No.2003-05
2003年5月9日発行
目  次
Ⅰ 国内外トピックス
  1 新聞記事
Ⅱ マイクロマシンセンターの動き
  1 第1回専門用語部会を開催
  2 「スケールインターフェースに関する調査研究」の報告書が完成
  3 第9回国際マイクロマシンサミット延期
  4 マイクロマシン連合運営協議会の開催
  5 長期ビジョン部会中間報告
Ⅲ 行政動向
  1 経済産業省人事異動
Ⅳ 外部団体情報
  1 NEDO情報
Ⅴ イベント案内
  1 当センター主催のイベント
  2 その他のイベントのお知らせ
Ⅵ その他会員への情報
  1 セイコーエプソン株式会社の紹介


本  文
Ⅰ 国内外トピックス

1 新聞記事


4月18日 日経産業新聞
  新材料の研究に各種DBを提供:物材機構

物質材料研究機構は新材料の研究開発に役立つ各種データベースの提供を開始した。金属の変形に関する実験データを電子化するとともに、同機構内の研究グループの成果もデータベース化して提供する。提供するデータベースは力を長時間加えた際の金属変形に関する情報「クリープデータ」など11種類。物質関連の研究データベースとしては国内最大規模になる。

4月18日 日本経済新聞
  フィルム状でフルカラー:世界初、折り曲げも自在;パイオニアの有機ELディスプレー

パイオニアは、フルカラーの動画を映し出せるフィルム状の有機ELディスプレーを開発した。フルカラー表示としては世界初。自動車のフロントガラスや衣服などをディスプレーとして利用することが可能となる。パイオニアが開発したフィルム状の有機ELディスプレーは、自ら発光する赤、青、緑の有機物を電極で挟み込んだ構造。縦4.7センチ、横約6.2センチで、厚さは0.2ミリと定期券程度の薄さ。有機物と無機物からなる厚さ数十ナノメートルの極めて薄い膜を電極と有機層の間に設けることで、水分子の侵入防止に成功した。

4月23日 日経産業新聞
  光通信用の波長可変レーザー:32個分の素子を1個で;NTT、装置簡素に安く

NTTフォトニクス研究所は光通信用に波長を自由に変えられる波長可変レーザーを開発した。現在主流の光波長分割多重伝送(WDM)システム向けに、従来32個のレーザー素子が必要だった装置を1個のレーザー素子で置き換えられる。システムの構造が簡素になるほか、コストも低減できるという。2004年度をメドにサンプル出荷を始める予定だ。新レーザーは、分布反射型レーザーといわれるレーザー素子。素子内部のレーザー光を往復させて増幅していく部分で、光を往復させる幅を変えることで出て来るレーザー光の波長を変える。波長を16~20ナノメートルの幅でなめらかに変えられる。波長を1ナノメートル変えるのに要する時間を1ナノ秒程度に抑えることができた。

4月25日 日刊工業新聞
  頂点に触媒ニッケル:CNT選択成長可能に;早大がナノピラミッドアレー

早稲田大学の研究チーム(大泊巌教授、谷井孝至客員講師、品田賢宏日本学術振興会特別研究員ら)は独自の単一イオン注入(SII)法を使い、シリコン基板上にニッケルを埋め込んだナノピラミッドアレー(NPA)を開発した。カーボンナノチューブ(CNT)の触媒であるニッケルをNPAの頂点に埋め込んだもので、化学気相成長(CVD)でNPA頂点にCNTを選択成長できる。CNTを用いた電子線露光用電子銃や平面ディスプレーなどにつながる。独自のSII法用にニッケルの液体金属イオン源を開発して、注入するイオンの位置と数を制御しながら(100)面のシリコン基板にアレー状に打ち込み、異方性エッチングでNPAを作り出した。

4月25日 日経産業新聞
  薄膜結晶の向きを制御:ナノマシン部品量産に道;京大、硬さ、屈折率変える

京都大学国際融合創造センターの松重和美教授らの研究グループは、ナノメートルサイズの微小機械の部品を作るのに役立つ技術を開発した。高分子薄膜の結晶の向きを人工的に制御して、硬さや屈折率などを部分的に変える。微小なバネやノズルなどを大量生産するのに有望な技術とみており、実用化を目指す。新技術は、温度を調節しながら強誘電性高分子薄膜の結晶方向を、原子間力顕微鏡(AFM)の微細な針を使ってそろえる。セ氏80度で縦方向になでると、結晶は縦を向く。温度をセ氏135度に高めて縦方向になでると、結晶は横を向く。高分子薄膜は結晶の向きによって硬さが異なる。こうした薄膜を切断するだけで筒状のノズルやらせん状のバネなど「ナノマシン」の部品を形作れる可能性がある。

4月28日 日経産業新聞
  MEMSの高成長を予測

経済産業省の技術調査室は、半導体加工の技術を駆使して機械や電子、光などの機能を集積化したMEMSに関する技術リポートをまとめた。市場規模に関して、米国の調査機関のデータをもとに、2001年の約五千億円から、2006年には約一兆二千億円に成長すると予測した。今後利用が想定される分野としては、携帯電話や無線LAN(構内情報通信網)などの高周波利用、光通信用のスイッチ、マイクロ化学スイッチ、マイクロ燃料電池を挙げた。(詳細は経済産業省のホームページに掲載されている、技術動向編第3号「MEMSに関する技術の現状と課題」H15.3.28 産業技術環境局技術調査室を参照下さい。(ホームページ http://www.meti.go.jp/policy/tech_research/report/vol3-color-mono.pdf)

5月2日 日経産業新聞
  光スイッチ小型で安く:行き先、128に割り振る;NTT研

NTTフォトニクス研究所は、光通信用経路選択装置(光ルーター)の心臓部となる小型で安価な光スイッチを開発した。光回路や制御回路などを一枚の基板に集積、大きさは従来の1/4、コストを1/3程度に抑えるメドをつけた。2005~2006年ごろの実用化を目指す。光ルーターは、光通信網の信号の行く先を交換機のように割り振る装置。光信号を一度も電気信号に変換せずに経路を変えられ、高速大容量の光通信網の基幹装置となる。開発した光スイッチは、一本の光信号を128の異なる行き先に割り振る能力がある。シリコン基板の上にガラス製の導波路という光の通り道を設けた構造で、縦5センチ、横12センチの大きさまで小型化した。

5月9日 日本経済新聞
  ナノテクに23億ドル:今後3年で研究開発に;米下院が法案可決

米下院本会議は7日、ナノテクノロジーの研究開発のため、2004会計年度(2003年10月―2004年9月)から3年間に総額23億6千万ドル(約2千8百億円)を投じることを盛り込んだ「ナノテク研究開発法案」を賛成多数で可決した。上院でも同じ内容の法案が審議中で、近く可決する可能性が高まっている。法案は研究予算の増額に加えて、国家ナノテクノロジー戦略(NNI)で取り組むべき研究開発テーマを決める諮問委員会の設置を盛り込んだ。

Ⅱ マイクロマシンセンターの動き

1 第1回専門用語部会を開催

 4月23日(水)に標準化委員会第1回専門用語部会が開催されました。これは、昨年度IEC/TC47にNP(New Proposal)として提案を行ったマイクロマシン専門用語の国際標準化提案がCD(Committee Draft)として4月4日に関係各国に回付されたことに伴い開催されたものです。CDには3ヶ月以内に関係国よりCommentが求められるが、今回の部会は韓国より提案された専門用語に対する検討のため開催されたものであり、今回の検討に従った修正意見(Comment)を7月4日までに提出すことになります。

 今後Commentに従った適切な対策を行って次の段階であるCDに対する投票(CDV : Committee Draft Vote)が行われ、更に正式投票が行われて国際標準化規格として出版の段取りとなります。

2 「スケールインターフェースに関する調査研究」の報告書が完成

 平成14年度(社)日本機械工業連合会の委託により実施した「スケールインターフェースに関する調査研究」が3月31日を持って終了し、結果を報告書にまとめて報告した。

報告書では、まず始めにデバイスの形状・寸法精度とその特性、製品性能、マイクロ金型の要求精度とその評価法、既存の測定法のマイクロデバイス評価への適合性、並びにマイクロ測定用プローブに関して技術の現状と将来技術についての調査結果を述べた。

 さらに光波干渉技術、高分解能変位センサー技術、人工物精密標準器技術、位置決め技術、2・3次元のインターフェース技術、及び複雑な不連続段差形状インターフェース技術について技術の現状とその将来技術について調査した。また、3次元マイクロ閉空間の非破壊精密測定、各種薄膜の機械的特性、nmレベル3次元形状測定、面形状の動的測定、加工形状の3次元ナノオーダ高速自動測定、及び高密度実装技術と精度の関係について調査し、ユーザが抱える寸法計測に関する課題や問題点を明らかにした。更に計測評価技術の将来展望と有るべき姿について検討し、将来の技術課題を明らかにすると共に、ロードマップの作成を行い、今後の研究開発の方向について提言を行った。本調査研究を実施した事により、小型化を推進する上で必要な研究開発の方向が示され、本方面の産業化への取り組みが促され、マイクロマシン/MEMS技術の広がりと導入に大きく寄与することが期待される。

 なお、報告書は賛助会員窓口宛てに4月中旬に送付されています。

3 第9回国際マイクロマシンサミットの延期について

 4月28日-30日の3日間、中国、北京で開催されることになっていた第9回国際マイクロマシンサミットは、昨年11月に広東で発生した新型ウイルスによる重症急性呼吸器症候群(SARS)の北京への伝染、またSARSは人を介して国際的な伝染性が強いことから、当センターの提案で暫定的に9月上旬を目途に開催を延期しました。

WHOは既にSARSウイルスの実態を把握し、世界のネットワーク研究所と共同でSARS対策の開発を促進していることから、近い内に有効な対策が見つかることは確かと思いますが、WHOがSARS安全宣言を出すまでには相当な期間を要するものと考えられ、今回の北京サミットは、9月はおろか年内の開催も難しい状況と判断されます。

例年ですと翌2004年の開催国を決める時期なので、当センターは、イニシアティブを取って2004年の開催国をどこにするか、中国での開催をいつまで延期するか、各国のチーフデリゲイトに対し具体的な対応を開始しております。

4 第16回マイクロマシン連合運営協議会の開催

 5月9日(金)、第16回マイクロマシン連合運営協議会(代表幹事:佐藤一雄 名古屋大学大学院教授)が(財)マイクロマシンセンター会議室において開催されました。初めに、代表幹事選出を行い、昨年度に引き続き佐藤一雄教授が選出されました。次いで、マイクロマシン連合の昨年度の活動報告及び今後の活動計画が討議されました。その結果、当センターのホームページ内に平成15年1月開設したマイクロマシン連合のホームページを介して会員相互の情報交換を継続していくことが決定されました。

次回のマイクロマシン連合運営協議会は、平成15年11月13日(木)(第14回マイクロマシン展開催2日目)12:20から科学技術館6階会議室で開催する予定です。
(ホームページ http://www.mmc.or.jp/fede/fede-j.html)

5 長期ビジョン部会中間報告

 マイクロマシン技術は将来の経済社会のいろいろな分野で活用され、わたしたちの生活を向上させてくれることは間違いないのですが、今日の厳しい経済社会環境からその将来をつぶさに見通すことは大変難しい状況にあります。

 このような背景から昨年度より、マイクロマシンセンター内に長期ビジョン部会(部会長:東京大学大学院 情報理工学系研究科 下山 勲 教授)を設置して、マイクロマシンの将来ビジョンに関する調査研究を行ってきました。この度、これまで検討してきた内容をまとめて中間報告として、「マイクロマシンの将来ビジョン(長期ビジョン部会中間報告)」を発行しました。取り上げてきた分野の範囲、議論の深みについては必ずしも十分ではないと思われますが、少しでも関係者の用に供することが出来れば幸いです。

 本中間報告の内容(目次)は、以下の通りです。

<マイクロマシンの将来ビジョン(長期ビジョン部会中間報告)目次>
 1.はじめに --- 今なぜビジョンが必要か? 1
 2.マイクロマシン技術の展開の方向 3
  2-1 短期的な展望 4
  (1)光MEMS分野 4
  (2)RF-MEMS分野 4
  (3)センサー分野 4
  (4)バイオ関連分野 5
  (5)マイクロ流体分野 5
  2-2 中長期的な展望 5
 3.産業化のあり方 7
 4.産・学・官の連携 9
  4-1 企業の役割 9
  4-2 政府の役割 9
  4-3 大学の役割 10
  4-4 マイクロマシンセンターの役割 11
 5.技術各論のロードマップ 12
  5-1 高齢者生活支援システム(安心・安全) 13
  5-2 バイオ・ナノシステム 17
  5-3 医療関係のロードマップ(マイクロ・ナノ技術の医療への応用) 21
  5-4 健康のロードマップ 25
  5-5 環境関連センサーシステム 29
  5-6 インテリジェントタグ(物流管理システム) 33
  5-7 情報通信(センサーネットワーク) 37
  5-8 次世代ロボット関係 40
  5-9 宇宙用MEMSシステム 43
  5-10 革新的マイクロマシン製造技術ロードマップ 46
 6.終わりに 49


 なお、本中間報告は既に各賛助会員窓口に配布済みであり、追加の頒布予定はしておりませんのでご了解下さい。

Ⅲ 行政動向

1 経済産業省産業機械課人事異動


  平成15年5月1日付
      (新)                    (旧)
  川内 拓行  産業機械課技術班        産業機械課企画調整班
  
  干臺  俊  産業技術環境局研究開発課    産業機械課技術班

Ⅳ 外部団体情報

1 NEDO情報


 NEDOの提案公募型事業の中で、基盤促、産業技術実用化開発助成事業等の募集が開始されておりますので、関係する項目をお知らせ致します。
 1、「産業技術実用化開発助成事業推進のための調査」に係る委託先の公募について
 2、平成15年度「産業技術実用化開発費助成金」係る助成事業の公募について
 3、平成15年度「スピンオフベンチャー・大学等発ベンチャー等技術開発助成金」に係る助成事業の公募について
 4、平成15年度「基盤技術研究促進事業(民間基盤技術研究支援制度)」に係る公募開始について
 なお、公募のお知らせは賛助会員の連絡窓口担当にもお知らせしてあります。
 詳細についてはNEDOのホームページをご覧下さい。
      (http//www.nedo.go.jp/information/koubo/)

Ⅴ イベント案内

1 当センター主催のイベント


 ・ 詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870

(1) 第14回マイクロマシン展
 開 催 日: 平成15年11月12日(水)~14日(金)
 開催場所: 科学技術館・東京北の丸公園
 主  催: (財)マイクロマシンセンター他

(2) 第9回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催
 開 催 日: 平成15年11月13日(木)9:30~17:00
 開催場所: 科学技術館(東京都千代田区北の丸公園2番1号)
 主  催: (財)マイクロマシンセンター


2 その他のイベントのお知らせ

 ・ 詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
 ・ 番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。

(1) MAINSTREAMING MICROFLUIDICS (Q7A3210)
 開 催 日: 2003年05月15日(木) ~ 16日(金)
 開催場所: World Trade Center, Boston, Massachusetts, USA
 主  催: Cambridge Healthtech Institute
 情報入手: http://www.healthtech.com/spring.asp

(2) ロボティクス・メカトロニクス講演会2003 (ROBOMEC 2003) (P6A2Z03)
 開 催 日: 2003年05月23日(金) ~ 25日(日)
 主  催: (社)日本機械学会
 情報入手: http://www.fun.ac.jp/robomec2003/
 (財)マイクロマシンセンター 後援

(3) TRANSDUCERS 2003 (2003 International Solid-State Sensors and Actuators Conference) (Q7A2408)
 開 催 日: 2003年06月08日(日) ~ 12日(木)
 開催場所: Boston Marriott Copley PlaceBoston, Massachusetts, USA
 主  催: IEEE Electron Devices Society
 情報入手: www.transducers03.org

(4) 第19回日本DDS学会 (P6A3201)
 開 催 日: 2003年06月19日(木) ~ 20日(金)
 開催場所: 国立京都国際会館
 主  催: 日本DDS学会
 情報入手: http://square.umin.ac.jp/js-dds/dds.html
 (財)マイクロマシンセンター 協賛

(5) The International Conference on Electrical Engineering 2003 (ICEE203) (Q7A2Z01)
 開 催 日: 2003年07月06日(日) ~ 10日(木)
 開催場所: Kowloon Shangri-La Hotel, Hong Kong
 主  催: Hong Kong Institute of Engineers
 情報入手: http://www.hkie.org.hk/icee2003/

New
(6) COMS2003(The 8th International Conference on the Commercialization of Micro and Nano Systems) (Q7A3402)
 開 催 日: 2003年09月08日(月) ~ 11日(木)
 開催場所: Amsterdam, The Netherlands
 主  催: MANCEF
 情報入手: http://www.mancef-coms2003.org/

開催日変更!
(7) ICRA2003 (2003 IEEE International Conference on Robotics and Automation) (Q7A2801)
 開 催 日: 2003年09月14日(日) ~ 19日(金)
 開催場所: The Grand Hotel, Taipei, Taiwan
 主  催: IEEE Robotics and Automation Society
 情報入手: http://www.icra2003.org

(8) μTAS2003 (The 7th International Conference on Miniaturized Chemical and BioChemical Analysis Systems)  (Q7A2Z05)
 開 催 日: 2003年10月05日(日) ~ 09日(木)
 開催場所: Squaw Valley, California USA
 主  催: The Transducers Research Foundation
 情報入手: http://www.microTAS2003.org

(9) MICRO SYSTEM Technologies 2003 (Q7A3204)
 開 催 日: 2003年10月07日(火) ~ 08日(水)
 開催場所: Muchen, Germany
 主  催: IEEE, Mesago Messe Frankfurt
 情報入手: http://www.mesago.de/mst

(10) POLYTRONIC 2003 (3rd International IEEE Conference on Polymers and Adhesives in Microelectronics and Photonics) (Q7A2X03)
 開 催 日: 2003年10月20日(月) ~ 23日(木)
 開催場所: HOTEL EDEN AU LAC, MONTREUX, SWITZERLAND
 主  催: Tima, etc.
 情報入手: http://tima.imag.fr/Conferences/POLYTRONIC

(11) 2003国際ロボット展 (P6A3204)
 開 催 日: 2003年11月19日(水) ~ 22日(土)
 開催場所: 東京ビックサイト・有明
 主  催: (社)日本ロボット工業会、日刊工業新聞社
 情報入手: http://www.nikkan.co.jp/eve/03robot/index.html
 (財)マイクロマシンセンター 協賛

Ⅶ その他会員への情報

1 セイコーエプソン株式会社の紹介


 セイコーエプソン株式会社は、1942年創業、本社は長野県諏訪市。環境との調和を基本に、情報機器事業分野、デバイス事業分野、マイクロメカトロニクス分野で、世界最先端の技術により、質の高い生活を実現する商品を提供しています。昨年度(2002年3月期)の連結売上高は1兆2,741億円。グループ会社数は116社(国内41社、海外75社)。従業員数は77,514名。主な事業は情報関連機器(パソコン及びプリンタ、スキャナなどコンピュータ周辺機器、液晶プロジェクターなど映像機器)、電子デバイス(半導体、ディスプレイ、水晶デバイス)、精密機器(ウオッチ、眼鏡レンズ、FA)、その他の開発・製造・サービス。
セイコーエプソンが開発したMEMSの製品技術として、POSプリンター用のSEAJetプリントヘッドなどがあります。

詳しくはhttp://www.epson.co.jp/ をご覧下さい。
 

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