１ 第20回マイクロナノ2009開催せまる（2009年7月29日～30日）
マイクロナノ分野の最新技術動向、産業動向が一望でき、国内外からのマイクロナノ関連団体・企業の効率の良いビジネス交流ができる場である、マイクロマシンセンター主催の総合イベント｢マイクロナノ2009｣が、いよいよ7月29日(水)から３日間、東京ビッグサイトで開催されます。
今年は、世界最大規模のMEMS、ナノテク、超精密・微細加工、バイオに関する国際展示会「マイクロマシン／MEMS展」が第20回目を迎える節目にあたり、マイクロナノ／MEMS分野の産業展開をよりビジュアルに表した特別展示や、展示会場内に設けた特設会場においては、マイクロナノ／MEMS分野の国内外先端技術動向や海外の産業化動向についてのシンポジウム・セミナーなど連日多彩なプログラムを用意していますので、「第20回マイクロマシン／MEMS展」にご来場いただくことによって、より効果的にマイクロナノ分野（マイクロマシン、ＭＥＭＳ等）のマイクロナノ分野の最新技術動向、産業動向が一望できることにしておりますので是非ご来場ください。
◆『第20回マイクロマシン／MEMS展』
（MEMS、ナノテク、超精密・微細加工、バイオに関する国際展示会）
会期：7月29日（水）～7月31日（金）の3日間
会場：東京ビッグサイト 東５ホール
第20回を迎えたマイクロマシン／MEMS展を記念して、マイクロマシンセンターのブースでは、次のようなブースを設けて、マイクロマシン／MEMS分野の製品・技術についてわかり易くご紹介いたします。
○20周年特別企画ブース
第１回「産業用マイクロマシン展」から世界有数の総合イベント「マイクロナノ2009」にまで成長してきた歴史を振り返り、代表的なトピックスをご紹介するとともに、マイクロマシン／MEMS産業発展に向けてのマイク ロマシンセンターの事業紹介もしております。 |
○MemsONEブース
MemsONEの本格的な普及活動を開始して2年目に入り、本年2月には解析力や操作性・安定性がより向上したバージョン2.0をリリース致しました。今回の出展では、より一層の普及促進を図るため、ライセンス数 限定の無償貸し出し・商談コーナーを設置するとともに、ビデオ放映、デモなどによる詳細なご紹介を行います。 |
○MEMSモールブース
MEMSに関する製品や技術をWeb上で紹介するMEMSモールに関する展示を行います。昨年10月にMEMS協議会メンバー企業を参加対象として開設したMEMSモールは本年4月より一般企業にも有料にて参加いただけます（マイクロマシンMEMS展の出展企業は優遇措置があります）。ブースでは、MEMSモールの内容や参加企業、参加方法についてパネルにて展示するほか、モールを体験できるパソコンを設置いたします |
○MEMSファンドリーネットワークブース
MEMS協議会メンバー企業によるMEMSファンドリーネットワークの全容と、製造設備を持たないユーザでも容易にMEMS製作に取り組んでいただけるよう開設したWeb上試作受付窓口「MEMStation」を紹介します 。 |
○標準化ブース
MEMS分野の標準化の状況を紹介します。マイクロマシンセンターでは、MEMS分野の国際標準化活動を、より戦略的に進展させるため、MEMS標準化ロードマップを策定し、これに沿った標準化活動を展開しています。これまでに提案･成立したMEMSの用語と定義、MEMS薄膜材料の引張試験法、引張試験のための標準試験片、MEMS薄膜材料疲労試験法の他、現在審議中の国際規格案、現在開発中の国際規格案について内容を紹介します。 |
○BEANSブ－ス
BEANSブースは、平成20年度から5年計画で実施するBEANSプロジェクト（異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト）のシンボルの豆とグリーンの色調でゾーニングされたブースです。BEANS本部の全体紹介、プロジェクトに参画する研究員全員のプロフィール、各研究拠点センター(Life
BEANS、LifeBEANS九州、3D BEANS、3D BEANS滋賀、Macro BEANS)のアピールポイントと取組みをポスターと展示物を配置して紹介します。ポスターなどでは説明が困難な微細加工プロセスの技術内容や、本年１月と6月にテレビや新聞発表されたバイオ関係の展示物、そして日経マイクロデバイス7月号に紹介された大面積成膜や繊維状ナノ構造関連の展示物があります。そこではMEMS関係者には新鮮な驚きを提供することになる実験用機織り機も登場の予定です。 |
◆同時開催シンポジウム・セミナー
＜7月29日（水）＞
○第15回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム～MEMS World～（会場：特設会場A）
「集積化・融合化の進むMEMS／ナノデバイス 産業化のブレークスルー」～研究開発拠点の集約化とMEMSアプリケーション～をテーマとして、国際的に進む研究開発の拠点集約化に関する動き、産業化にとって最も重要なアプリケーションの動向、さらにその実現のための製造・材料技術について内外の学識経験者から最新情報の発表を頂きます。 |
○産学連携ワークショップ（会場：特設会場Ｂ／午前）
MEMS協議会のアカデミア・公設試アフィリエートから、第20回マイクロマシン／MEMS展での展示内容と併せて、マイクロマシン・MEMSの最新の研究内容をご紹介いたします。 |
○MEMS実装・パッケージングフォーラム（会場：特設会場Ｂ／午後）
「マイクロナノ２００９」の同時開催イベントの新しい切り口として、MEMS技術の中でも現在注目を浴びている「実装・パッケージング」に特化したセミナーを行ないます。 |
＜7月30日（木）＞
○日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム（会場：特設会場Ａ）
ドイツNRW（ノルトライン・ヴェストファーレン）州に拠点を置く「IVAMマイクロテクノロジーネットワーク」の主催により、ヨーロッパを中心としたiVAM会員企業の技術・製品をご紹介するとともに、IVAM会員企業と日本の企業とのビジネスマッチングの機会を提供いたします。 |
○産学連携ワークショップ（会場：特設会場Ｂ／午前）
29日に続き、MEMS協議会のアカデミア・公設試アフィリエートから、最新の研究内容をご紹介いたします 。 |
○BEANSプロジェクトセミナー（会場：特設会場Ｂ／午後）
（独）新エネルギー・産業技術総合開発機構の主催により、平成20年度から5年間の計画でスタートしました「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト（BEANSプロジェクト）」の概要と、BEANSプロジェクトが目指す革新的次世代デバイス創出に必要な基盤的プロセス技術の展望についてご紹介いたします。 |
＜7月31日（金）＞
○MEMS協議会フォーラム（会場：特設会場Ａ）
MEMS協議会の諸活動の情報発信・意見交換の場であるMEMS協議会フォーラムでは、我が国の MEMS協議会での調査報告（技術・産業動向調査）、国際標準化活動、及びMEMS開発のためのインフラ整備活動であるMEMSファンドリーネットワーク、MemsONE、MEMSPediaの紹介、さらには、MEMS産業拡大の原動力となる人材育成及びMEMS協議会のアフィリエートである地域クラスター、公設試から、地域のMEMS産業基盤強化についての取り組み状況についてご紹介いたします。 |
○ファインMEMSプロジェクト成果発表会（会場：特設会場Ｂ）
（独）新エネルギー・産業技術総合開発機構の主催により、平成20年度に終了したNEDOプロジェクト「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト（ファインMEMSプロジェクト）」（平成18年度～平成20年度）の全研究開発成果をご紹介いたします。 |
２ IEC SC47F/WG1会議の開催（2009年6月17～18日）
MEMSの標準化を審議していますIEC/SC47F/WG1の国際会議が2009年6月17日、18日三つのユネスコ世界自然遺産を持つ韓国の済州島で開催されました。
会議場風景 |
会議の概要は以下の通りです。
(1)出席者
| 主 査 |
大和田邦樹（帝京大学） |
| 日 本 |
岩岡秀人（金沢工業大学）、高島和希（熊本大学）、土屋智由（京都大学）、磯野吉正（神戸大学）、高木秀樹（産総研）、青野宇紀（日立製作所）、竹内南（SC47F幹事、MMC）、内田和義、見持律往（MMC） |
| 韓 国 |
Prof. Sekwang Park (Co-convenor)、Prof. Jae-Yeong Park、Dr. Jae-Hyun Kim、Dr. Hojun Ryu、Dr. Byoung Nam Lee、Dr. Cheolung Cha、Dr. Soon Il Yeo、Dr. Nak Kyu Lee、Dr. Sang-Geun Lee |
| 中 国 |
Dr. Yongjun Yang、Ms. Bo Cui、Dr. Yapu Zhao、Prof. Wei Zhang、Prof. Weixuan Jing |
(2)審議概要
| ① |
韓国提案の「RF MEMSスイッチ」、「FBARフィルタ」、「曲げ引張試験法」は、改正 CD（委員会原案）への各国コメントを審議した後、CDV（投票用委員会原案）へ進むことが承認されました。 |
| ② |
韓国提案と日本提案の試験法が入った「ウエハ・ツー・ウエハ接合試験法」も、2nd CDへの各国コメントを審議した後、CDVへ進むことが承認されました。 |
| ③ |
今年２月に日本からNP（新規業務項目提案）提案した「共振振動を用いた疲労試験法」は、各国からのコメントを審議した後、CDへ進むことが承認されました。 |
| ④ |
韓国がNP提案していた、「マイクロピラー圧縮試験法」と「熱膨張係数試験法」はプロジェクト参加国が４カ国以上必要という用件を満たせなかったため、一旦廃案とし、中国がプロジェクト参加の意向を示したので、再提案することになりました。 |
| ⑤ |
各国の今後のNPとして、韓国は「Forming limit measurement method of metallic film materials」と「Test
method for PDMS / Glass chip bonding」、日本は「接合強度試験法」と「校正用標準試料」、中国は「Micro-geometric
specifications measurement」を提案予定であることを表明しました。 |
IEC/SC47F/WG1の国際会議参加者一同 |
３ 第5回日韓中標準化ワークショップの開催(2009年6月19日)
日韓中MEMS標準化ワークショップは、日本、韓国、中国の３ヶ国におけるMEMS標準化に関する情報交換・協力推進の場として毎年、各国の持ち回りで開催しています。本年は5回目でIEC/SC47E、 SC47Fのアドホック委員会（2009/6/16-18）合わせて2009/6/19に韓国・済州島にて開催されました。
前半は各国の代表がそれぞれの国のMEMS標準化についての最近のニュース、ロードマップを紹介しました。 |
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|
（会場風景） |
| １ |
韓国・慶北(Kyungpook)大学Prof. S. Parkが韓国の状況を紹介しました。韓国はパッケージング、センサ デバイス、フレキシブルデバイスについての標準化を進めているとの説明がありまた。さらに韓国として注 目しているテーマとしてSmart Grid（電力供給システム）の標準化の重要性を示しました。 |
| ２ |
中国・Hebei Semiconductor Research Institute のDr. Yongjun Yang氏が中国の状況について報告しました。中国ではMEMS標準化の国内委員会がSAC/TC336として昨年11月に設置されました。メンバは32名。現在、7つの国内規格のドラフト（用語定義、幾何形状定義、マスクデザイン、接合、KOHエッチングなど）をまとめており、これらのうち”micro-geometric
specifications measurements”を今年中にIEC SC47F WG1に提案予定とのことでした。 |
| ３ |
日本・帝京大学の大和田教授が日本の状況について報告しました。今後の提案として材料特性評価関係 でウエハと微細構造の間の接着強度のせん断試験評価法、標準材料で作製された片持ち梁型試験片の曲 げ試験による試験装置の校正法を近くNP提案する予定です。デバイス関係では電子コンパス、 MEMSジャ イロについての検討を行っており、来年か再来年にNP提案を予定しています。 |
大和田教授（帝京大学） |
磯野教授（神戸大学） |
後半では、MEMS研究に関する講演が行われました。
| １ |
大和田教授が標準化プロジェクトで検討中の電子コンパスについて講演しました。電子コンパスは2軸、3軸の磁気センサとコンパスの傾斜を検出する加速度センサから構成されており、これらのデバイスが MEMS技術で作製されることによって小型化が実現されています。コンパスの性能を考えている上での課題はデバイスの傾斜と外乱磁場の影響の補正です。 |
| ２ |
神戸大学の磯野教授がScanning Prove Parallel Nanolithography for NEMS fabrication
using MEMS cantilever arrayと題して片持ち梁アレイを用いたナノスケールパターニング、加工について講演しました。AFMカンチレバーでバイアス電圧を印加しながら走査することで、陽極酸化、SAM（自己組織化単分子膜）のパターニング、EBレジストの加工で50nm線幅の加工を実現しています。また、片持ち梁を20本アレイで作製し、高いスループットでの加工を目指しています。 |
| ３ |
中国からはChinese Academy of Science のYa-pu Zhao教授が、Electrowetting on a lotus leaf (EWOL)と題して講演しました。エレクトロウェッティング(EW)は電圧印加による接触角の変化であり、液体可変焦点レンズ（philips）、ディスプレイ（e-ink）（Liquavista）への応用が期待されています。講演ではEWの理論を紹介、EWをハスの葉で適用した研究を報告しました。 |
| ４ |
韓国KRISS(Korea Research Institute of Standards and Science)のYong-Hak Huhはバルジ試験法についてKRISSとKIMM（Korea Institute of Machinery and Materials）で行っているバルジ試験について紹介しました。KRISSでは油圧印加、レーザー干渉計（ESPI）での変位計測。KIMMでは気体圧力印加、静電容量での変位検出を用いています。また、バルジ試験の標準化について検討が行われており、規格化に重要なパラメータを紹介しました。 |
| ５ |
韓国ETRI(Electronics and Telecommunications Research Institute)のDr. Hojun
Ryuは非冷却赤外線センサ(ボロメータ)についての講演を行いました。ボロメータアレイの課題として、製造が容易な設計、材料（TCRが高く、ノイズの小さい）、集積化プロセスを挙げました。赤外線センサの標準化も目指すとのことでした。 |
最後にProf. Parkより挨拶があり閉会しました。来年は中国の西安で開催される予定です。
４ 第18回マイクロナノ先端技術交流会の開催（2009年6月24日）
第18回マイクロナノ先端技術交流会が、6月24日(水)に、東京工業大学大学院 黒澤 実 准教授、東京大学大学院 須賀唯知 教授を講師にお迎えし、MMCテクノサロンで開催されました。参加者はMEMS協議会
黒澤准教授（東京工業大学 大学院）
|
須賀教授（東京大学 大学院） |
メンバー、一般参加者、及びBEANSプロジェクト関係者を含む19名で、先端技術情報の紹介と活発な質疑が行われました。講演内容は次のとおりです。
| １ |
東京工業大学大学院総合理工学研究科
黒澤 実 准教授
講演題目：「弾性表面波リニアモータ」
講演内容：古くからのMEMSデバイスである弾性表面波素子を用いたリニアモータについて、その研究の取り掛かりとなった超音波モータから現在に至るまでが紹介されるとともに、高速高精度なマイクロリニアモータとしての今後の展開が紹介されました。 |
| ２ |
東京大学大学院工学系研究科 須賀唯知 教授
講演題目：「低温ウエハ接合」
講演内容：プラズマやイオン照射を用いたウエハの低温接合とその3D実装・MEMSパッケージへの適用の可能性について紹介されました。接合の種類・手法、特に、真空中や大気中での接合、ナノ接合層を用いた接合、それらの
接合メカニズム等について紹介されました。 |
また、講演終了後、講師の須賀教授、黒澤准教授を囲んだ技術相談・交流会がマイクロマシンセンター会議室で行われ、和やかなうちに閉会いたしました。
次回の第19回マイクロナノ先端技術交流会は、2009年10月に開催する予定です。
５ つくばイノベーションアリーナ ナノテク拠点形成の動き
ナノテク研究開発拠点の形成に関連して、２つのイベントがありました。ひとつは、第3回つくばイノベーションワークショップ（6月5-6日）で、経産省研究開発課のアレンジで産総研つくばにおいて、ナノエレに関して産学官からの参加を得て開催されました。研究開発課土井課長からのアリーナ構想に関する全体的な進捗状況、考え方の紹介のあと、教育の立場からスタンフォード大学の西先生、デバイスメーカとしてルネサステクノロジーの伊藤様、製造装置メーカーの立場から東京エレクトロンの東様、材料側からということで経産省化学課長の高田様からの講演がありました。
もう一つは、産総研の主催によるつくばイノベーションアリーナ-MEMS討論会（7月2日）です。産総研つくばにて以下のようなプログラムで講演がされ、活発な質疑応答がされました。
第１部
１、つくばイノベーションアリーナ構想（METI 研究開発課 藤原様）
２、ナノテクアリーナ N-MEMS紹介（産総研 前田様）
３、JMEC構想（MMC 片白）
第２部（ナノテクアリーナに期待する）
１、連携大学センターおよび人材育成拠点としての期待（立命館大学 杉山先生）
２、外資系デバイスメーカの立場から（STマイクロ 坂田様）
３、装置メーカの立場から（住友精密 神永様）
４、サポート企業の立場から（TDC 赤羽様）
いずれにおいても、構想への関心の高さとナノテク拠点を実現していく際の具体的な論点に議論が移りつつあることを感じました。今後もMMCあるいはMEMS協議会としてこのような動きに連携を強めていくつもりです。
６ Transducers2009報告
国際会議Transducers2009(The15th International Conference on Solid-State Sensors,
Actuators & Microsystems)が米国のコロラド州デンバーのSheraton Denver Downtown Hotelで2009年6月21日（日）～6月25日（木）に開催されました。国際会議Transducersはマイクロ・ナノテクノロジー分野における主要国際会議の一つで、1981年にボストンで第1回が開催されてから、米国、欧州、アジアの各地域から持ち回りで隔年毎に開催されており、今回は15回目にあたりました。今回の参加者は28カ国
984名（事前登録）で内訳はヨーロッパ/アフリカが224名、 アジア/オセアニアが291名、アメリカが469名でした。所属では アカデミアが734名（内学生373名）、政府関係者82名、インダストリ
160名、自営業8名でした。また、初日のオンサイト登録者が20名を超えていましたので、実際の参加者は1000名を超えていました。事前登録でみますと、前回
の2007年（リヨン）の1226名よりは少なくなりましたが、2005年 のソウルの861名、2003年のボストンの975名よりは多くなっていますので、
昨今の不況ならびにインフルエンザの影響は少なく盛況だったと思います。実際当初の予定以上の参加者があり予算が余ったとのことで、急遽最終日にハーゲンダッツのアイスクリームが配給されました。
ポスター会場風景 |
今回の論文投稿数は1307件で、口頭発表216件（採択率：16.5％）とポスター発表384件（採択率：29.4 %）の600件（採択率：45.9％）が採択されました。地域別ではヨーロッパ/アフリカが投稿320件で、採択146件（採択率：45.6 %）、アジア/オセアニアが投稿576件で採択 245件（採択率：42.5%）、アメリカが投稿411件で採択209件（採択率： 50.8%）でした。採択のもっとも多かった国はUSAの198件、 次いで日本の110件でした。
また、今年からOutstanding Paper Awardsが設けられ、日本の豊橋技術科学大学の発表を含め、以下の4件が表彰されました。
（１）”Liquid-Semiconductor-Based Micro Power Source Using Radioisotope Energy
Conversion"
(T. Wacharasindhu他、University of Missouri、 USA)
（２）"Implantable Multi Sensor System for In Vivo Monitoring of Cardiovascular Parameters"
(P Bingger他、University of Freiburg IMTEK、 Germany)
（３）" A Parylene Bellows Electrochemical Actuator for Intraocular Drug Delivery)
(P. Y. Li他、University of Southern California、USA)
（４）" Out-of-Plane Microwire Force Sensor Arrays with Embedded P-N
Diodes by Selective
Vapor-Liquid-Solid Growth"
(A Ikedo他、Toyohashi University of Technology、 Japan)
柴田研究員発表風景 |
内容としては3つのプレナリートーク、 12の招待講演と36のオーラルセッション及び11分野のポスターセッションが4日に分けて開催されました。分野として発表件数が最も多かったのは機械量センサで、次いで材料・製造・パッケージングとマイクロ流体関連でした。印象としては、Transducersなので、センサやシステムとしての発表がやはり多く、Actuators、 RF MEMS、 Optical MEMSはひところに比べると件数が少なくなっているように思えました。バイオ・μTASに関しては、センサ、流体、粒子操作等セッションが細かく分かれて多くなってきており、ナノは思ったより件数が少なかったように思います。物理量センサとプロセスに関しては、発表件数は多くなっていますが、それぞれ細かい改良や基礎的なデータが多く、個人的には画期的にすごいと思われるような技術はあまり出てきていなかったように思いました。ウェハレベルパッケージの発表も多くでてはいますが、分かり切った発表ばかりで、今更というようなものが、多かったように思います。BEANS関連では、Life BEANSセンターから2件のオーラルセッションへの採択があり、2日目の午前のオーラルセッションで竹内センター長が渡辺研究員の代理で発表するとともに、午後に柴田研究員の発表がありました。しかし、我々が狙っている異分野融合を前面に出したような発表は少なかったように思います。次回のTransducersは2年後の2011年に北京で開催予定です。
【プレナリートーク】
米、日、欧のこの分野の権威の下記3人から講演がありました。
（１）Kensall D. Wise(University of Michigan、USA)
" Wireless Integrated Microsystems: Wearable and Implantable devices
for Improved Health Care"と題して 1966年に初めて開発されたマイクロマシン神経インターフェース 以降のワイヤレスの人口内耳や脳刺激システム、網膜
刺激システム等の紹介がありました。
（２）江刺先生（東北大）
" Wafer Level Packaging og MEMS"と題して、いろいろな 形態のウエハレベル実装の手法のサーベイ紹介がありました。
（３）N.F. de Rooij(EPFL、スイス）
" MEMS for Space"と題して、宇宙用のクロスコネクト光スイッチ、火星探査用AFM粒子計測システム等宇宙用MEMSの紹介がありました。
【オーラルセッション】
■セッション１（Chemical Microsensors & Microsystems I）：6件
■セッション２（Cell Manipulation & Analysis I）：7件
■セッション３（Power MEMS）：7件
■セッション４（Inertial Sensors）：7件
■セッション５（MEMS Resonators I）：5件
■セッション６（Optical Detection Technique）：5件
■セッション７（Materials & Processes）：5件
■セッション８（Biomimetic Systems）：5件
■セッション９（RF MEMS）：6件
■セッション10（Droplet and Bubble Devices）：7件
■セッション11（Packaging and Assembly）：7件
■セッション12（Magnetic Devices）：7件
■セッション13（Medical Microsystems I）：7件
■セッション14（NEMS）：7件
■セッション15（Actuators I）：7件
■セッション16（Flow & Acoustic Devices）：7件
■セッション17（Micro and Nanofluidics）：5件
■セッション18（Optical Actguation Techniques）：5件
■セッション19（3D Technologies）：5件
■セッション20（Mass & Tip-Based Sensors）：5件
■セッション21（Chemical Microsensors & Microsystems）：7件
■セッション22（Biochemical and Humidity Sensors）：7件
■セッション23（Metal MEMS）：7件
■セッション24（Physical Sensors）：7件
■セッション25（Dielectrophoresis & Separation Techniques）：5件
■セッション26（Nanosystems）：5件
■セッション27（Robotic Sensors）：5件
■セッション28（Optical MEMS I）：5件
■セッション29（Medical Microsystems II）：7件
■セッション30（Nanoscale Devices）：7件
■セッション31（Micropumps）：7件
■セッション32（Optical MEMS II）：7件
■セッション33（MEMS Resonatorss II）：7件
■セッション34（Cell Manipulation & Analysis II）：7件
■セッション35（Actuators）：7件
■セッション36（Thermal Devices）：7件
【ポスターセッション】
■分野１（Actuators）：22件
■分野２（BioSensors & BioMicrosystems）：47件
■分野３（Chemical Microsensors & Microsystems）：27件
■分野４（Materials, Fabrication & Packaging Technologies）：58件
■分野５（Mechanical/Physical Sensors & Systems）：60件
■分野６（Medical Microsystems）：18件
■分野７（Microfluidics）：53件
■分野8（Nanoscale Materials & Fabrication Technology Devices & Systems）：27件
■分野９（Optical MEMS）：23件
■分野10（Power MEMS）：17件
■分野11（RF MEMS, Resonators & Oscillators）：27件
７ BEANS成果（光る耳）プレス発表
－「光る耳！？ ～体内で光る血糖値センサーの開発」ー
6月19日 BEANSプロジェクト の Life BEANSセンター から記者発表が行われ、マスコミ12社が参加しました。NHKとフジテレビジョンではTV取材も同時に行い、その夜のニュースやインターネットで配信されました。発表者は東京大学生産技術研究所の竹内昌治准教授（Life
BEANSセンター長）です。
血糖値に応じて光の強度を変化させるハイドロゲルを微細加工し、直径100ミクロン程度に揃ったビーズを作成することに成功し、さらに、これらのビーズをマウスの耳に埋め込み、写真のように蛍光を観察することにが可能になりました。また、周辺のブドウ糖の濃度に応じて変化するビーズの輝度を体外から計測することもでき、将来の体内埋め込み型血糖値センサーにつながる技術といえます。
「光る耳！？～体内で光る血糖値センサーの開発～」というタイトルで記者発表
右耳に血糖値に応じて蛍光強度を変化させるマイクロビーズが埋め込まれた
マウス（後頭部からの撮影）普段は光らないが、ブラックライトなど特殊な光を当
てると光る様子が観察できる。
糖尿病において合併症を防ぐためには、厳格な血糖値制御が必要です。現在、多くの糖尿病患者は一日数回、指などに針を刺し、血糖値を計測しています。しかし血糖値は、食事や運動によって、大きく変動するため、一日数回の計測では、十分な経時的変化をとらえることは困難でした。このため、24時間連続して血糖値計測が行なえる方法が切望されています。
ここで開発された技術を利用すれば、患者の負担なく体内にビーズを埋め込むことが可能で、皮下を通して連続して血糖値を計測できる可能性があります。睡眠中など、自らが計測することができない場合でも、自動的に（無意識のうちに）血糖値が計測できるシステムの実現が期待できます。
この成果は、６月22日（火）米国デンバーで開催されたTransducers2009において、Life BEANSセンター研究員の柴田秀彬氏が口頭発表しました。
８ MEMSの波（ブログニュース）の開設（2009年6月10日）
当センターでは、従来ホームページやメーリングリスト（マイクロナノネット）等を活用して、インターネットによる情報提供活動を積極的に行っていますが、これに加えて、このたび新たに速報性を重視した「MEMSの波（ブログニュース）」を開設しました。
→ MEMSの波（ブログニュース） http://beanspj.cocolog-nifty.com/mems/
現在、当センターは、MEMS産業を支える基盤づくりのための活動に注力しています。すなわち、マイクロナノ分野に係る産学官が結集する技術開発プロジェクトを積極的に推進するとともに、併せてこれらの開発技術の成果普及・産業化を促進すべく、2006年にMEMS協議会 (MEMS Industry Forum) を立ち上げ、政策提言活動、産業交流・活性化事業などの産業化のための環境整備活動を進めています。
MEMSの大きな潮流に乗り、豊かな未来に到達できるように、日々の努力の積み重ねが大事です。本ブログ「MEMSの波」では、このような財団法人マイクロマシンセンターやMEMS協議会の活動状況を新しい波として迅速に情報発信していきます。
すでにサービス中のニュース・マンスリーや広報誌マイクロナノ等と連動し、マイクロナノ分野の産業化を支援すべく適切な情報サービスに努めてまいります。
→ ニュース・マンスリー http://www.mmc.or.jp/info/monthly/
→ 広報誌マイクロナノ http://www.mmc.or.jp/info/magazine/
９ NIKKEI MICRODEVICES 7月号(No.289)にMacro BEANSセンターの取組が掲載
Macro BEANSセンターの取組に関して、6月4日（木）に日経ＢＰ社日経マイクロデバイス副編集長の三宅常之氏からMacro BEANSセンターにおいて取材を受け、その結果がNIKKEI
MICRODEVICES 7月号(No.289)に掲載されました。「電子デバイスの進化の別解」の特集の中の基盤技術として「繊維状の素子―大面積デバイスの連続製造―非真空と機織りで低コスト化」と題して、Macro
BEANSセンターにおいて実施しています非真空マイクロ・ナノ構造高品位機能膜形成プロセス技術ならびに繊維状基材連続微細加工・集積化プロセス技術の開発の取組状況および成果が２ページにわたって紹介されました。
http://techon.nikkeibp.co.jp/article/HONSHI/20090622/172001/
１ マイクロナノ2009の開催案内（2009年7月29日～31日）
マイクロナノ／MEMS分野の最新技術・製品が効果的に一望できる総合イベント「マイクロナノ２００９」平成２１年7月29日（水）～７月31日（金）の３日間、東京ビッグサイトで開催することで準備を進めています。
今年は、世界最大規模のMEMS、ナノテク、超精密・微細加工、バイオに関する国際展示会「マイクロマシン／MEMS展」が第20回目を迎える節目にあたり、展示会ではマイクロナノ／MEMS分野の産業展開をよりビジュアルに表した特別展示や、展示会場内に設けた特設会場においては、マイクロナノ／MEMS分野の国内外先端技術動向や海外の産業化動向の他、「マイクロマシン／MEMS展」の20周年を記念した特別プログラムなど、多彩なプログラムを計画しています。
◆『第20回マイクロマシン／MEMS展』
（MEMS、ナノテク、超精密・微細加工、バイオに関する国際展示会）
会期：7月29日（水）～7月31日（金）の3日間
会場：東京ビッグサイト 東５ホール
【ご出展お申込み・お問い合わせ先】
マイクロマシン／MEMS展事務局
メサゴ・メッセフランクフルト株式会社
〒102-0073
東京都千代田区九段北２－３－７ 前川九段ビル３F
Tel. 03-3262-8453 Fax. 03-3262-8442
E-mail. [email protected]
Website. www.micromachine.jp
◆同時開催シンポジウム・カンファレンス：
会場はいずれも『第20回マイクロマシン／MEMS展』展示会場内特設会場を予定。
①第15回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム～MEMS World～
（主催：マイクロマシンセンター／MEMS協議会）
国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムは、最先端技術及びその動向について内外の学識経
験者と情報を交換し、我が国のマイクロマシン/ＭＥＭＳ技術の更なる発展に寄与することを目的と
し、1995年以来、当マイクロマシンセンターを主催者として開催して参りました。
昨年は、LSIとの集積化（第2世代MEMS）やナノ・バイオとの異分野融合（第3世代MEMS）の動き
に注目し、さらにウエハーサイズの大口径化などにも着目しました。
本年は、これらの大きな動きの中で、「集積化・融合化の進むMEMS／ナノデバイス 産業化の
ブレークスルー」 ～研究開発拠点の集約化とMEMSアプリケーション～をテーマとして講演を集め、
議論の場を提供します。
第2世代や第3世代MEMSに向かう方向性の中で、何がMEMS／ナノデバイスの産業化促進にと
ってキーとなるかを問題意識として、国際的に進む研究開発の拠点集約化に関する動き、産業化に
とって最も重要なアプリケーションの動向、さらにその実現のための製造・材料技術について内外か
らの発表を頂きます。
なお今回は、展示会場内に設けた特設会場で開催することで、講演と出展企業・研究機関とのリ
ンクを強める試みも行います。
プログラム→../../kokusai/sympo/15sympo/15program-j.pdf
②MEMS協議会フォーラム （主催：マイクロマシンセンター／MEMS協議会）
MEMS協議会の諸活動の情報発信・意見交換の場として、MEMS産業発展のための産業基盤の
構築、産学連携によるMEMS技術基盤構築・展開の観点から、MEMS協議会及びアフィリエートメ
ンバー（地域クラスター、公設試、アカデミア）の活動状況を紹介し、MEMS関連産業の拡大・発展
のための課題の共通認識を深めることを目的として開催します。
今年のMEMS協議会フォーラムのセッション構成は、MEMS協議会活動から、(1)調査研究会での
調査報告（技術・産業動向調査）、国際標準化活動についてご紹介、(2)MEMS開発のためのインフ
ラ整備活動としてのMEMSファンドリーネットワーク、MemsONE、MEMSPediaのご紹介、(3)MEMS産業拡大の原動力となる人材育成の取り組み、及びMEMS協議会のアフィリエートである地域クラスター、公設試から、地域のMEMS産業基盤強化についての取り組み状況についてご紹介いたします。
プログラム→http://www.micromachine.jp/pdf/09MIFForum.pdf
③産学連携ワークショップ
（主催：マイクロマシンセンター／MEMS協議会）
MEMS協議会の産学連携活動の一環として、MEMS協議会のアカデミア・公設試アフィリエートか
ら、第20回マイクロマシン／MEMS展での展示内容と併せて、マイクロマシン・MEMSの最新の
研究内容をご紹介いたします。
・東北大学大学院 江刺・小野・田中研究室 ・九州工業大学 安田研究室
・名古屋大学大学院 生田研究室 ・立命館大学ナノマシンシステム技術研究センター
・神奈川県産業技術センター ・MEMSパークコンソーシアム
・SRIインターナショナル先端自動制御技術センター
④MEMS実装・パッケージングフォーラム
（主催：マイクロマシンセンター／MEMS協議会 共催：溶接学会マイクロ接合委員会）
「マイクロナノ２００９」の同時開催イベントの新しい切り口として、MEMS技術の中でも現在注目を
浴びている「実装・パッケージング」に特化したセミナーを行ないます。
プログラム→http://www.micromachine.jp/pdf/09MEMSPackagingForum.pdf
⑤BEANSプロジェクトセミナー
（主催：NEDO技術開発機構 共催：技術研究組合BEANS研究所）
平成20年度から5年間の計画でスタートしました「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プ
ロジェクト（BEANSプロジェクト）」の概要と、BEANSプロジェクトが目指す革新的次世代デバイス創
出に必要な基盤的プロセス技術の展望についてご紹介いたします。
プログラム→http://www.micromachine.jp/pdf/09BEANSProjectSeminar.pdf
⑥日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム
（主催：IVAMマイクロテクノロジーネットワーク 共催：マイクロマシンセンター／MEMS協議会）
ドイツNRW（ノルトライン・ヴェストファーレン）州に拠点を置く「IVAMマイクロテクノロジーネットワーク」
の主催により、ヨーロッパを中心としたiVAM会員企業の技術・製品をご紹介するとともに、IVAM会員
企業と日本の企業とのビジネスマッチングの機会を提供いたします。
⑦ファインMEMSプロジェクト成果発表会 （主催：NEDO技術開発機構）
平成20年度に終了した「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト（ファインMEMSプロジェクト
）」（平成18年度～平成20年度）の全研究開発成果として、4つの開発カテゴリー（MEMS／ナノ機能
の複合、MEMS／半導体の一体形成、MEMS／MEMSの高集積化、知識データベースの整備）と
、ファインMEMSシステム化設計プラットフォームの開発の成果をご紹介いたします。
２ 第13回MEMS講習会の開催（2009年8月28日）
（財）マイクロマシンセンターでは、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために、MEMS講習会を開催しています。今回は第13回MEMS講習会「ロボットを身近にするセンサ・MEMS技術」を下記のとおり開催いたします。
今回は、私たちの身近にいて社会生活を豊かにしてくれるサービス用ロボットとその実現に必須のセンサ・MEMS技術をテーマとして、ニーズ・シーズ情報をご紹介する講演を企画しています。プログラム内容はまだ調整中ですが、決定次第ご連絡いたします。皆様の積極的なご参加をお願い致します。
第13回MEMS講習会「ロボットを身近にするセンサ･MEMS技術」
開催日時：2009年8月28日（金）13:00～17:50～19:00
開催場所：アルカディア市ヶ谷（東京・私学会館）
〒102-0073 東京都千代田区九段北4丁目2番25号
TEL：03-3261-9921（代表）
地図URL http://www.arcadia-jp.org/
参 加 費：一般 10,000円／MEMS協議会メンバー 8,000円
問合せ先：〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル 6階
財団法人マイクロマシンセンター 普及促進部（原田）
TEL 03-5835-1870, FAX 03-5835-1873
プログラム：
13:00～13:10 主催者挨拶（マイクロマシンセンター：青柳専務理事）
13:10～13:55 MEMSの集積･融合の進展と新産業創出への期待（仮題）
（立命館大学 ナノマシンシステム技術研究センター長：
杉山 進 教授）
13:55～14:40 ロボットに必要なMEMS技術（仮題）
（東京大学 情報理工学系研究科長：下山 勲 教授）
14:40～15:20 （調整中）
15:20～15:50 ＜休憩及び技術相談会＞
15:50～17:50 （調整中）
17:30～18:00 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
（ファンドリーサービス産業委員会委員長：佐藤文彦）
18:00～19:00 懇談会
３ MEMSアフィリエート関係のイベント
１．MEMS集中講義 in 名古屋及び 第13回MEMSPCカフェ in 名古屋
名古屋地区において、MEMS集中講座・第13回MEMSPCカフェを開催します。MEMS集中講座は、MEMS技術の基礎的知識から各種分野のアプリケーションへの応用展開まで、様々な角度からMEMS技術を収集できる内容です。
また、8月5日（水）講義終了後、MEMSパークコンソーシアム会員企業の紹介及び集中講座参加者の相互交流・連携構築を進めることを目的として、第13回MEMSPCカフェin 名古屋（交流会付き）を併催いたします。
日 時：平成21年8月4日（火）～6日（木）
9時30分（初日10時）～18時
※MEMSPCカフェ：8月5日（水）18時～20時
内 容：プログラムは、下記URLからご参照願います。
http://www.memspc.jp/openseminar/opense26.html
場 所： 豊田中央研究所 福利厚生センター 「アクタス」Ａホール
http://www.tytlabs.co.jp/japanese/comp/access.html
参加費： MEMSPCカフェは、会員は一口につき1名無料、
非会員は一人3,000円。
申込み方法：
お申し込みは、下記リンクから所定の申込用紙をダウンロードいただき、7月24日（金）まで、下記申込先のメール又はファクシミリでお願いいたします。
http://www.memspc.jp/openseminar/opense26.html
<お問合わせ先>
MEMSパークコンソーシアム事務局
〒980-8579 仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-01
東北大学大学院工学研究科付属 マイクロ・ナノマシニング研究教育センター内
TEL：022-795-4263 FAX：022-795-6259
E-mail：[email protected]
１ 経済政策動向
■月例経済報告（７月１３日）
７月の月例経済報告では景気の基調判断について、「景気は、厳しい状況にあるものの、このところ持ち直しの動きがみられる。先行きについては、当面、雇用情勢が悪化するなかで、厳しい状況が続くとみられるものの、在庫調整の一巡や経済対策の効果に加え、対外経済環境の改善により、景気は持ち直しに向かうことが期待される。一方、生産活動が極めて低い水準にあることなどから、雇用情勢の一層の悪化が懸念される。加えて、世界的な金融危機の影響や世界景気の下振れ懸念、金融資本市場の変動の影響など、景気を下押しするリスクが存在することに留意する必要がある。」としています。
政府は、当面、景気対策を最優先で進めるため、「経済危機対策」等を着実に実施するとして６月23日には「安心・活力・責任」の３つの目標を同時に達成するための道筋を示す「経済財政改革の基本方針2009～安心・活力・責任～」を閣議決定しました。今後、本基本方針に基づき経済財政運営を進めるとしています。日本銀行に対しては、我が国経済が、物価安定の下での持続的成長経路に復帰するため、引き続き政府との緊密な連携の下で、適切かつ機動的な金融政策運営を期待するとしています。
詳しくは以下の資料をご参照ください。
○ 月例経済報告関係資料
http://www5.cao.go.jp/keizai3/2009/0713getsurei/main.pdf
■経済産業省の主な経済指標（鉱工業指数調査 2009年5月分確報 2009年7月13日）
経済産業省は、商鉱工業及びサービス業など幅広い分野にわたって統計調査を実施しており、それらの調査・分析結果について取りまとめた統計をホームページ上に公表しています。これは鉱工業製品を生産する国内の事業所における生産、出荷、在庫に係る諸活動、製造工業の設備の稼働状況、各種設備の生産能力の動向、生産の先行き2ヶ月の予測の把握を行うものです。最新の調査概要は以下の通りです。
5月の生産指数の確報値は、前月比5.7%の上昇となり、指数水準は79.1(季節調整済)。生産の上昇に寄与した業種は、輸送機械工業、電子部品・デバイス工業、鉄鋼業等でした。
また、出荷指数の確報値は、前月比4.8%の上昇となり、指数水準は78.9(季節調整済)。出荷の上昇に寄与した業種は、輸送機械工業、電子部品・デバイス工業、情報通信機械工業等でした。
在庫指数の確報値は、前月比▲0.7%の低下となり、指数水準は96.4(季節調整済)。 在庫の低下に寄与した業種は、情報通信機械工業、化学工業、電子部品・デバイス工業等でした。在庫率指数の確報値は、前月比0.1%の上昇でした。
http://www.meti.go.jp/statistics/tyo/iip/result-1.html
鉱工業指数
http://www.meti.go.jp/statistics/tyo/iip/result-2.html
２ 産業技術政策動向
■総合科学会議の動向
昨月から会議開催等の動きはありませんでしたが、ナノテクノロジー・材料分野PT（2009/5/8）の配付資料・議事録の公表がありました。
http://www8.cao.go.jp/cstp/project/bunyabetu2006/nano/index.html
■平成２１年度産業技術関連予算の概要
経済産業省の産業技術予算のうち、「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発」については、ＮＥＤＯ運営交付金４７２億円の内数として認められています。
http://www.meti.go.jp/press/20081224001/20081224001-5.pdf
■イノベーション創出を取り巻く関連政策動向
「今月号はお休みします。」来月号から再開の予定です。
■NEDO産業技術政策関連
○ＮＥＤＯ海外レポート（最新号のご紹介）
1048号 - 平成21年7月15日 バイオマス特集
http://www.nedo.go.jp/kankobutsu/report/1048/index.html
1047号 - 平成21年7月1日 ライフサイエンス・バイオテクノロジー特集
http://www.nedo.go.jp/kankobutsu/report/1047/index.html
１ 財団法人 マイクロマシンセンターの人事異動
平成２１年６月３０日付
（氏名） （新） （旧）
山岡 俊秀 オリンパス株式会社 産業交流部業務・広報担当部長
２ 技術研究組合BEANS研究所の人事異動
平成２１年７月１日付
（氏名） （新）
クンプアン ソマワン 採用（Macro BEANSセンター）
平成21年7月15日付
（氏名） （新） （旧）
布施 嘉春 採用（3D BEANSセンター滋賀） （財）無人宇宙実験システム
研究開発機構
３ NEDOの人事異動
平成２１年６月２９日付
（氏名） （新） （旧）
月舘 実 機械システム技術開発部 経済産業省商務情報政策局
情報通信機器課
平成２１年６月３０日付
（氏名） （新） （旧）
松田 均 経済産業政策局地域技術課 機械システム技術開発部
４ COOL BIZの実施
財団法人マイクロマシンセンター及び技術研究組合BEANS研究所では、9月末の間、COOLBIZを実施致しておりますので、気楽な服装でお越し下さい。
（当財団はCOOL BIZ賛同団体です。）
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