＥＭＳの付加価値を紹介し、従来技術とＭＥＭＳの融合による新たな価値創造の可能性に大きな賛同を得ていました。２７日の招待講演では九州大学の都甲教授が｢Measurement of Taste and Smell using Biomimetic Sensor｣のタイトルで発表を行い、研究成果の今後への期待に、会場から大きな拍手を受けました。 最近関心の高まる自己組織化については京都大学田畑教授がSessionChairmanを務められた最初のSessionとして取り上げられており、Session2のCell and Particle Handlingとあわせて、これからの研究の方向性を感じさせるものでした。Session4のBio Medical Deviceでは、東京大学の竹内助教授が1st speakerとして｢Parylene Flexible Neural Probe with Micro Fluidic Channel｣の発表を行うなど、ナノテクノロジーと融合したNEMSや応用面の幅広い展開に今後が期待されるという全体の流れを感じました。Session6のNano Electro Mechanical Systemsでは、NTT物性科学基礎研究所から3Dの微細な電子ビームリソグラフィー技術が紹介され、その技術で描かれた直径60μmの世界最小の地球儀上での数秒間での世界一周デモが、会場から喝采を受けていました。 一方ＲＦ技術への応用状況に関しては、MEMSで構成された発振器やスイッチが研究開発段階での十分な性能を発揮しており、本格的実用化に向けて一層の進展が感じられました。 今回の発表は、MEMSの実用化と、これからの可能性をともに訴求する良いバランスがとられているように感じました。 ２ 新聞記事 １月１３日 日経産業新聞 ぶどう糖濃度に応じ開閉：インスリン自動投与に道；東大、微細チップ用バルブ開発 東京大学の吉田亮・助教授らは、化学物質の微量分析や薬剤投与などへの応用が期待される微細チップ向けバルブを開発した。チップ上の薬剤の通路を開け閉めするもので、光を当てるだけで作れる。微細チップはガラス基板に溝を掘り、薬剤や化学物質の通り道を作る。この通路にバルブの原料を置き、紫外線を当てて作る。高分子材料で、温度やぶどう糖濃度に応じて膨らんだり縮む性質があるため、通路の開閉が可能となる。体内の血糖値の濃度が上昇するとインスリンを放出するチップなども作れる。 １月１５日 日経産業新聞 光スイッチ・LSI一体化：NTT微細加工で１／１０に NTTは光信号を光のまま制御する光スイッチのワンチップ化に成功した。微細加工技術を駆使し、制御用の大規模集積回路（LSI）を一体化した。従来の１／１０に小型化でき、大都市間を結ぶ基幹光通信網の経路選択装置（光ルーター）の心臓部品の実現にメドがついた。NTTは今後、光スイッチの低コスト製造技術の開発と信頼性評価に入り、５年以内の実用化を目指す。開発した光スイッチの大きさは３センチ角で、厚さ５ミリ。直径６００マイクロメートルの微小な鏡が１００個組み込まれている。電圧の強弱で鏡の角度を制御、鏡の角度に応じて光信号の行き先を自在に変更することができる。 １月２７日 日本経済新聞、日経産業新聞、日刊工業新聞 世界最薄レンズユニット：携帯電話向けカメラ部品；オリンパス参入 オリンパスは２６日、携帯電話向けカメラ部品事業に参入すると発表した。高機能プリズムを使い、厚さが8.5ミリと世界最薄のレンズユニットを開発、これを高画素の画像センサーと一体化したカメラモジュール（複合部品）を今秋から量産する。開発したレンズユニットはプリズムの外側の面を曲面加工してレンズと一体化した「自由曲面プリズム」と呼ぶ光学部品を二つ使う。１３０万画素以上と高画素タイプのカメラ付き携帯向けで、最大で３００万画素程度まで対応できるという。 １月３０日 日刊工業新聞 マイクロ波利用しプラズマ発生：シリコン酸化膜のエッチングプロセスで新技術；名古屋大、従来の１０倍以上の高速加工 名古屋大学の堀勝助教授、後藤俊夫教授らは、電子レンジで使っているマイクロ波を利用して、大気圧下で高密度のプラズマを発生させることに成功。エッチングに利用すると、従来の１０倍以上の高速加工が可能になった。加工効率の向上に加え、生体材料などへの照射も可能な応用範囲の広さが特徴だ。マイクロマシン、バイオテクノロジーなどの分野では数マイクロメートル以上という厚みのあるシリコン酸化膜のエッチングが増えている。堀教授らが開発したのは「マイクロ波励起火平衡大気圧プラズマ」によるシリコン酸化膜の超高速加工だ。マイクロ波に３フッ化窒素などのガスを添加する独自の方法。 ２月３日 日本経済新聞、日経産業新聞、日刊工業新聞 ナノテクで地球儀：髪の毛の太さより小さく；NTTが作製 NTTは２日、立体加工できる新しいナノテクノロジーを使い、髪の毛の太さより小さい世界最小の地球儀を作ったと発表した。直径６／１００ミリメートルの球形の樹脂にナノメートルサイズの陸地や河川の地図を彫り込んだ。今回のナノ加工技術は半導体開発にも使われる「電子ビームリソグラフィー装置」を改良した。NTTは加工する樹脂を回転させながら電子ビームを当てる装置を開発、曲面にも精密な世界地図が描けるようにした。加工精度は１０～３０ナノメートル。新型加工装置を使い、光回路や半導体回路を立体的に組み合わせた高機能通信デバイスを試作する考えだ。 Ⅱ マイクロマシンセンターの動き１ 第5回MEMS関連市場の現状と日本の競争力分析に関する委員会の開催 産業研究所からの委託によるＭＥＭＳ関連市場の現状と日本の競争力分析に関する調査研究の第５回委員会（委員長：東京大学 下山勲教授）が１月１４日（水）に開催されました。 今回は、報告書（案）の内容を審議しました。市場調査については、セキュリティ市場、携帯市場の漏れがあり、この追加を行って、２００２年で４０００億円強の市場となる見通しです。一部事項について継続審議し、２月末までに報告書を完成させる予定です。 ２ 第２回標準化調査研究委員会（ﾏｲｸﾛ・ﾅﾉ材料の疲労試験に関する標準化調査研究）の開催 平成１５年度経済産業省委託事業「エネルギー利用合理化システム標準化調査事業（マイクロ・ナノ材料の疲労試験に関する標準化）に関する掲題の委員会を１月１６日（金）に開催しました。本委員会は疲労試験の実施を主たる目的とする委員会（委員長：肥後 矢吉 東京工業大学 教授）で、これまで実施してきた薄膜材料の疲労試験に関する調査研究の実施状況をフォローするとともに、薄膜材料の疲労試験に関する国際規格提案などについて議論しました。 規格の提案については、現規格の項目の中から薄膜材料であることから変更が必要な項目を調査し、数値的な変更ついては疲労試験の進捗に併せてこれを行う事になった。 次回は３月５日（金）に、標準化推進委員会と合同にて開催する事を予定している。 ３ 第２回ＭＥＭＳファンドリーサービス講習会の開催 当センターファンドリーサービス産業委員会（委員長：オリンパス(株)三原孝士氏）主催の第２回ＭＥＭＳ講習会「ＭＥＭＳ設計・加工技術」を、１月２０日（火）ぱ・る・るプラザ京都(JR京都駅前)で開催しました。講習会の内容は下記に示す通りです。関西で始めての講習会でしたが、最近のＭＥＭＳ産業に対する関心の高さから、当日の一般参加者は８０名に達しました。講習会発表者、及び事務局担当者を含め、１０２名と大盛況の講習会となりました。今回の講習会が初心者及び中級者向けであったこともあり、20～30歳代の若い参加者が多いのが特徴でした。また、講習会の最後には第１回に引き続きＭＥＭＳ相談デスクを設け、別室の懇談会場においてファンドリーサービス産業委員の企業がパネル展示等で応対しましたが、これも大変盛況でした。なお、今回は関西での開催ということで、関西近郊の委員企業（オムロン、松下電工、オリンパスの３社）には、事務局担当をお願いしました。
４ マイクロ化学技術審議委員会の開催 マイクロ化学プロセス技術研究組合からの再委託による「マイクロチップデバイス・システムのデータベース構築」について、マイクロ化学技術審議委員会にて、中間成果を報告しました。今後、技術審議委員会の審議結果を平成１６年度のテーマ運営に反映させ、取り組んでいきます。 ５ 第４回専門用語部会（標準化委員会）の開催 第４回専門用語部会が１月２７日に開催され、専門用語追加分の１７項の定義（definition）と説明書き（note）の表現が審議された。今回の審議を元にして３月に作成ＣＤＶをＩＥＣ国際幹事に送付、８月投票の手筈となっています。 ６ WITT教授のアンケート調査説明会の開催 MMCニュース１２月号でご案内しました様に、マイクロセンター（MMC）賛助会員のソシャル ネットワーク(social network)の現状を調べるアンケート調査の説明会が、1月30日（金）MMC会議室で開催された。 MMC賛助会員のソシャル ネットワークとは、賛助会員のマイクロマシンに関する情報の連絡網のことで、またそのアンケート調査の内容は、賛助会員各社間のマイクロマシンに関する情報連絡について、各社が相手先別に連絡回数、情報の重要度、情報の種類、情報の流れの方向、研究水準等の各項目について、４段階から6段階の評価を行うことです。 この調査を他の業種についても略同時に行い、連絡回数、情報の重要度等のデータを分析し業種間で比較すると、新産業、成熟産業、斜陽産業といった業種によって内容が異なっている。一例として、平成９年には、マイクロマシン、半導体製造業、衣服製造業の3業種を比較した結果、マイクロマシンと衣服製造業が、連絡回数が多くしかもその情報の重要度が高かった。この要因を調査してみると、マイクロマシンのような新産業では技術情報が高い比率を占めていること。衣服製造業のような斜陽産業では技術的な情報よりも会社の生存に係わる政策的な情報が高い比率を占めていること。また半導体製造業のように成熟した産業では、新産業、斜陽産業と比較して情報の連絡回数が少なく、また重要度も低くなっていることなどが判ったそうです。 今回の調査は、平成９年の調査と比較し分析するそうですが、良い結果がでることを期待したい。Witt教授は、アンケート調査への協力のお礼として、“東南アジアの華僑の経済活動について”約1時間の講演をしてくれました。講演を聴かれた方々から、聞く機会の少ないテーマの講演でたいへん有意義でした。とのお礼のメールが届いております。アンケートへの回答は、2月13日までに送付して下さるようお願いします。また不明な点は、事務局宮本あてご連絡下さい。アンケート調査へのご協力有難うございました。 ７ 平成１６年度新規プロジェクト「ＭＥＭＳ用設計・解析支援システム開発プロジェクト」に関する検討状況 センターでは、ＭＥＭＳ産業の裾野を広げ、その発展を促進する鍵となるのは、ＭＥＭＳ設計製造インフラストラクチャの構築と整備であるとの認識に立ち、平成１３年度にファンドリーサービスネットワークを対象に調査を行い、その結果を平成１４年３月報告書「マイクロ・ナノ製造技術ファンドリーネットワークシステム概念に関する調査研究」をまとめ、国に提言しました。この提言は平成１５年度の国家施策「ＭＥＭＳプロジェクト（平成１５～１７年度）」として結実させることが出来ました。ついで、平成１５年度には、ファンドリーと対になってＭＥＭＳ産業化を加速する設計支援ソフトウエアに対象を移し、ＭＥＭＳ設計・解析支援シミュレーションシステムの検討を行い、その結果を平成１５年６月報告書「ＭＥＭＳ設計・解析支援シミュレーションシステムに関する調査研究」をまとめ、国に提言しました。 この提言を国家施策として遂行するために、経済産業省が平成１６年度新規プロジェクト「ＭＥＭＳ用設計・解析支援システム開発プロジェクト（平成１６～１８年度）」として、予算要求しました。これに伴い、ＮＥＤＯが平成１６年度新規プロジェクトの公募に向けて、基本計画策定のための事前調査を平成１５年１２月に開始しました。現在、この基本計画策定のための総合委員会（委員長：立命館大学杉山進教授）が第１回：１／１４、第２回：２／１２に、専門家ワークショップが２／２３に開催または予定されており、３月中に基本計画策定を完了し、その後公募が行われる予定です。 なお、当センターおよび当センターファンドリーサービス産業委員会は、今までの知見を踏まえ、このＮＥＤＯ総合委員会や専門家ワークショップに対して積極的に協力しています。 ８ 平成16年ロボット３団体賀詞交歓会の開催 １月１５日（木）、（社）日本ロボット工業、（財）製造科学技術センターおよび（財）マイクロマシンセンター合同の新年賀詞交歓会が虎ノ門パストラル新館１階「鳳凰の間」にて、４１１人出席のもと開催されました。 平成１７年は開催日時は未定ですが、同会場で開催される予定です。 Ⅲ 行政動向１ 平成１６年度政府予算案における科学技術関係予算（分野毎） （単位:億円）
１.「一般研究」とは、独立行政法人及び競争的資金に関する経費、その他を除いた経費のうち、当該経費により実施される研究等の本来の目的に照らして分類したもの ２.「独立行政法人」については、各独立行政法人に対して、分野別研究費の配分予定額をアンケート調査した結果を基に、内閣府が算出したものであり、参考値である ３、「競争的資金」については、直近の年度（今回は平成14年度）の当該競争的資金における配分実績に基づき、各年度の額を按分して内閣府が算出したものであり、参考値である Ⅳ イベント案内１ 当センター主催のイベント ・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870 (1) 第９回国際マイクロマシンサミット 開 催 日： 平成１６年５月３日（月）～５日（水） 開催場所： フランス・グレノーブル (2) 第１５回マイクロマシン展 開 催 日： 平成１６年１１月１０日（水）～１２日（金） 開催場所： 科学技術館・東京北の丸公園 (3) 第１０回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催 開 催 日： 平成１６年１１月１１日（木） 開催場所： 科学技術館（東京都千代田区北の丸公園２番1号） ２ その他のイベントのお知らせ ・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870 ・ 番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。 (1) 国際ロボットフェア2004（国際ロボット見本市2004／世界ロボット会議） 開 催 日： 2004年02月26日(木) ～ 28日(土) 開催場所： 福岡市、西日本総合展示場新館 主 催： 経済産業省中小企業庁、他 情報入手： http://www.robotfair2004.com New (2) Nanotechnology 2004 （The Nanotechnology Conference & Trade Show） 開 催 日： 2004年03月07日(日) ～ 11日(木) 開催場所： Boston, Massachusetts, U.S.A. 主 催： Tima, etc. 情報入手： http://nanotech2004.com/business2004.html (3) 第13回インテリジェント材料システムシンポジウム 開 催 日： 2004年03月08日(月) 開催場所： 化学会館（東京千代田区神田駿河台） 主 催： (社)未踏科学技術協会 インテリジェント材料システムフォーラム 情報入手： http://www.sntt.or.jp (財)マイクロマシンセンター 協賛 New (4) ナノテクノロジーの展開に向けた極微スケール標準物質と計測技術 第1回国際シンポジウム 開 催 日： 2004年03月15日(月) ～ 16日(火) 開催場所： 東京ビッグサイト 主 催： （独）産業技術総合研究所 情報入手： http://www.nmij.jp/MP/SMAM-1/ (5) センサ総合展2004 開 催 日： 2004年04月07日(水) ～ 09日(金) 開催場所： 有明・東京ビッグサイト 主 催： 日本工業新聞社 情報入手： http://www.jij.co.jp/event/sensor/ (財)マイクロマシンセンター 後援 (6) HANNOVER MESSE (ハノーバー・メッセ国際産業技術見本市) 開 催 日： 2004年04月19日(月) ～ 24日(土) 開催場所： Hannover Messe, Germany 主 催： Deutsche Messe AG 情報入手： http://www.hannovermesse.co.jp/ (7) TECHNO-FRONTIER 2004 開 催 日： 2004年04月21日(水) ～ 23日(金) 開催場所： 日本コンベンションセンター (幕張メッセ） 主 催： (社)日本能率協会 情報入手： http://www.jma.or.jp/TF/ (8) DTIP 2004 (Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS) 開 催 日： 2004年05月12日(水) ～ 14日(金) 開催場所： Montreux, Switzerland 主 催： Tima, IEEE, etc. 情報入手： http://tima.imag.fr/conferences/dtip (9) ロボティクス・メカトロニクス講演会2004 (ROBOMEC 04 名古屋) 開 催 日： 2004年06月18日(金) ～ 20日(日) 開催場所： 名城大学 主 催： （社）日本機械学会 情報入手： http://www.toyota.nitech.ac.jp/robomec04/ (財)マイクロマシンセンター 後援 (10) European Micro and Nano Systems 2004 (EMN04) Advances & Applications for Micro & Nano Systems 開 催 日： 2004年10月20日(水) ～ 21日(木) 開催場所： ESIEE, Noisy le Grand, Paris, France 主 催： Tima, ASME, and etc. 情報入手： http://tima.imag.fr/conferences/EMN/ |
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