１ Gデバイス＠BEANSのキックオフ
先月、NEDO公募の「高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセスの開発」を、技術研究組合BEANS研究所（BEANS組合）が受託することが決定し、NEDOとの契約が完了、Gデバイス＠BEANSが始動した。
今回の予算措置は平成21年度の補正予算に基づくものであるため、実施期間は21～22年の2年間（実質1年）に限定され、本格研究の初期段階としての初動研究を実施することになる。
本公募は、現在進行中の「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト（BEANSプロジェクト）の一部の研究開発項目（研究開発項目⑤）について公募が行われたもので、次の１）、２）のような研究課題になっている。
１）高機能センサネットシステム開発：大口径MEMS用クリーンルームにおける各製造・評価装置や空調、純水製造等の周辺装置の消費エネルギー、温度、圧力、風量、異物粒子、ガスなどをセンシングし、省資源、高効率に最も適した集積化センサチップ及びセンサネットワークシステムを検証するとともに、省エネルギー、低炭素化などに関する効果を分析するための、センサネットワークシステムを試作する。
２）低環境負荷型プロセス技術開発： シリコン貫通深掘り加工、様々な異種デバイスをウェハレベルで一括集積化する技術、及び多品種少量生産における製造歩留り向上、性能ばらつき低減を目指したMEMS三次元設計・計測情報の共有化技術などを開発する。
研究体制としては、BEANS組合の中にGデバイス研究体を設け、つくばの産業技術総合研究所内及び立命館大学草津キャンパス内に主たる研究拠点を設置することとしている。
4月8日(木)午後にGデバイス研究体参加メンバーの為の事務処理ガイダンスがあり、続いてMMCテクノサロンにてキックオフに相当する「第1回Gデバイス推進委員会」が開催された。参画企業や経済産業省、NEDO、大学及び産業技術総合研究所などから60名以上の参加者で会場は熱気に包まれた。NEDO岡野部長及びMETI矢野研究開発調整官のご挨拶に続き、BEANSプロジェクト全体説明及びその中におけるGデバイスのミッション等は遊佐ＰＬ、Gデバイス研究体の概要説明や運営方針などは前田Gデバイス研究体長から説明があり、具体的な取り組みに関しては伊藤Gデバイスセンター長や杉山進Gデバイス関西センター長から説明がなされた。また会議終了後の懇親会では関係者一同、今後の研究開発について積極的かつ精力的に意見交換がなされ、最後に決意の言葉で締めくくられた。
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| 第1回Gデバイス推進委員会 |
懇親会 |
２ マイクロマシンセンター平成22年度事業計画について
当センターでは、22年度においてもマイクロマシン／MEMS等のマイクロナノ分野に係る基盤技術の確立のための活動や産業分野発展のための環境整備活動を通じて、わが国産業の発展に寄与することを目指していく。先月に開催された評議員会、理事会において本年度の事業計画が承認された。本年度も従来に引き続き、マイクロナノ分野にかかる調査・研究、情報収集・提供、国内外の標準化の推進、内外交流・協力の推進、MEMS開発のためのインフラ整備活動並びに普及啓発等の事業を実施していく。
具体的に見ると、全国的なマイクロナノ人材育成事業の展開、つくばイノベーションアリーナ構想(TIA)と連携するJMEC検討会（仮称）の発足などが新規活動になる。また、技術研究組合BEANS研究所において22年度に追加実施する「高性能センサネットシステムと低環境負荷型プロセスの開発」にかかる研究事業（Gデバイス@BEANS）にも、組合員の立場から新たに支援・協力していくこととしている。
なお、当センターの一般財団法人化については、昨年10月に内閣府公益認定等委員会に申請しており、そう遠くない時期に認可が下りるものと想定しています。認可後は、真に時代の要請に応えうる非営利セクターの活動の原点に立ち返って、一般財団法人活動の更なる充実・強化に取り組みたいと思っております。
主要事業項目は以下の通り。
（調査・研究）
●国内外技術動向調査及び産業動向調査
（情報収集・提供）
●マイクロナノ分野の情報収集・提供
●マイクロナノデータベースの充実
（内外交流：MEMS協議会事業）
●政策提言活動
●産学連携活動（JMEC検討会など）
●MEMS開発のためのインフラ整備
①MEMSファンドリーネットワークシステムの拡充・強化
②各地の公的ファンドリー、地域クラスターとの連携強化
③人材育成事業の推進
④MEMSPediaの整備
●MEMS内外ビジネス交流活動
①MEMSモールの推進
②総合イベント 「マイクロナノ2010」の 開催（7月28日～30日）
③マイクロマシン/MEMS展の開催（7月28日～30日）
④内外アフィリエートネットワークの拡充
⑤第16回国際マイクロマシンサミットヘの参加（4月26日～30日）
⑥ハノーバメッセへの出展（平成22年4月19日～23日）
⑦海外へのミッション派遣及び研究者との交流
（標準化の推進）
●標準化推進計画の立案及び実施
●IEC/TC47/SC47F における幹事国としての運営管理業務
●日本提案の規格案が国際規格として発行されるまでのフォローアップ
●国内での普及の必要性の高いIEC規格のJIS化
●韓国等外国提案の規格案への日本の意見の反映
●国際標準規格の作成
①小型ジャイロMEMSデバイスの性能評価に関する標準化
②MEMSにおける形状計測法に関する標準化
③MEMSウエハー・ツー・ウエハ接合強度試験に関する標準化
（普及啓発）
●ホームページを活用した情報発信・交流の強化
●広報誌マイクロナノの発行
●月例ニュースの発行
●ブログニュース（MEMSの波）の配信
●文献抄録データベースの配信及び資料室の整備充実
（その他）
●MemsONEの普及促進
●BEANSプロジェクト（含むGデバイス）への支援・協力
３ BEANS研究所平成22年度事業計画について
技術研究組合BEANS研究所では、昨年度に引き続きBEANSプロジェクトを着実に推進していくとともに、新規の研究開発項目⑤であるGデバイスについて円滑に実施することを目指す。
【基本的なスタンス】
全世界的課題として環境エネルギー問題への対応が国や産業毎に強く求められており、革新的次世代デバイスの実用化においては製造プロセス自体の省資源や高効率な製造プロセスの実現による低環境負荷化が期待されている。
このため、技術研究組合BEANS研究所が実施するBEANSプロジェクトは、サイエンスとエンジニアリングを融合させ、将来の革新的次世代デバイスの創出に必要な新しいコンセプトに基づき、基盤的プロセス技術群を開発し、かつ、そのプラットフォームを確立することを目的として平成22年度事業を実施する。
さらに、本年度においては、低炭素社会づくりに貢献する高機能ＭＥＭＳセンサおよびそれを活かしたネットワークシステムの構築と、革新的次世代デバイスの実用化における低環境負荷型製造プロセス技術を確立することを併せて実施する。
【平成22年度事業計画における主な研究内容】
平成22年度は以下の事業を推進する。
研究開発項目①：バイオ・有機材料融合プロセス技術の開発
1)バイオ・ナノ界面融合プロセス技術
2)バイオ高次構造形成プロセス技術
3)有機・ナノ界面融合プロセス技術
4)有機高次構造形成プロセス技術
研究開発項目②：３次元ナノ構造形成プロセス技術の開発
1)超低損傷・高密度３次元ナノ構造形成技術
2)異種機能集積３次元ナノ構造形成技術
3) 宇宙適用３次元ナノ構造形成技術 （前年度までに主要研究開発を終了）
研究開発項目③：マイクロ・ナノ構造大面積・連続製造プロセス技術の開発
1)非真空高品位ナノ機能膜大面積形成プロセス技術
2)繊維状基材連続微細加工・集積化プロセス技術
研究開発項目④：異分野融合型次世代デバイス製造技術知識データベースの整備
（新 規）
研究開発項目⑤：高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセスの開発
1)高機能センサネットシステム開発
2)低環境負荷型プロセス技術開発
※本研究項目の詳細については、次号以降に掲載予定。
４ MEMSPediaの紹介
小型・省電力・高性能・高信頼性の高集積・複合MEMSデバイスを製造できる技術の確立を目的として、「高集積・複合MEMS製造技術開発（ファインMEMS）プロジェクト」が平成18年度から平成20年度の3年間、NEDO委託・助成事業として実施さた。(財)マイクロマシンセンター（以下ＭＭＣという）では、ファインMEMS開発・製造に係わる研究者・技術者の支援、裾野拡大を図ることを狙いとして、「ファインMEMS知識データベース」および「ファインMEMSシステム化設計プラットフォーム（MEMS等価回路ジェネレータ）」の開発を行った。これらの成果をインターネット上で提供できる、知識情報、デザイン支援ツール等、様々なオープンコンテンツを搭載した百科事典”MEMSPedia”として、効果的な普及、拡充を図っている。
MEMSPediaは次のＵＲＬでご覧いただけます。
http://www.mmc.or.jp/memspedia/
尚、ご利用に当たってご不明な点が御座いましたら、ＭＭＣまでお問合せください。
（１）ファインMEMS知識データベース
高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクトに参画した事業者（委託及び助成）の研究開発成果（研究データ、科学的知見、および文献情報）、再委託した大学の研究開発の成果、およびMMCが国内外の学会等で収集した発表論文、技術文献等について、本プロジェクトの研究キーワードで分類した知識データ（1500件超）として体系的にデータベース化を行いました。また、本プロジェクトに関わる特許情報として、2000年以降の国内公開特許、米国登録特許、およびＰＣＴ公開特許を調査し、抽出した4500件超を本プロジェクトの研究開発項目で分類して、データベースに登録しました。さらに、特許出願件数の多いMEMS/半導体の一体形成技術およびMEMS/MEMSの高集積結合技術については、主要な企業、研究機関の出願動向を纏めた分析資料集を作成し、これらもデータベースに登録した。
昨年6月に公開以来、本年4月までの利用件数は21,700件となっている。尚、このデータベースの閲覧は自由ですが、閲覧には「閲覧アカウント」の登録が必要です。
（２）MEMS等価回路ジェネレータ
ファインMEMSプロジェクトで開発された、この「MEMS等価回路ジェネレータ」は、MEMSと電気回路の集積化や多種類のMEMSの組合せによる集積化に関する研究開発が活発化し、製品に関する成功事例も出現する中、システム全体として電気等価回路を用いたアプローチなどの新しい設計手法としてご提案するものです。
MEMSの設計は、構成する機械要素に主眼におき、機械設計の発想から数々の設計ツールが生み出されてきた。欧米主体で開発されたものが多数を占める中、昨年度わが国初のMEMS設計ツールMemsONE もその一つです。MEMSと電気回路や多種のMEMSの組合せなどはその集積度が増すにつれ、この新しい手法は効果を発揮すると考えています。
ご利用いただく際には、まだまだ不十分で改善すべき点があるとのご認識の上、新しい設計手法として挑戦していただければ幸いです。
本機能はWeb上でのご利用となりますが、ご利用にはユーザ登録が必要です。また、ご利用に当たってのご質問やご意見は「技術交流掲示板」でお願いします。この掲示板のご利用には、IDとパスワードが必要ですので、MMCにご確認ください。
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ファインMEMS知識データベース画面
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| MEMS等価回路ジェネレータ画面 |
１ マイクロナノ２０１０の開催案内（7月28日～30日）
マイクロナノテクノロジーの総合イベント・マイクロナノ2010を、7月28日～30日、東京ビッグサイトにて開催いたします。今回は従来のマイクロマシン/MEMS展に加え、市場拡大が期待されるサービスロボットに関する製造技術展：ROBOTECHを新規に同時開催する予定です。出展、参加のご検討をお願い致します。
＜開催概要＞
１ 第21回マイクロマシン/MEMS展
・2010年7月28日（水）～30日（金） 東京ビッグサイト 東ホール
２ 同時開催展
・ROBOTECH 次世代ロボット製造技術展
・SURTECH（社）表面技術協会主催 表面処理技術を中心とする日本唯一の展示会
３ 同時開催カンファレンス
・第16回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム
・MEMS実装・パッケージングフォーラム
・日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム
・BEANSプロジェクトセミナー
・MEMS協議会（MIF）フォーラム
・MEMS協議会産学連携ワークショップ
詳細は、http://www.micromachine.jp/にてご確認ください。
２ MEMSアフリエート関係のイベント（１）「CNTセミナー：Real Solutions for Real Problems」
・主催：フラウンホーファーIPA（生産技術・オートメーション研究所
・日時・場所：4月15日（木）14:00 ドイツ文化会館1Fホール（東京、赤坂）
・基調講演に信州大学の遠藤教授、招待講演に北海道大学の古月教授をお迎えし、CNT製品開発に必要不可欠なポイントを参加者の皆様と共に議論できる場にできればと主催者一同期待しております。
・申し込み先：フランフォーファー日本代表部（tel:03 3586 7106）
（２）「MEMS集中講義 in つくば」
・講師：江刺正喜、羽根一博、小野崇人、田中秀治、芳賀洋一、戸津健太郎、小切間正彦、前田龍太郎他
・日時 ：8/5(木), 6(金), 7(土)9:30（初日10:00）～18:00 (2日目 交流会～18:00)
・場所 ：産総研 つくば中央の共用講堂 (つくば市東1-1-1)
・主催 ：東北大学マイクロ・ナノセンター、MEMSパークコンソーシアム、産総研MEMS関連センター
・参加費 ：無料、但し交流会はMEMS PC会員は1口まで無料、非会員：\3,000
申込不要、当日直接参加可
・問合先 : MEMSパークコンソーシアム事務局
TEL：022-795-4263 FAX：022-795-6259、E-mail [email protected]
（３）「Joint Workshop on Nano-Process and Nano-Device」
東北大学と台湾国立ナノデバイス研究所・台湾交通大学から卓越した研究者が一堂に会してナノデバイス・プロセスに関して議論するJoint Workshop on Nano-Process and Nano-Deviceを下記の通り 開催いたしますのでご案内申し上げます。
本ワークショップは、最先端革新デバイス・プロセスにおいて世界をリードしている東北大学と台湾国立ナノデバイス研究所・台湾交通大学の研究者による討論を通して今後のナノデバイス・プロセスの最新動向を議論します。
・日時：2010年4月23日（金）9時30分～24日（土）12時20分講演会場
・仙台国際ホテル・6階・楓の間
・講演会参加費：無料
・問合せ先：
〒980-8577 仙台市青葉区片平2-1-1
東北大学・流体科学研究所・寒川研究室 伊藤 寛子
TEL/FAX：022-217-5240
E-mail：[email protected]
本項は、マイクロマシン／MEMSを取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。
１．10～12月のGDPを下方修正
内閣府は、3月11日、2009年10～12月期の国内総生産（GDP）の改定値を発表しました。
それによりますと、この期間の実質GDPの値は前期比0.9％でした。これは、2月15日発表の速報値1.1％から下方修正したものになります。これに伴い、年に換算した成長率は3.8％増となり、速報値の4.6％増から減少することになりました。
なお、名目GDPは前期比0.1％増（速報値では0.2％増）であり、年率に換算しますと0.5％増（同0.9％増）となります。
参考：http://www.esri.cao.go.jp/jp/sna/qe094-2/main_1.pdf
２．「日本には改革が必要」、OECDレポートの提言
経済協力開発機構（OECD）は、3月10日、加盟各国の政策課題をとりまとめた「成長に向けて（2010）」を公表しました。
日本に関しては、次のような種々の課題があると指摘しています。
① 農業：現在の価格政策から農業従事者に対する直接の支援に変えること
② 雇用：正規社員と非正規社社員に対する条件のギャップを縮小すること
③ サービス：参入条件の緩和など競争原理が働くような政策とすること。特にネットワーク産業。
④ 外資：M&A市場の開放など外資が参入しやすくすること
⑤ 税金：会社に対する直接税の緩和、これに伴う間接税の強化
その他、イノベーション政策、金融政策についても指摘しています。
参考：http://www.oecd.org/dataoecd/18/37/44651655.pdf
３．温暖化対策法案を閣議決定
政府は、3月12日の閣議で、地球温暖化基本法案を決定しました。
この法案には、2020年に温暖化ガスを1990年比で25％削減することを盛り込んでいます。また、2050年には90年比で80％削減することも盛り込みました。
そのほかの主な内容は以下の通りです。
① 再生可能エネルギーの割合を2020年までに10％にすることを目標とする。この利用を推進するため、全量固定価格買い取り制度の創設に係る施策を講じる。
② 国内排出量取引制度を創出すること。排出量の限度を定める方法については、排出量の総量の限度として定める方法を基本としつつ、生産量その他の事業活動の規模を表す量の1単位当たりの排出量の限度として定める方法についても検討を行うこと
③ 税制全体のグリーン化について、平成23年度の実施に向けた成案を得るよう検討を行う
④ 原子力に係る施策については、安全の確保を旨として、国民の理解と信頼を得て、推進する
参考：http://www.env.go.jp/press/file_view.php?serial=15293&hou_id=12257
http://www.env.go.jp/press/file_view.php?serial=15296&hou_id=12257
４．月例経済報告（3月15日）
内閣府は、2月23日、月例経済報告を発表しました。
3月の月例経済報告では景気の基調判断について、「景気は、着実に持ち直してきているが、なお自律性が弱く、失業率が高水準にあるなど厳しい状況にある。先行きについては、当面、雇用情勢に厳しさが残るものの、企業収益の改善が続く中で、海外経済の改善や緊急経済対策の効果などを背景に、景気の持ち直し傾向が続くことが期待される。一方、海外経済の下振れ懸念、デフレの影響など、景気を下押しするリスクが存在することに留意する必要がある。また、雇用情勢の悪化懸念が依然残っていることにも注意が必要である」としています。
3月の報告では、景気の基調判断を8カ月ぶりに上方修正しました。基調判断を修正するのは鳩山政権になってから初めてです。
政府は、家計の支援により、個人消費を拡大するとともに、新たな分野で産業と雇用を生み出し、日本経済を自律的な回復軌道に乗せ、内需を中心とした安定的な経済成長を実現するよう政策運営を行う。このため、「明日の安心と成長のための緊急経済対策」を推進し、平成22年度予算及び関係法案の早期成立に努める。あわせて、「新成長戦略（基本方針）」の具体化を行い、その実現を図るとしています。
政府は、日本銀行と一体となって、強力かつ総合的な取り組みを行い、デフレの克服、景気回復を確実なものにしていくよう、政策努力を重ねていくとしています。
参考：http://www5.cao.go.jp/keizai3/2010/0315getsurei/main.pdf
５．2月の消費者心理は改善
内閣府は、3月15日、2月分の消費者動向調査の結果を発表しました。
それによりますと、消費者心理を表す消費者態度指数は、一般世帯で39.8となり、前月に比べて0.8ポイント上昇しました。これで、指数は2カ月連続で前月を上回り、消費マインドは改善されてきています。
消費者態度指数は、「暮らし向き」「収入の増え方」「雇用環境」「耐久消費財の買い時判断」の4項目に関し今後半年間の見通しについて5段階評価で回答してもらいそれを指標化したものです。数字が大きくなるほど消費者マインドは上昇していると言えます。
2月の調査では4項目すべてについて前月に比べて値が上昇しています。例えば、「雇用環境」では前月比で1.1ポイント上昇、「収入の増え方」は0.9ポイント上昇しています。
参考：http://www.esri.cao.go.jp/jp/stat/shouhi/2010/1002honbun.pdf
６．09年末の家計の金融資産は1456兆円、3年ぶりプラスに
日銀は、3月23日、2009年12月までの資金循環統計（速報）を発表しました。
それによりますと、12月末の家計の金融資産は1456兆円であり、資産残額は前年同月に比べて2.5％の増となりました。
現金・預金は757兆円と前年比1.5％の増にとどまったものの、株式・出資金が16.2％の増、投資信託が10.8％の増となっており、株価が前年に比べて持ち直したことが要因となっています。
参考：http://www.boj.or.jp/type/stat/boj_stat/sj/sjexp.pdf
７．経済産業省、再生可能エネルギーの全量買い取り制度で6案
経済産業省は、3月24日、太陽光や風力地熱発電等の再生可能エネルギーの全量買い取り制度に関するプロジェクトチームの第4回会合を開催しました。
この会合では、6案の買い取り制度について検討しています。それによりますと、案によって異なりますが、制度導入10年目の標準家庭の負担額は月102円から522円以上、15年目では月117円から579円以上になります。再生可能エネルギーの普及が最も進む案では、標準家庭での10年目の負担額月522円以上ですが、これは国民1人当たり年に1万3400円以上の負担となります。
今後、この案をもとに関係団体からのヒアリング、全国での説明会等を行い制度の設計をしていくこととしています。
参考：http://www.meti.go.jp/committee/materials2/data/g100324aj.html
８．顧客満足度指数、「東京ディズニーリゾート」が1位
サービス産業生産性協議会は、経済産業省と連携し、日本で初めてとなる「JCSI」（日本版顧客満足度指数）を、3月16日に発表しました。
JCSIでは、サービスを多面的に評価するために顧客満足度の原因・結果を含む6つの項目（「顧客満足」「知覚品質」「口コミ」「ロイヤルティ」等）について調査し、指数化しています。
それによりますと、調査した約300社のうちで、顧客満足度で最も高い買い評価を得た企業は①「東京ディズニーリゾート」②「ECカレント」（通信販売業）③「あきんどスシロー」（回転寿司）の順番となっています。
また、業界別で最も高い評価を得たのは「通信販売業界」であり、次いで「旅行業界」「介護サービス業界」でした。顧客満足度の上位50社のうちには、通信業界が11社を占め、近年の同業界の成長を象徴する結果となりました。
参考：http://www.meti.go.jp/press/20100316006/20100316006.html
１ 人事異動
○経済産業省（関係先部分）
平成22年4月1日付
(氏 名) （新） (旧)
原田 祥久 産業技術総合研究所 製造産業局産業機械課技術班
知能システム研究部門 情報化推進係長
○財団法人マイクロマシンセンター
平成22年4月1日付
(氏 名) （新） (旧)
片白 雅浩 普及促進部長（併任） MEMS協議会事務局次長
原田 武 普及促進部担当部長 普及促進部長
阪井 淳 産業交流部長 パナソニック電工株式会社
（併任）調査研究・標準部担当部長
阿出川俊一 辞職
舘岡 斉 普及促進部担当部長 オリンパス株式会社
○技術研究組合BEANS研究所（本部等：主要部分）
平成22年4月1日付
(氏名) （新） (旧)
遊佐 厚 専務理事（BEANS研究所長） BEANS研究所長
竹井 裕 研究交流部長 副所長（知財、広報、国際交流、
（併任）副所長 標準化担当）
安達 淳治 辞職
武田 宗久 BEANS研究所副所長(LifeBEANS BEANS研究所副所長
センター担当、3D BEANS （MacroBEANSセンター担当）
センター担当、LifeBEANS （併任）研究管理部長
センター九州担当及びMacro
BEANSセンター担当）
（併任）研究管理部長
阿出川俊一 研究交流部担当部長 財団法人マイクロマシンセン
ター産業交流部長
舘岡 斉 研究支援部担当部長 オリンパス株式会社
主幹研究員
小池 智之 研究開発推進室長 主幹研究員
副所長（Gデバイスセンター担当）
逆水登志夫 研究管理部担当部長 主幹研究員
荒川 雅夫 副所長（Gデバイスセンター関西）
原田 武 研究開発部長 主幹研究員
入江 康郎 研究開発部担当部長 研究開発部長
阪井 淳 主幹研究員 パナソニック電工株式会社
廣部 嘉道 Gデバイスセンター関西付
杉村 健三 研究支援部付（Life BEANSセンター、
3D BEANSセンター担当）
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