Ⅰ 国内外トピックス
1 新聞記事
9月15日 日本経済新聞
微小電子機械 研究が加速:汎用設計技術を開発 来年度着手 ベンチャー支援;経産省
経済産業省は来年度から微小電子機械システム(MEMS)用の設計・解析支援技術の開発に乗り出す。電子機械部品を手がけるベンチャーや中小企業が幅広く使えるように汎用型システムを開発する。計画では経産省傘下の産業技術総合研究所が基礎データを提供するほか、MEMSの製造受託を事業化したオリンパス光学工業やオムロンなどが加工法の提供などで協力する予定。今後3年間に15億円を投じる。経産省は今年度にMEMS分野の大型研究計画を始動。情報通信や医療・バイオ、自動車などの基幹部品作りに応用し、センサーや通信部品の実用化を目指している。基幹技術である三次元加工法の確立などが目標で、50億円を投じ、3年計画で進める。MEMS技術の市場規模は現在、世界で5千億円程度。2010年には世界市場が2兆円に膨らむと経産省はみている。
9月18日 日経産業新聞
バイオベンチャーの支援会社:北陸先端大の教員が設立 知的財産権を保護
北陸先端科学技術大学院大学の教員6人が、バイオ分野のベンチャー企業(VB)を支援する会社、バイオデバイステクノロジー(金沢市、代表:民谷栄一・先端大教授)を設立した。公的機関による支援では意思決定に時間がかかることが多いため、身軽な民間企業の立場で他企業との橋渡しや知的財産権保護を行う。民谷氏ら材料科学研究科の教授・助教授・助手6人が個人で出資した。実際の活動拠点は先端大となる。バイオデバイスとは、たんぱく質やDNAなどを電子工学分野でセンサーなどに利用する技術で、テクノロジー社はバイオデバイスとそれに関連する環境・バイオ分野に特化してVBを支援する。
9月19日 日経産業新聞
燃料電池と微小電子事業(MEMS):日立が推進室設置
日立製作所は10月1日付で、研究開発本部内に燃料電池と微小電子機械システム(MEMS)の事業推進室を設ける。今後市場が急拡大すると見られる燃料電池やMEMS製品の開発体制を強化する。燃料電池の事業推進室で、モバイル機器向けや事業所・家庭向けの高性能の燃料電池を製品化する。
9月19日 日刊工業新聞
MEMSコンポに進出:10年めど 売上高100億円規模に;オリンパス光学
オリンパス光学工業は04年にもMEMSのコンポーネントビジネスに進出する。今後さらにMEMS事業を拡大することを目指し、より市場提案型の色合いが濃いコンポーネント事業に乗り出す。この事業形態を加えることで、10年をめどにMEMS事業を売上高100億円規模に成長させる。コンポーネント事業は外部企業と提携し、キーコンポーネントとなるマイクロ部品やマイクロモジュールを共同開発する形で展開する。02年から始めたファンドリーサービスは着実に事業化が進んでおり、10年には50億円前後のビジネスになる見通し。
9月22日 日経産業新聞
微小アクチュエーター開発:バネ状の装置 高さ調節自在;東工大
東京工業大学の下河辺明教授と秦誠一助手の研究チームは、多段階で高さを調節できる微小アクチュエーター(駆動装置)を開発した。バネ状装置で、静電気で高さを段階的に変えられる。高さを変えたアクチュエーターを大量に並べれば、手で文字などを認識できる「触覚ディスプレー」ができる。仮想現実感(バーチャルリアルティー:VR)システムなどにも応用できる。東工大のチームは、パラジウムや銅などで構成する「金属ガラス」をアクチュエーターの材料に使った。導電性のほか、弾性もあり、加工すればバネのようになる。半導体製造技術を応用し、底辺部の直径が800マイクロメートル、高さ約200マイクロメートルの微小なバネ状の可動電極を作り、基板となる電極の中心に付けて作った。10ミリメートル四方に微小アクチュエーターを縦横10個、計100個並べた装置を作製し、動作を確認した。
9月24日 日刊工業新聞
MEMS市場開拓:オリンパスがグループ設置
オリンパス光学工業はMEMS事業のMEMS開発本部内に、市場開発グループを設置した。技術的な知識を持った社員がマーケティング、営業、コンサルティングを行い、MEMS分野での潜在市場を掘り起こす。国内と米国に担当者を配置し、10人の構成人員でスタート。今後、事業の拡大に合わせ、グループ人員を20人程度まで増員する。同社は投資育成会社のITXと提携しており、すでに潜在市場から掘り起こした芽を事業化する基盤を整えている。
9月24日 日刊工業新聞
次世代の光通信デバイス 新材料で小型・省電力:NTTが開発
NTTは、次世代の超小型光デバイスの実現につながる新たな光学材料を開発した。光変調器などのデバイスを従来の1/10以下に小型化でき、消費電力も大幅な低減が可能。新材料で光スイッチを試作したところ、従来の1/10の低電圧で動作することも確認した。新材料はカリウム、タンタル、ニオブなどを含む透明な結晶。電圧をかけると屈折率が変化する「電気光学材料」の一種。「電気光学係数」が現在の実用材料の20倍大きく、世界最高という。NTTは今後3年以内に、新材料で大きさ・駆動電圧がともに現在の1/10の光変調器を開発する。
9月29日 日経産業新聞
100ナノサイズ 微細金型の開発で連携:強力なX線照射;立命館大と関西のVBなど
立命館大学の杉山進教授と関西のベンチャー企業6社、日本ビクター、住友電気工業などは共同で100ナノメートル大のプラスチック成型品を作れる金型の開発に乗り出す。「シンクロトロン放射光」と呼ばれる強力な光を照射し、超微細な構造体を作る。次世代の光学素子などへの応用を見込み、2006年度以降の実用化を目指す。大学発ベンチャーのナノデバイス・システム研究所などが基礎研究を分担し、ビクター、住友電工が製品化に向けた応用研究を手がける。
9月30日 日刊工業新聞、日経産業新聞、電波新聞
80チャンネル光スイッチ 切り替え速度1ミリ秒:ミラーの共振を抑制;富士通研と富士通
富士通研究所と富士通は29日、微小電気機械システム(MEMS)ミラーを用い、切り替え速度1ミリ秒と最高速の多チャンネル光スイッチを開発したと発表した。80チャンネルの3次元MEMS型光スイッチで、ミラーの共振を抑えるノッチフィルターの搭載などで高速化した。新技術はノッチフィルターで、MEMSミラー駆動電気波形からMEMS共振成分のみを除去し、かつ高速応答型の櫛歯電極ミラーを採用し、信号切り替えを高速化した。光ファイバーから入力した光を屋根型のミラーを用いて出力側に折り返す場合と比べ半分の光路長で済み、150×400×300ミリメートルと大幅に小型化できた。
10月6日 日経産業新聞
炭素で極小ポンプ:診断チップに資料注入;SII
セイコーインスツルメンツ(SII)は、炭素でナノメートルレベルの微小なポンプを作製した。基板上に精密制御しながら炭素を降り積もらせる「収束イオンビーム(FIB)装置」を使って作る。微細な流路を利用してたんぱく質の働きを調べる診断チップに試料を注ぎ入れる操作などに使えるという。微小なポンプは高さが約2マイクロメートル、幅1マイクロメートル。下から直径80ナノメートルの半球を積上げるようにして作った。ポンプの両端に弁を付け、伸び縮みさせると水などを送り出すポンプになる。水を吐き出すことで動くマイクロマシンなどの作製も可能だ。
10月6日 電波新聞
ポリシリコン膜を直接成膜できる 触媒CVDの成膜装置:ディスプレイなど大面積化に寄与;アネルバ
アネルバは、良好な電気特性を持つポリシリコン膜を直接成膜可能な触媒CVDによるシリコン成膜装置を開発した。この装置を使えば大面積、高移動度のポリシリコン膜が直接得られる。成膜されたシリコン膜はすでにポリシリコン状態であり、電荷の移動度が高い。このことでディスプレイや太陽電池などの大面積化に寄与できる。松村英樹北陸先端科学技術大学院大学教授らの研究成果をもとにして、科学技術振興事業団がアネルバに開発を委託していた。原料ガスを加熱された触媒線で分解してシリコン膜を形成するため従来のプラズマによる分解より低温で成膜可能だ。
Ⅱ マイクロマシンセンターの動き
1 第2回新機能性材料のNEMSへの展開に関する調査研究委員会の開催
平成15年度第2回新機能性材料のNEMSへの展開に関する調査研究委員会(委員長:立命館大学 田畑修教授)が9月11(木)に開催されました。
第2回会議では、「材料・加工・応用の3つの視点での調査研究の対象と全体の取りまとめ方」を中心に議論を行い、調査研究の対象と分担および全体の方針を決定しました。
調査研究の報告書については、3つの視点全体のストーリーをつなげる対象として、カーボンナノチューブ、生体材料、フォトニッククリスタル、ナノメタルなどを、材料・加工・応用の各検討グループで重点を置いてまとめていくことになりました。また、単に新材料を取り上げるだけでなく、次代のMEMS/ NEMSに役立つ材料と、その材料を取り上げた根拠も示していくことになりました。
今後2回の委員会を開催し、成果を本年度中にまとめることにしました。
2 第9回研究助成報告会の開催
平成14年度に終了した研究助成課題の研究成果報告会が33名の参加者を得て9月12日(金)に開催されました。
マイクロマシン技術に関する研究助成制度は、当センターの自主事業の一環として、平成5年度より開始したもので、マイクロマシンに関する基礎的な研究に取り組んでおられる大学の先生方に対し助成を行い、マイクロマシン技術の一層の進展を図るとともに、産学交流をさらに促進しようとするものです。
今回の報告会では、以下に示します平成13年度公募の研究助成対象課題(2年間研究)6件と、平成14年度公募の研究助成対象課題(1年間研究)3件の計9件の研究成果が、解かり易く報告されました。
【報告内容】
①光照射によるマイクロレリーフ形成の超高感度化とその応用
(名古屋大学大学院 教授 関 隆広)
②μTASへの酵素高度集積化を目的とした固相上微小部位への酵素分子の電気化学的固定法に
関する研究
(九州工業大学大学院 教授 春山 哲也)
③ナノCMMにおけるナノプローブシステムの開発
(東京大学大学院 教授 高増 潔)
(東京電機大学 教授 古谷 涼秋)
④微細作業環境内で3次元トラッキング可能なマイクロハンドシステム
(大阪大学大学院 教授 新井 健生)
((独)産業技術総合研究所 主任研究員 谷川 民生)
⑤金ナノ粒子の創成と新しい治療・診断システムの開発
(東京理科大学 教授 長崎 幸夫)
⑥バルクSi三次元構造上のサーフェスマイクロマシニング
(東北大学大学院 助教授 佐々木 実)
⑦濡れ性の制御および液液気界面張力差対流によるマイクロアクチュエータの基礎研究
(早稲田大学 教授 平沢 泉)
(航空宇宙技術研究所 主任研究員 桜井 誠人)
⑧マイクロマシン技術によるカフ型微小電極の研究
(東京大学生産技術研究所 助教授 竹内 昌治)
⑨自励振動ゲルを用いた心筋模倣型マイクロアクチュエータに関する研究
(東京大学大学院 助教授 吉田 亮)
3 平成15年度第1回臨時理事会、第2回評議員会、第2回運営委員会の開催
平成15年度第1回臨時理事会および平成15年度第2回評議員会が9月24日(水)に中央大学駿河台記念館の会議室において開催されました。
審議事項は、①平成15年度事業計画及び収支予算の一部変更について②賛助会員の入会について③理事の一部変更について〔㈱安川電機の山崎宗重理事から濱田兼幸理事、ファナック㈱の野澤量一郎理事から稲葉善治理事、三菱電線工業㈱の峯松正氣理事から佐川徹理事、(財)マイクロマシンセンターの平野隆之理事の退任、新エネルギー・産業技術総合開発機構の青柳桂一理事就任〕④評議員の一部変更について〔中央電力協議会の海部孝治評議員から小石川貞雄評議員、豊田工業大学顧問の佐田登志夫評議員が退任、立命館大学の杉山進評議員が就任〕⑤委員会の設置について等で、原案通り承認されました。
なお、上記会議に先立ち9月17日(水)に(財)マイクロマシンセンター会議室において、平成15年度第2回運営委員会が開催され、第1回臨時理事会、第2回評議員会の審議案件について審議し、了承されました。
4 第2回専門用語部会を開催
標準化委員会第2回専門用語部会が9月24日(水)に開催されました。これは、昨年度IEC/TC47にNP(New Proposal)として提案を行ったマイクロマシン専門用語の国際標準化提案がCD(Committee
Draft)として関係各国に回付され、それに対して中国、韓国から出されたコメントに伴い開催されたものです。会議では各追加用語案やコメントに対する日本の見解を決定するとともに、「追加分の定義文は日本が行う」ことを提案することとなりました。また、追加用語が多いことから、次の段階であるCDに対する投票(CDV
: Committee Draft Vote)に進むのではなく、2CD(Second Committee Draft)とする方向で認識を一致しました。今後TC47:Draft/Netherlands会議へこれらの基本的スタンスを示すとともに、結果を踏まえて国際標準化規格に向けての活動を継続していきます。
5 第1回MEMS産業化共同調査研究委員会の開催
第1回MEMS産業化共同調査研究委員会が9月19日(金)に開催されました。この委員会はMEMS早期産業化の課題を明確化し、基盤整備のための施策の提言と、MEMSファンドリー機能強化のための施策の提言の2つの視点から、海外の事例も参考にしつつ調査研究を行うものです。本委員会にはオリンパス㈱、オムロン㈱、松下電工㈱の3社が参画しています。今回の委員会で、①委員長の選出(オリンパス㈱ 太田 亮氏)、②平成15~17年度の3ヶ年の基本計画と、平成15年度の実施計画の試案を作成、③具体的な運営の進め方、等について討論しました。
なお、委員会の構成は以下の通りです。
委員長: 太田 亮 オリンパス㈱
委 員: 渡辺 秀明 オムロン㈱
〃 毛野 拓治 松下電工㈱
〃 青柳 桂一 (財)マイクロマシンセンター
6 第7回ファンドリーサービス産業委員会の開催
第7回ファンドリーサービス産業委員会(委員長:オリンパス光学工業(株)、三原孝士氏)が9月26日(金)に開催されました。賛助会員の新規入会に伴い今回から委員企業9社、10名の委員(後記参照)により、ファンドリーサービス産業委員会の事業内容に関する議論が行われました。その概要はつぎの通りです。
・第14回マイクロマシン展(11月11日~14日、 科学技術館にて開催)への
出展及び出展者プレゼンテーションへの参加:
マイクロマシンセンターのブースに当委員会の活動内容を示すパネルを
2枚展示する。11月14日(金) 16:10~17:00 科学技術館6階の第一会議室で、
当委員会活動をPRするプレゼンテーションを各委員により行う。
・第2回MEMS講習会の開催:
7月18日(金) 中央大学駿河台記念館で開催した第1回MEMS講習会(初心者・中級者向け)は
参加者総数134名と大盛況であった。
第2回MEMS講習会は京都で平成16年1月20日(火)13:00から行う。
・当委員会ホームページの積極的活用:
ファンドリーサービス産業委員会の活動内容及び委員企業の特徴、得意技術を一般に広く
理解して貰うために、委員企業は新規情報データを随時事務局に提供する。
≪ファンドリーサービス産業委員会委員≫
委員長:三原 孝士 オリンパス㈱
委 員:不破 耕 ㈱アルバック
〃 小澤 信男 沖電気工業㈱
〃 前田 雅之 オムロン㈱
〃 太田 亮 オリンパス㈱
〃 飛永 芳一 ㈱ナノデバイス・システム研究所
〃 小出 晃 ㈱日立製作所
〃 滝沢 功 ㈱フジクラ
〃 毛野 拓治 松下電工㈱
〃 佐藤 淳史 ㈱富士総合研究所
7 第2回MEMS関連市場の現状と日本の競争力分析に関する委員会の開催
産業研究所からの委託によるMEMS関連市場の現状と日本の競争力分析に関する調査研究の第2回委員会(委員長:東京大学 下山勲教授)が9月29日(月)に開催されました。
第2回目の今回は、最初に、加速度センサーや力センサーを中心にMEMS製品を開発・製造している株式会社ワコー 岡田代表取締役によるMEMS産業環境と企業戦略などについての講演を聴講しました。講演内容は、MEMSをベンチャーとしてスタートし、産業化に成功を収めるまでに至った経緯やこれを支える企業戦略および産業界の見方などに、委員との間で多くの質疑応答があり、産業構造を調査研究していく上で、大変有意義な機会となりました。
講演の後、MEMS関連市場の調査手法、米国MEMS産業調査、国内産業構造調査の進め方について審議を行いました。
市場調査手法については、具体的な調査の進め方と結果のまとめ方をについて方向付けしました。米国MEMS産業調査については、米国の公的支援の現状などについての調査員の調査報告がありました。国内産業構造調査については、検討グループを作って進めていくことが了承されました。
12月開催の次回委員会では、各調査結果に中間まとめを行う予定です。
8 第2回国内外技術動向部会の開催
第2回の国内外技術動向調査部会(部会長:早稲田大学 庄子習一教授)が9月29日(月)に開催されました。本部会は、マイクロマシンに関する国内外の最新かつ詳細な情報を収集・分析し、その技術動向を把握することを目的としています。
今回は、上期の技術動向調査として、"Transducers ‘03" の口頭発表の内容を分類し、動向調査を行った結果が報告されました。
Transducersはマイクロセンサ、マイクロアクチュエータに関する最先端の研究開発事例が発表される会議であります。1981年にボストン(米)で第1回が開催されて以来隔年で開催されており、今回が12回目の開催で最初の開催地ボストンに戻り、2003年6月9日~12日に開催されました。総参加登録者は約1,100名であり、口頭発表199件、ポスター発表272件で招待講演12件と全体会議での講演4件を含めて合計487件の発表が行われています。内容の詳細は口頭発表のみについて、年度末に発行する報告書にまとめるとともに、マイクロマシンデータベースの分野別研究開発動向に掲載する予定です。
Ⅲ 外部団体情報
1 新エネルギー・産業技術総合開発機構が独立行政法人として発足
特殊法人新エネルギー・産業技術総合開発機構が平成15年10月、独立行政法人という新たな法人形態として生まれ変わりました。略称はNEDO技術開発機構です。
2 独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構人事異動
(新) (旧)
平成15年10月1日付
辻 義信 機械システム技術開発部部長 産業技術環境局標準課課長
(新)
東郷洋一 近畿経済産業局 資源エネルギ-部部長 NEDO産業技術開発室室長
Ⅳ イベント案内
1 当センター主催のイベント
・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
(1) 第14回マイクロマシン展
開 催 日: 平成15年11月12日(水)~14日(金)
開催場所: 科学技術館・東京北の丸公園
主 催: (財)マイクロマシンセンター他
(2) 第9回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催
開 催 日: 平成15年11月13日(木)9:30~18:00
開催場所: 科学技術館(東京都千代田区北の丸公園2番1号)
主 催: (財)マイクロマシンセンター
2 その他のイベントのお知らせ
・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
・ 番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。
(1) 2003実用化開発助成事業成果展示会
開 催 日: 2003年10月22日(水) ~ 24日(金)
開催場所: インテックス大阪 6号館 Aゾーン
主 催: 独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構
情報入手: http://www.nedo.go.jp/
(2) POLYTRONIC 2003 (3rd International IEEE Conference on Polymers and
Adhesives in Microelectronics and Photonics) (Q7A2X03)
開 催 日: 2003年10月20日(月) ~ 23日(木)
開催場所: HOTEL EDEN AU LAC, MONTREUX, SWITZERLAND
主 催: Tima, etc.
情報入手: http://tima.imag.fr/Conferences/POLYTRONIC
(3) COTS MEMS 2003 (The 3rd International Conference on Advances in Application
of Integrated Commercial-Off-The-Shelf Micro-Electro-Mechanical Systems) (Q7A3602)
開 催 日: 2003年10月20日(月) ~ 21日(火)
開催場所: San Francisco, CA USA
主 催: The Knowledge Foundation, Inc.
情報入手: http://www.knowledgefoundation.com/
(4) 機能性材料の3次元微細加工技術講演会 (P6A3701)
開 催 日: 2003年10月22日(水)
開催場所: 三会堂ビル石垣記念ホール
主 催: (財)先端加工機械技術振興協会
情報入手: Tel:3501-6701 担当:横須賀
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(5) 2003実用化開発助成事業成果展示会
開 催 日: 2003年11月4日(火) ~ 7日(金)
開催場所: 東京ビックサイト 東1ホール
主 催: 独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構
情報入手: http://www.nedo.go.jp/
(6) 2003国際ロボット展 (P6A3204)
開 催 日: 2003年11月19日(水) ~ 22日(土)
開催場所: 東京ビックサイト・有明
主 催: (社)日本ロボット工業会、日刊工業新聞社
情報入手: http://www.nikkan.co.jp/eve/03robot/index.html
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(7) Microelectronics, MEMS, and Nanotechnology (Q7A3703)
開 催 日: 2003年12月10日(水) ~ 12日(金)
開催場所: The University of Western Australia, Perth, Australia
主 催: SPIE
情報入手: http://spie.org/conferences/calls/03/au/
(8) MEMS 2004 (17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical
Systems) (Q7A3601)
開 催 日: 2004年01月25日(日) ~ 29日(木)
開催場所: Maastricht, The Netherlands
主 催: IEEE
情報入手: http://www.mems2004.org
(9) HANNOVER MESSE (ハノーバー・メッセ国際産業技術見本市) (Q7A3702)
開 催 日: 2004年04月19日(月) ~ 4月24日(土)
開催場所: Hannover Messe, Germany
主 催: Deutsche Messe AG
報入手: http://www.hannovermesse.co.jp/
http://www.hannovermesse.de/
Ⅴ その他会員への情報
1 YKK株式会社の紹介
YKK株式会社はYKKグループのマザーカンパニーとして、ファスニング事業と建材事業を中心に日本を含む世界60ケ国でグローバルに事業を展開しております。
YKK株式会社は、ファスナーを製造・販売するメーカーとして1034年に創業し1961年からはサッシ等のアルミ建材事業を開始しました。YKKグループではこれら2つの中核事業の他に、両事業の一貫生産を支える工機事業を有しております。
従業員数はグループ全体で36,000人。2002年売上高は単体で2,240億円、連結で5,440億円。現在まで金属材料や加工、金型、成形技術に関する研究・技術開発を実施してきました。2002年度から実施の「金属ガラス」といわれる超微細精密成形用合金に関する研究等、国家プロジェクトにも積極的に参加しており、今後は超微細化工に関する分野を目指していきたいと考えております。
本社は東京都千代田区神田和泉町1です。
2 シュルンベルジェの紹介
シュルンベルジェ・オイルフィールド・サービスは石油、天然ガスの生産性の向上、回収率の増加等を通して、顧客である石油会社にとっての総コストを最小に抑えるような技術サ-ビスを提供しております。そのような技術を開発するテクノロジー・センターを世界に十数か所擁していますが、シュルンベルジェ株式会社(代表取締役社長 朝倉繁明)はアジアにおける最初のテクノロジー・センターとして主に、石油抗井内の(1)音響計測装置(ソニックおよび抗井内地震探査受信機)、(2)光学式流体分析器、(3)圧力、地震探査等のセンサーの開発・生産を行っています。
本社は神奈川県相模原市淵野辺2-2-1にあります。
3 マイクロマシンセンターの人事異動
平成15年9月30日付
平野 隆之 退職
平成15年10月1日付
青柳 桂一 専務理事就任
調査研究部長兼任
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